Medium-Frequenz-Magnetron-Sputterbeschichtungsanlage PVD-Vakuum-Beschichtungsmaschine

Geräteinführung
Unter Verwendung einer Mittelfrequenz-Stromversorgung (typischerweise 10-150 kHz) als Energiequelle wird die Bewegung von Elektronen durch ein Magnetfeld eingeschränkt, um die Ionisierungseffizienz des Gases zu erhöhen, wodurch die Atome oder Moleküle des Zielmaterials gesputtert und auf der Oberfläche des Substrats abgeschieden werden, um einen Film zu bilden.

Kernmerkmale
1. Es wird von einer Mittelfrequenz-Stromversorgung betrieben, wodurch das Lichtbogenentladungsphänomen während des reaktiven Sputterprozesses effektiv unterdrückt und die Stabilität des Beschichtungsprozesses gewährleistet wird.

2. Unterstützt den Hochleistungsbetrieb mit einer schnellen Ziel-Sputterrate, was die Produktionseffizienz steigern und die Anforderungen der Massenproduktion erfüllen kann.

3. Es hat eine starke Kompatibilität und kann verschiedene Zielmaterialien wie Metallziele und Keramikziele verwenden, um mehrere Arten von Funktionsfilmen herzustellen.

4. Die Gleichmäßigkeit der Beschichtung ist gut, die Haftung des Films ist stark, die Qualität der Filmschicht ist stabil und die Dicke des Films kann präzise gesteuert werden.

Hauptvorteile1. Das Problem der Ladungsansammlung während isolierender Zielmaterialien oder des reaktiven Sputterns wurde gelöst, wodurch Defekte in der Filmschicht reduziert werden.
2. Hohe Sputterrate, geringerer Energieverbrauch, hohe Effizienz und Energieeinsparung.

3. Die Filmschicht hat eine hohe Dichte und Reinheit und zeichnet sich in wichtigen Indikatoren wie optischen und mechanischen Eigenschaften aus.

4. Es arbeitet stabil und zuverlässig mit relativ geringen Wartungskosten.

Anwendung

Bereich der Optik

1. Es wird zur Herstellung von optischen Filmen verwendet, wie z. B. Antireflexionsfilmen und entspiegelten Filmen für Brillengläser.
2. Herstellung von optischen Filterfilmen und leitfähigen Filmen für Anzeigegeräte wie LCD und OLED.

3. Herstellung von Antireflexionsfilmen und transparenten leitfähigen Filmen für Solarzellen.

Bereich Elektronik und Halbleiter

1. Herstellung von metallisierten Filmen für Halbleiterchips (wie Aluminiumfilme und Kupferfilme).
2. Funktionsfilme für die Herstellung von elektronischen Bauteilen wie Kondensatoren und Sensoren.

3. Herstellung von transparenten leitfähigen Oxidfilmen (TCO) für Touchscreens.

Dekorations- und Erscheinungsbereich

1. Anwendung von dekorativen Filmen (wie Titangoldfilm und Zirkoniumfilm) auf Hardware und Baumaterialien (wie Türen und Fenster, Badezimmerarmaturen).
2. Es wird auf die Beschichtung von Automobilteilen (wie Rädern und Innenteilen) angewendet.

3. Anwendung von Farbfilmen und Anti-Fingerabdruck-Filmen auf die Gehäuse von Mobiltelefonen und Haushaltsgeräten.

Bereich Werkzeuge und Formen

1. Hartfilme (wie TiN- und TiAlN-Filme) werden für Schneidwerkzeuge und Formen beschichtet.
2. Wird zum Beschichten von Komponenten von Präzisionsinstrumenten verwendet.

Andere Spezialgebiete

1. Herstellung von Korrosionsschutzfilmen und deren Anwendung auf Komponenten des Marine- und Chemieanlagenbaus.

2. Herstellung von oberflächenmodifizierten Filmen für biomedizinische Materialien (wie antibakterielle Filme für Titanlegierungs-Implantate).

3. Beschichtung von Barriereschichten auf Verpackungsmaterialien kann deren Beständigkeit gegen Sauerstoff und Feuchtigkeit erhöhen und somit die Haltbarkeit der Produkte verlängern.