Среднечастотное магнетронное напылительное оборудование, установка вакуумного PVD-напыления

Введение в оборудование
Используя среднечастотный источник питания (обычно 10-150 кГц) в качестве источника энергии, движение электронов ограничивается магнитным полем для повышения эффективности ионизации газа, что приводит к распылению атомов или молекул целевого материала и осаждению их на поверхности подложки с образованием пленки.

Основные характеристики
1. Питание от среднечастотного источника питания эффективно подавляет явление дугового разряда в процессе реактивного распыления и обеспечивает стабильность процесса нанесения покрытия.

2. Поддерживает работу с высокой мощностью, с высокой скоростью распыления мишени, что может повысить эффективность производства и удовлетворить потребности массового производства.

3. Обладает высокой совместимостью и может использовать различные материалы мишеней, такие как металлические и керамические мишени, для получения нескольких типов функциональных пленок.

4. Равномерность покрытия хорошая, адгезия пленки прочная, качество пленочного слоя стабильное, а толщина пленки может быть точно контролируема.

Основные преимущества1. Решена проблема накопления заряда во время использования изоляционных материалов мишеней или реактивного распыления, что снижает дефекты пленочного слоя.
2. Высокая скорость распыления, низкое энергопотребление, высокая эффективность и энергосбережение.

3. Пленочный слой имеет высокую плотность и чистоту и выдающиеся показатели по ключевым параметрам, таким как оптические и механические свойства.

4. Работает стабильно и надежно с относительно низкими затратами на техническое обслуживание.

Применение

Область оптики

1. Используется для получения оптических пленок, таких как антибликовые и просветляющие пленки для линз очков.
2. Производство оптических фильтров и проводящих пленок для дисплеев, таких как ЖК-дисплеи и OLED.

3. Производство антибликовых пленок и прозрачных проводящих пленок для солнечных элементов.

Область электроники и полупроводников

1. Получение металлизированных пленок для полупроводниковых чипов (например, алюминиевых и медных пленок).
2. Функциональные пленки для производства электронных компонентов, таких как конденсаторы и датчики.

3. Изготовление прозрачной проводящей оксидной (TCO) пленки для сенсорных экранов.

Область декора и внешнего вида

1. Нанесение декоративных пленок (например, титаново-золотой пленки и циркониевой пленки) на фурнитуру и строительные материалы (например, двери и окна, сантехнику).
2. Применяется для нанесения покрытий на автомобильные детали (например, колеса и детали интерьера).

3. Нанесение цветных пленок и пленок против отпечатков пальцев на корпуса мобильных телефонов и бытовой техники.

Область инструментов и пресс-форм

1. Твердые пленки (например, пленки TiN и TiAlN) наносятся на режущие инструменты и пресс-формы.
2. Используется для нанесения покрытий на компоненты прецизионных инструментов.

Другие специальные области

1. Получение антикоррозионных пленок и нанесение их на компоненты морской техники и химического оборудования.

2. Производство модифицированных поверхностных пленок для биомедицинских материалов (например, антибактериальных пленок для титановых сплавов для имплантатов).

3. Нанесение барьерных пленок на упаковочные материалы может повысить их устойчивость к кислороду и влаге, тем самым продлевая срок годности продуктов.