중주파 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 pvd 진공 코팅기

장비 소개
중주파 전원 공급 장치(일반적으로 10-150KHZ)를 에너지원으로 사용하여, 전자의 움직임을 자기장으로 제한하여 가스의 이온화 효율을 높여, 타겟 물질의 원자 또는 분자가 스퍼터링되어 기판 표면에 증착되어 필름을 형성합니다.

핵심 기능
1. 중주파 전원 공급 장치로 구동되어 반응성 스퍼터링 공정 중 아크 방전 현상을 효과적으로 억제하고 코팅 공정의 안정성을 보장합니다.

2. 고출력 작동을 지원하며, 빠른 타겟 스퍼터링 속도로 생산 효율을 높이고 대량 생산의 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

3. 다양한 타겟 재료(예: 금속 타겟, 세라믹 타겟)를 사용하여 여러 유형의 기능성 필름을 제작할 수 있는 강력한 호환성을 가지고 있습니다.

4. 코팅의 균일성이 우수하고, 필름의 접착력이 강하며, 필름층의 품질이 안정적이며, 필름 두께를 정밀하게 제어할 수 있습니다.

주요 장점1. 절연 타겟 재료 또는 반응성 스퍼터링 중 전하 축적 문제를 해결하여 필름층 결함을 줄였습니다.
2. 높은 스퍼터링 속도, 낮은 에너지 소비, 높은 효율 및 에너지 절약.

3. 필름층은 고밀도 및 고순도를 가지며, 광학적 및 기계적 특성과 같은 주요 지표에서 뛰어난 성능을 발휘합니다.

4. 안정적이고 신뢰성 있게 작동하며 유지 보수 비용이 비교적 낮습니다.

응용 분야

광학 분야

1. 안경 렌즈용 반사 방지 필름 및 무반사 필름과 같은 광학 필름 제작에 사용됩니다.
2. LCD 및 OLED와 같은 디스플레이 장치용 광학 필터 필름 및 전도성 필름을 생산합니다.

3. 태양 전지용 반사 방지 필름 및 투명 전도성 필름을 제조합니다.

전자 및 반도체 분야

1. 반도체 칩용 금속화 필름(예: 알루미늄 필름 및 구리 필름)을 제작합니다.
2. 커패시터 및 센서와 같은 전자 부품 생산을 위한 기능성 필름.

3. 터치 스크린용 투명 전도성 산화물(TCO) 필름을 제작합니다.

장식 및 외관 분야

1. 하드웨어 및 건축 자재(예: 문, 창문, 욕실 설비)에 장식 필름(예: 티타늄 골드 필름 및 지르코늄 필름)을 적용합니다.
2. 자동차 부품(예: 휠 및 내부 부품)의 코팅에 적용됩니다.

3. 휴대폰 및 가전 제품 쉘에 컬러 필름 및 지문 방지 필름을 적용합니다.

도구 및 금형 분야

1. 절삭 공구 및 금형에 경질 필름(예: TiN 및 TiAlN 필름)을 코팅합니다.
2. 정밀 기기 부품 코팅에 사용됩니다.

기타 특수 분야

1. 부식 방지 필름을 제작하여 해양 공학 및 화학 장비 부품에 적용합니다.

2. 생체 의학 재료(예: 티타늄 합금 임플란트용 항균 필름)에 표면 개질 필름을 생산합니다.

3. 포장 재료에 배리어 필름을 코팅하여 산소 및 수분에 대한 저항성을 높여 제품의 유통 기한을 연장합니다.