उपकरण परिचय
एक मध्यम-आवृत्ति बिजली आपूर्ति (आमतौर पर 10-150 KHZ) का उपयोग ऊर्जा स्रोत के रूप में करते हुए, इलेक्ट्रॉनों की गति को एक चुंबकीय क्षेत्र द्वारा प्रतिबंधित किया जाता है ताकि गैस की आयनीकरण दक्षता को बढ़ाया जा सके, जिससे लक्ष्य सामग्री के परमाणु या अणु स्पटर हो जाते हैं और सब्सट्रेट की सतह पर जमा हो जाते हैं ताकि एक फिल्म बन सके।
मुख्य विशेषताएं
1. यह एक मध्यम-आवृत्ति बिजली आपूर्ति द्वारा संचालित है, जो प्रतिक्रियाशील स्पटरिंग प्रक्रिया के दौरान चाप निर्वहन घटना को प्रभावी ढंग से दबाता है और कोटिंग प्रक्रिया की स्थिरता सुनिश्चित करता है।
2. उच्च-शक्ति संचालन का समर्थन करता है, एक तेज़ लक्ष्य स्पटरिंग दर के साथ, जो उत्पादन दक्षता को बढ़ा सकता है और बड़े पैमाने पर उत्पादन की मांगों को पूरा कर सकता है।
3. इसमें मजबूत संगतता है और विभिन्न प्रकार की कार्यात्मक फिल्मों को तैयार करने के लिए धातु लक्ष्यों और सिरेमिक लक्ष्यों जैसे विभिन्न लक्ष्य सामग्रियों का उपयोग कर सकता है।
4. कोटिंग की एकरूपता अच्छी है, फिल्म का आसंजन मजबूत है, फिल्म परत की गुणवत्ता स्थिर है, और फिल्म की मोटाई को सटीक रूप से नियंत्रित किया जा सकता है।
मुख्य लाभ1. इन्सुलेटिंग लक्ष्य सामग्री या प्रतिक्रियाशील स्पटरिंग के दौरान चार्ज संचय की समस्या का समाधान हो गया है, जिससे फिल्म परत के दोष कम हो गए हैं।
2. उच्च स्पटरिंग दर, कम ऊर्जा खपत, उच्च दक्षता और ऊर्जा की बचत।
3. फिल्म परत में उच्च घनत्व और शुद्धता है, और यह ऑप्टिकल और यांत्रिक गुणों जैसे प्रमुख संकेतकों में उत्कृष्ट प्रदर्शन करती है।
4. यह अपेक्षाकृत कम रखरखाव लागत के साथ स्थिर और विश्वसनीय रूप से संचालित होता है।
अनुप्रयोग
प्रकाशिकी का क्षेत्र
1. इसका उपयोग ऑप्टिकल फिल्मों, जैसे चश्मे के लेंस के लिए एंटी-रिफ्लेक्शन फिल्मों और एंटी-रिफ्लेक्टिव फिल्मों को तैयार करने के लिए किया जाता है।
2. एलसीडी और ओएलईडी जैसे डिस्प्ले डिवाइस के लिए ऑप्टिकल फिल्टर फिल्में और कंडक्टिव फिल्में बनाएं।
3. सौर कोशिकाओं के लिए एंटी-रिफ्लेक्शन फिल्में और पारदर्शी कंडक्टिव फिल्में बनाना।
इलेक्ट्रॉनिक्स और सेमीकंडक्टर का क्षेत्र
1. सेमीकंडक्टर चिप्स (जैसे एल्यूमीनियम फिल्में और तांबे की फिल्में) के लिए धातुयुक्त फिल्में तैयार करें।
2. कैपेसिटर और सेंसर जैसे इलेक्ट्रॉनिक घटकों के उत्पादन के लिए कार्यात्मक फिल्में।
3. टच स्क्रीन के लिए पारदर्शी कंडक्टिव ऑक्साइड (TCO) फिल्म बनाएं।
सजावट और उपस्थिति क्षेत्र
1. हार्डवेयर और निर्माण सामग्री (जैसे दरवाजे और खिड़कियां, बाथरूम फिक्स्चर) पर सजावटी फिल्में (जैसे टाइटेनियम गोल्ड फिल्म और ज़िरकोनियम फिल्म) लागू करें।
2. यह ऑटोमोटिव पार्ट्स (जैसे पहियों और आंतरिक भागों) की कोटिंग पर लागू होता है।
3. मोबाइल फोन और घरेलू उपकरणों के गोले पर रंगीन फिल्में और एंटी-फिंगरप्रिंट फिल्में लगाएं।
उपकरण और मोल्ड का क्षेत्र
1. कटिंग टूल्स और मोल्ड के लिए हार्ड फिल्में (जैसे TiN और TiAlN फिल्में) लेपित हैं।
2. सटीक उपकरणों के घटकों को कोटिंग करने के लिए उपयोग किया जाता है।
अन्य विशेष क्षेत्र
1. एंटी-जंग फिल्में तैयार करें और उन्हें समुद्री इंजीनियरिंग और रासायनिक उपकरणों के घटकों पर लागू करें।
2. बायोमेडिकल सामग्री (जैसे टाइटेनियम मिश्र धातु प्रत्यारोपण के लिए जीवाणुरोधी फिल्में) के लिए सतह-संशोधित फिल्में बनाएं।
3. पैकेजिंग सामग्री पर बैरियर फिल्में कोटिंग करने से ऑक्सीजन और नमी के प्रति उनका प्रतिरोध बढ़ सकता है, जिससे उत्पादों का शेल्फ जीवन बढ़ जाता है।
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