Apparecchiatura di rivestimento a sputtering magnetron a media frequenza, macchina per rivestimento sottovuoto PVD

Introduzione all'attrezzatura
Utilizzando un alimentatore a media frequenza (tipicamente 10-150 KHZ) come fonte di energia, il movimento degli elettroni è vincolato da un campo magnetico per migliorare l'efficienza di ionizzazione del gas, causando l'espulsione e il deposito degli atomi o delle molecole del materiale bersaglio sulla superficie del substrato per formare un film.

Caratteristiche principali
1. È alimentato da un alimentatore a media frequenza, sopprimendo efficacemente il fenomeno della scarica ad arco durante il processo di sputtering reattivo e garantendo la stabilità del processo di rivestimento.

2. Supporta il funzionamento ad alta potenza, con un'elevata velocità di sputtering del bersaglio, che può migliorare l'efficienza produttiva e soddisfare le esigenze della produzione di massa.

3. Ha una forte compatibilità e può utilizzare vari materiali bersaglio come bersagli metallici e bersagli ceramici per preparare molteplici tipi di film funzionali.

4. L'uniformità del rivestimento è buona, l'adesione del film è forte, la qualità dello strato di film è stabile e lo spessore del film può essere controllato con precisione.

Vantaggi principali1. È stato risolto il problema dell'accumulo di carica durante i materiali bersaglio isolanti o lo sputtering reattivo, riducendo i difetti dello strato di film.
2. Elevata velocità di sputtering, minore consumo energetico, alta efficienza e risparmio energetico.

3. Lo strato di film ha un'elevata densità e purezza e si comporta in modo eccezionale in indicatori chiave come le proprietà ottiche e meccaniche.

4. Funziona in modo stabile e affidabile con costi di manutenzione relativamente bassi.

Applicazioni

Il campo dell'ottica

1. Viene utilizzato per la preparazione di film ottici, come film antiriflesso e film anti-riflesso per lenti per occhiali.
2. Produce film filtranti ottici e film conduttivi per dispositivi di visualizzazione come LCD e OLED.

3. Produzione di film antiriflesso e film conduttivi trasparenti per celle solari.

Il campo dell'elettronica e dei semiconduttori

1. Preparare film metallizzati per chip a semiconduttore (come film di alluminio e film di rame).
2. Film funzionali per la produzione di componenti elettronici come condensatori e sensori.

3. Realizzare film di ossido conduttivo trasparente (TCO) per touchscreen.

Campo della decorazione e dell'aspetto

1. Applicare film decorativi (come film di titanio dorato e film di zirconio) a ferramenta e materiali da costruzione (come porte e finestre, sanitari).
2. Viene applicato al rivestimento di parti automobilistiche (come ruote e parti interne).

3. Applicare film colorati e film anti-impronta ai gusci di telefoni cellulari ed elettrodomestici.

Il campo degli utensili e degli stampi

1. Film duri (come film TiN e TiAlN) sono rivestiti per utensili da taglio e stampi.
2. Utilizzato per il rivestimento di componenti di strumenti di precisione.

Altri campi speciali

1. Preparare film anticorrosione e applicarli ai componenti di ingegneria marina e apparecchiature chimiche.

2. Produrre film modificati in superficie per materiali biomedici (come film antibatterici per impianti in lega di titanio).

3. Rivestire film barriera su materiali di imballaggio può migliorarne la resistenza all'ossigeno e all'umidità, prolungando così la durata di conservazione dei prodotti.