Peralatan pelapisan sputtering magnetron catu daya arus searah mesin pelapisan pvd

Kesimpulan Utama:
1. Peralatan pelapisan sputtering magnetron DC adalah teknologi sputtering magnetron yang digerakkan oleh catu daya DC.

2. Peralatan ini memiliki struktur yang sederhana dan biaya yang terkendali, terutama berfokus pada persiapan film logam yang efisien. Peralatan ini banyak digunakan dalam skenario pelapisan industri kelas menengah ke bawah dan dasar.

Pengantar Peralatan:
Peralatan ini menggunakan tegangan tinggi arus searah untuk mengionisasi gas inert (umumnya argon) untuk menghasilkan plasma. Dengan membatasi elektron melalui medan magnet, jalur pergerakan diperpanjang, meningkatkan efisiensi tumbukan antara plasma dan bahan target. Akibatnya, atom-atom bahan target (yang harus merupakan bahan konduktif) disemprotkan dan diendapkan pada permukaan substrat untuk membentuk film.

2. Peralatan ini memiliki struktur yang ringkas dan mudah dioperasikan. Peralatan ini terutama digunakan untuk menyiapkan film logam, film paduan, dll., dan cocok untuk produksi massal dan persyaratan pelapisan fungsional dasar.

Fitur Utama:
1. Ditenagai oleh catu daya DC, dengan struktur sirkuit yang sederhana dan biaya manufaktur dan pengoperasian peralatan yang relatif rendah.

2. Hanya kompatibel dengan bahan target konduktif (seperti aluminium, tembaga, kromium, titanium, dan target logam lainnya), dan tidak dapat langsung menggunakan target keramik isolasi.

3. Laju sputtering stabil, dan ketebalan film mudah dikontrol, sehingga cocok untuk produksi berkelanjutan dan skala besar.

4. Desain medan magnet beragam (seperti magnetron seimbang dan magnetron tidak seimbang), dan adhesi serta kepadatan lapisan film dapat disesuaikan sesuai dengan persyaratan.

Keunggulan Utama:
1. Ambang batas pengoperasian rendah, penyesuaian parameter sederhana, perawatan mudah, dan biaya pengoperasian dan pemeliharaan selanjutnya rendah.

2. Efisiensi persiapan film logam tinggi, laju sputtering lebih unggul daripada sputtering magnetron frekuensi radio, dan konsumsi energi lebih rendah.

3. Lapisan film memiliki kemurnian tinggi, keseragaman yang baik, dan kehalusan permukaan yang sangat baik, memenuhi persyaratan fungsional dan dekoratif dasar.
Peralatan ini memiliki stabilitas yang kuat, tingkat kegagalan yang rendah, cocok untuk pengoperasian berkelanjutan jangka panjang, dan menawarkan kinerja biaya produksi yang tinggi.

Aplikasi Khas
1. Di bidang dekorasi:Pelapisan film dekoratif logam (seperti film aluminium, film kromium) untuk aksesoris perangkat keras, aksesoris furnitur, perhiasan, dll.

2. Di bidang elektronik:Menyiapkan film konduktif logam untuk komponen elektronik (seperti film elektroda untuk kapasitor dan film timah untuk papan sirkuit).

3. Di bidang pengemasan:Pelapisan film penghalang (seperti film komposit aluminium foil) untuk film plastik dan foil logam untuk meningkatkan sifat penghalang mereka terhadap oksigen dan kelembaban.

4. Di bidang perkakas dan mesin:Pelapisan film logam tahan aus untuk alat potong umum dan bagian mekanis untuk meningkatkan kekerasan permukaan dan ketahanan aus.

5. Skenario lainnya:Menyiapkan film fungsional dasar seperti film konduktif untuk lembaran belakang sel surya dan film reflektif untuk kaca arsitektur.