Peralatan pelapisan sputtering magnetron frekuensi-menengah mesin pelapisan vakum pvd

Pengantar Peralatan
Menggunakan catu daya frekuensi menengah (biasanya 10-150 KHZ) sebagai sumber energi, pergerakan elektron dibatasi oleh medan magnet untuk meningkatkan efisiensi ionisasi gas, menyebabkan atom atau molekul bahan target tersembur dan diendapkan pada permukaan substrat untuk membentuk film.

Fitur Utama
1. Didukung oleh catu daya frekuensi menengah, secara efektif menekan fenomena pelepasan busur selama proses sputtering reaktif dan memastikan stabilitas proses pelapisan.

2. Mendukung operasi daya tinggi, dengan laju sputtering target yang cepat, yang dapat meningkatkan efisiensi produksi dan memenuhi tuntutan produksi massal.

3. Memiliki kompatibilitas yang kuat dan dapat menggunakan berbagai bahan target seperti target logam dan target keramik untuk menyiapkan berbagai jenis film fungsional.

4. Keseragaman pelapisan baik, adhesi film kuat, kualitas lapisan film stabil, dan ketebalan film dapat dikontrol secara presisi.

Keunggulan Utama1. Masalah akumulasi muatan selama bahan target isolasi atau sputtering reaktif telah teratasi, mengurangi cacat lapisan film.
2. Laju sputtering tinggi, konsumsi energi lebih rendah, efisiensi tinggi dan hemat energi.

3. Lapisan film memiliki kepadatan dan kemurnian tinggi, dan berkinerja luar biasa dalam indikator kunci seperti sifat optik dan mekanik.

4. Beroperasi secara stabil dan andal dengan biaya perawatan yang relatif rendah.

Aplikasi

Bidang optik

1. Digunakan untuk menyiapkan film optik, seperti film anti-refleksi dan film anti-pantul untuk lensa kacamata.
2. Menghasilkan film filter optik dan film konduktif untuk perangkat tampilan seperti LCD dan OLED.

3. Memproduksi film anti-refleksi dan film konduktif transparan untuk sel surya.

Bidang elektronik dan semikonduktor

1. Menyiapkan film metalisasi untuk chip semikonduktor (seperti film aluminium dan film tembaga).
2. Film fungsional untuk produksi komponen elektronik seperti kapasitor dan sensor.

3. Membuat film oksida konduktif transparan (TCO) untuk layar sentuh.

Bidang dekorasi dan penampilan

1. Menerapkan film dekoratif (seperti film titanium emas dan film zirkonium) pada perangkat keras dan bahan bangunan (seperti pintu dan jendela, perlengkapan kamar mandi).
2. Diterapkan pada pelapisan suku cadang otomotif (seperti roda dan suku cadang interior).

3. Menerapkan film berwarna dan film anti-sidik jari pada cangkang ponsel dan peralatan rumah tangga.

Bidang alat dan cetakan

1. Film keras (seperti film TiN dan TiAlN) dilapisi untuk alat potong dan cetakan.
2. Digunakan untuk melapisi komponen instrumen presisi.

Bidang khusus lainnya

1. Menyiapkan film anti-korosi dan menerapkannya pada komponen teknik kelautan dan peralatan kimia.

2. Menghasilkan film yang dimodifikasi permukaannya untuk bahan biomedis (seperti film antibakteri untuk implan paduan titanium).

3. Melapisi film penghalang pada bahan kemasan dapat meningkatkan ketahanannya terhadap oksigen dan kelembaban, sehingga memperpanjang umur simpan produk.