Оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного распыления с источником питания постоянного тока, установка PVD

Основные выводы:
1. Оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного распыления постоянного тока (DC) - это технология магнетронного распыления, управляемая источником питания постоянного тока.

2. Отличается простой конструкцией и контролируемой стоимостью, в основном ориентирована на эффективное получение металлических пленок. Широко используется в средне- и низкобюджетных промышленных и базовых сценариях нанесения покрытий.

Введение в оборудование:
Использует высокое напряжение постоянного тока для ионизации инертного газа (обычно аргона) для генерации плазмы. Путем ограничения электронов магнитным полем, путь движения увеличивается, повышая эффективность столкновений между плазмой и материалом мишени. В результате атомы материала мишени (который должен быть проводящим материалом) распыляются и осаждаются на поверхности подложки, образуя пленку.

2. Оборудование имеет компактную структуру и просто в эксплуатации. В основном используется для получения металлических пленок, плёнок из сплавов и т. д., и подходит для серийного производства и базовых функциональных требований к покрытиям.

Основные характеристики:
1. Питается от источника питания постоянного тока, имеет простую структуру схемы и относительно низкие затраты на производство и эксплуатацию оборудования.

2. Совместимо только с проводящими материалами мишеней (такими как алюминий, медь, хром, титан и другие металлические мишени) и не может напрямую использовать изоляционные керамические мишени.

3. Скорость распыления стабильна, а толщину пленки легко контролировать, что делает его подходящим для непрерывного и крупномасштабного производства.

4. Конструкция магнитного поля разнообразна (например, сбалансированный магнетрон и несбалансированный магнетрон), и адгезию и плотность пленочного слоя можно регулировать в соответствии с требованиями.

Основные преимущества:
1. Порог эксплуатации низкий, регулировка параметров проста, обслуживание удобно, а последующие эксплуатационные расходы низкие.

2. Эффективность получения металлической пленки высока, скорость распыления превосходит скорость радиочастотного магнетронного распыления, а энергопотребление ниже.

3. Пленочный слой имеет высокую чистоту, хорошую однородность и превосходную гладкость поверхности, удовлетворяя основные функциональные и декоративные требования.
Оборудование обладает высокой стабильностью, низким уровнем отказов, подходит для длительной непрерывной работы и обеспечивает высокую производительность по стоимости производства.

Типичные области применения
1. В области декора: Нанесение металлических декоративных пленок (таких как алюминиевые пленки, хромовые пленки) для фурнитуры, мебельной фурнитуры, ювелирных изделий и т. д.

2. В области электроники: Получение металлических проводящих пленок для электронных компонентов (таких как электродные пленки для конденсаторов и выводные пленки для печатных плат).

3. В области упаковки: Нанесение барьерных пленок (таких как композитные алюминиевые пленки) для пластиковых пленок и металлических фольг для повышения их барьерных свойств против кислорода и влаги.

4. В области инструментов и машиностроения: Нанесение износостойких металлических пленок для обычных режущих инструментов и механических деталей для повышения твердости поверхности и износостойкости.

5. Другие сценарии: Получение базовых функциональных пленок, таких как проводящие пленки для тыльных листов солнечных элементов и отражающие пленки для архитектурного стекла.