Kernfazit:
1.DC-Magnetron-Sputterbeschichtungsanlagen sind eine Magnetron-Sputtertechnologie, die durch eine Gleichstromversorgung angetrieben wird.
2.Sie zeichnen sich durch eine einfache Struktur und kontrollierbare Kosten aus und konzentrieren sich hauptsächlich auf die effiziente Herstellung von Metallfilmen. Sie werden häufig in industriellen und grundlegenden Beschichtungsszenarien im mittleren bis unteren Bereich eingesetzt.
Geräteinführung:
Es verwendet Gleichstromhochspannung, um Inertgas (normalerweise Argon) zu ionisieren und Plasma zu erzeugen. Durch die Begrenzung von Elektronen durch ein Magnetfeld wird der Bewegungspfad verlängert, wodurch die Kollisionseffizienz zwischen dem Plasma und dem Zielmaterial erhöht wird. Dadurch werden die Atome des Zielmaterials (das ein leitfähiges Material sein muss) gesputtert und auf der Oberfläche des Substrats abgeschieden, um einen Film zu bilden.
2.Das Gerät hat eine kompakte Struktur und ist einfach zu bedienen. Es wird hauptsächlich zur Herstellung von Metallfilmen, Legierungsfilmen usw. verwendet und eignet sich für die Serienproduktion und grundlegende funktionale Beschichtungsanforderungen.
Kernmerkmale:
1.Es wird von einer Gleichstromversorgung angetrieben, mit einer einfachen Schaltungsstruktur und relativ niedrigen Herstellungs- und Betriebskosten des Geräts.
2.Es ist nur mit leitfähigen Zielmaterialien kompatibel (wie Aluminium, Kupfer, Chrom, Titan und anderen Metallzielen) und kann keine isolierenden Keramikziele direkt verwenden.
3.Die Sputterrate ist stabil und die Filmdicke ist leicht zu kontrollieren, wodurch es sich für die kontinuierliche und groß angelegte Produktion eignet.
4.Das Magnetfeld-Design ist vielfältig (z. B. balanciertes Magnetron und unbalanciertes Magnetron), und die Haftung und Dichte der Filmschicht können je nach Bedarf angepasst werden.
Hauptvorteile:
1.Die Betriebsschwelle ist niedrig, die Parametereinstellung ist einfach, die Wartung ist bequem und die späteren Betriebs- und Wartungskosten sind niedrig.
2.Die Effizienz der Metallfilmerstellung ist hoch, die Sputterrate ist der von Hochfrequenz-Magnetron-Sputtern überlegen und der Energieverbrauch ist geringer.
3.Die Filmschicht hat eine hohe Reinheit, gute Gleichmäßigkeit und ausgezeichnete Oberflächenglätte, wodurch die grundlegenden funktionalen und dekorativen Anforderungen erfüllt werden.
Das Gerät hat eine hohe Stabilität, eine geringe Ausfallrate, eignet sich für den langfristigen Dauerbetrieb und bietet eine hohe Produktionskostenleistung.
Typische Anwendungen
1.Im Bereich Dekoration:Beschichtung von metallischen Dekorationsfilmen (wie Aluminiumfilmen, Chromfilmen) für Hardware-Zubehör, Möbelzubehör, Schmuck usw.
2.Im Bereich Elektronik:Herstellung von metallischen leitfähigen Filmen für elektronische Bauteile (wie Elektrodenfilme für Kondensatoren und Bleifilme für Leiterplatten).
3.Im Verpackungsbereich:Beschichtung von Barriereschichten (wie Aluminiumfolienverbundfilmen) für Kunststofffolien und Metallfolien, um deren Barriereeigenschaften gegenüber Sauerstoff und Feuchtigkeit zu verbessern.
4.Im Bereich Werkzeuge und Maschinen:Beschichtung von verschleißfesten Metallfilmen für gängige Schneidwerkzeuge und Maschinenteile, um die Oberflächenhärte und Verschleißfestigkeit zu erhöhen.
5.Andere Szenarien:Herstellung von grundlegenden Funktionsfilmen wie leitfähigen Filmen für Solarzellen-Rückseiten und Reflexionsfilmen für Architekturglas.
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