تجهیزات پوشش دهی پاشش مغناطیسی فرکانس متوسط ​​دستگاه پوشش خلاء pvd

معرفی تجهیزات
با استفاده از منبع تغذیه فرکانس متوسط (معمولاً 10-150 کیلوهرتز) به عنوان منبع انرژی، حرکت الکترون‌ها توسط یک میدان مغناطیسی محدود می‌شود تا راندمان یونیزاسیون گاز افزایش یابد و باعث شود اتم‌ها یا مولکول‌های ماده هدف پاشیده شده و روی سطح زیرلایه رسوب کنند تا یک فیلم تشکیل شود.

ویژگی های اصلی
1. این دستگاه توسط منبع تغذیه فرکانس متوسط تغذیه می‌شود که به طور موثر پدیده تخلیه قوس را در طول فرآیند پاشش واکنشی سرکوب می‌کند و پایداری فرآیند پوشش را تضمین می‌کند.

2. از عملیات با توان بالا پشتیبانی می‌کند، با سرعت پاشش هدف سریع، که می‌تواند راندمان تولید را افزایش داده و نیازهای تولید انبوه را برآورده کند.

3. سازگاری قوی دارد و می‌تواند از مواد هدف مختلفی مانند اهداف فلزی و اهداف سرامیکی برای تهیه انواع فیلم‌های کاربردی استفاده کند.

4. یکنواختی پوشش خوب است، چسبندگی فیلم قوی است، کیفیت لایه فیلم پایدار است و ضخامت فیلم را می‌توان با دقت کنترل کرد.

Mمزایای اصلی
1. مشکل تجمع بار در طول مواد هدف عایق یا پاشش واکنشی حل شده است و نقص لایه فیلم کاهش یافته است.

2. سرعت پاشش بالا، مصرف انرژی کمتر، راندمان بالا و صرفه جویی در انرژی.

3. لایه فیلم دارای چگالی و خلوص بالایی است و در شاخص‌های کلیدی مانند خواص نوری و مکانیکی عملکرد برجسته‌ای دارد.

4. با پایداری و اطمینان نسبتاً کم هزینه های نگهداری کار می کند.

کاربرد

حوزه اپتیک
1. برای تهیه فیلم‌های نوری، مانند فیلم‌های ضد انعکاس و فیلم‌های ضد بازتاب برای لنزهای عینک استفاده می‌شود.

2. تولید فیلم‌های فیلتر نوری و فیلم‌های رسانا برای دستگاه‌های نمایشگر مانند LCD و OLED.

3. ساخت فیلم‌های ضد انعکاس و فیلم‌های رسانای شفاف برای سلول‌های خورشیدی.

حوزه الکترونیک و نیمه هادی ها
1. تهیه فیلم‌های فلزی شده برای تراشه‌های نیمه هادی (مانند فیلم‌های آلومینیومی و فیلم‌های مسی).

2. فیلم‌های کاربردی برای تولید قطعات الکترونیکی مانند خازن‌ها و حسگرها.

3. ساخت فیلم اکسید رسانای شفاف (TCO) برای صفحه نمایش لمسی.

حوزه دکوراسیون و ظاهر
1. اعمال فیلم‌های تزئینی (مانند فیلم طلای تیتانیوم و فیلم زیرکونیوم) بر روی سخت افزار و مصالح ساختمانی (مانند درها و پنجره‌ها، وسایل حمام).

2. در پوشش قطعات خودرو (مانند چرخ‌ها و قطعات داخلی) استفاده می‌شود.

3. اعمال فیلم‌های رنگی و فیلم‌های ضد اثر انگشت بر روی پوسته تلفن‌های همراه و لوازم خانگی.

حوزه ابزار و قالب
1. فیلم‌های سخت (مانند فیلم‌های TiN و TiAlN) برای ابزارهای برش و قالب‌ها پوشش داده می‌شوند.

2. برای پوشش اجزای ابزار دقیق استفاده می شود.

سایر زمینه های خاص

1. تهیه فیلم‌های ضد خوردگی و اعمال آنها بر روی اجزای مهندسی دریایی و تجهیزات شیمیایی.

2. تولید فیلم‌های اصلاح شده سطحی برای مواد زیست پزشکی (مانند فیلم‌های ضد باکتری برای ایمپلنت‌های آلیاژ تیتانیوم).

3. پوشش فیلم‌های مانع بر روی مواد بسته‌بندی می‌تواند مقاومت آنها را در برابر اکسیژن و رطوبت افزایش دهد و در نتیجه ماندگاری محصولات را افزایش دهد.