Equipamento de revestimento por sputtering magnetron de média frequência, máquina de revestimento a vácuo PVD

Introdução do Equipamento
Usando uma fonte de alimentação de média frequência (tipicamente 10-150 KHZ) como fonte de energia, o movimento dos elétrons é restringido por um campo magnético para aumentar a eficiência de ionização do gás, fazendo com que os átomos ou moléculas do material alvo sejam pulverizados e depositados na superfície do substrato para formar um filme.

Principais características
1. É alimentado por uma fonte de alimentação de média frequência, suprimindo efetivamente o fenômeno de descarga de arco durante o processo de pulverização reativa e garantindo a estabilidade do processo de revestimento.

2. Suporta operação de alta potência, com uma taxa rápida de pulverização do alvo, o que pode aumentar a eficiência da produção e atender às demandas de produção em massa.

3. Possui forte compatibilidade e pode usar vários materiais alvo, como alvos de metal e alvos de cerâmica, para preparar vários tipos de filmes funcionais.

4. A uniformidade do revestimento é boa, a adesão do filme é forte, a qualidade da camada de filme é estável e a espessura do filme pode ser precisamente controlada.

Principais vantagens1. O problema do acúmulo de carga durante materiais alvo isolantes ou pulverização reativa foi resolvido, reduzindo os defeitos da camada de filme.
2. Alta taxa de pulverização, menor consumo de energia, alta eficiência e economia de energia.

3. A camada de filme tem alta densidade e pureza, e apresenta desempenho excelente em indicadores-chave, como propriedades ópticas e mecânicas.

4. Opera de forma estável e confiável com custos de manutenção relativamente baixos.

Aplicação

O campo da óptica

1. É usado para preparar filmes ópticos, como filmes antirreflexo e filmes anti-reflexo para lentes de óculos.
2. Produz filmes de filtro óptico e filmes condutores para dispositivos de exibição, como LCD e OLED.

3. Fabricação de filmes antirreflexo e filmes condutores transparentes para células solares.

O campo da eletrônica e semicondutores

1. Prepare filmes metalizados para chips de semicondutores (como filmes de alumínio e filmes de cobre).
2. Filmes funcionais para a produção de componentes eletrônicos, como capacitores e sensores.

3. Faça filme de óxido condutor transparente (TCO) para telas sensíveis ao toque.

Decoração e campo de aparência

1. Aplique filmes decorativos (como filme de ouro de titânio e filme de zircônio) em hardware e materiais de construção (como portas e janelas, acessórios de banheiro).
2. É aplicado ao revestimento de peças automotivas (como rodas e peças internas).

3. Aplique filmes coloridos e filmes anti-impressão digital nas capas de telefones celulares e eletrodomésticos.

O campo de ferramentas e moldes

1. Filmes duros (como filmes TiN e TiAlN) são revestidos para ferramentas de corte e moldes.
2. Usado para revestir componentes de instrumentos de precisão.

Outros campos especiais

1. Prepare filmes anticorrosivos e aplique-os em componentes de engenharia marinha e equipamentos químicos.

2. Produza filmes de superfície modificada para materiais biomédicos (como filmes antibacterianos para implantes de liga de titânio).

3. Revestimento de filmes de barreira em materiais de embalagem pode aumentar sua resistência ao oxigênio e à umidade, prolongando assim a vida útil dos produtos.