Medium-frequentie magnetron sputtercoating apparatuur pvd vacuüm coating machine

Apparatuur Introductie
Door een middenfrequente voeding (meestal 10-150 KHZ) als energiebron te gebruiken, wordt de beweging van elektronen beperkt door een magnetisch veld om de ionisatie-efficiëntie van het gas te verbeteren, waardoor de atomen of moleculen van het doelmateriaal worden verstuurd en afgezet op het oppervlak van het substraat om een film te vormen.

Kernkenmerken
1. Het wordt aangedreven door een middenfrequente voeding, waardoor het boogontladingsfenomeen tijdens het reactieve sputterproces effectief wordt onderdrukt en de stabiliteit van het coatingproces wordt gewaarborgd.

2. Ondersteunt werking met hoog vermogen, met een snelle targetsputtersnelheid, wat de productie-efficiëntie kan verhogen en aan de eisen van massaproductie kan voldoen.

3. Het heeft een sterke compatibiliteit en kan verschillende doelmaterialen gebruiken, zoals metalen doelen en keramische doelen, om meerdere soorten functionele films te bereiden.

4. De uniformiteit van de coating is goed, de hechting van de film is sterk, de kwaliteit van de film laag is stabiel en de dikte van de film kan nauwkeurig worden gecontroleerd.

Belangrijkste voordelen1. Het probleem van ladingaccumulatie tijdens isolerende doelmaterialen of reactief sputteren is opgelost, waardoor defecten in de filmlaag worden verminderd.
2. Hoge sputtersnelheid, lager energieverbruik, hoge efficiëntie en energiebesparing.

3. De filmlaag heeft een hoge dichtheid en zuiverheid en presteert uitstekend in belangrijke indicatoren zoals optische en mechanische eigenschappen.

4. Het werkt stabiel en betrouwbaar met relatief lage onderhoudskosten.

Toepassing

Het gebied van optica

1. Het wordt gebruikt voor het bereiden van optische films, zoals anti-reflectie films en anti-reflecterende films voor brillenglazen.
2. Produceer optische filterfilms en geleidende films voor weergaveapparaten zoals LCD en OLED.

3. Vervaardiging van anti-reflectie films en transparante geleidende films voor zonnecellen.

Het gebied van elektronica en halfgeleiders

1. Bereid gemetalliseerde films voor halfgeleiderchips (zoals aluminiumfilms en kopere films).
2. Functionele films voor de productie van elektronische componenten zoals condensatoren en sensoren.

3. Maak transparante geleidende oxide (TCO) film voor aanraakschermen.

Decoratie en uiterlijk

1. Breng decoratieve films (zoals titanium gouden film en zirconium film) aan op hardware en bouwmaterialen (zoals deuren en ramen, badkamerarmaturen).
2. Het wordt toegepast op de coating van auto-onderdelen (zoals wielen en interieuronderdelen).

3. Breng gekleurde films en anti-vingerafdrukfilms aan op de behuizingen van mobiele telefoons en huishoudelijke apparaten.

Het gebied van gereedschappen en mallen

1. Harde films (zoals TiN en TiAlN films) worden gecoat voor snijgereedschappen en mallen.
2. Gebruikt voor het coaten van componenten van precisie-instrumenten.

Andere speciale gebieden

1. Bereid anti-corrosiefilms en breng ze aan op componenten van maritieme techniek en chemische apparatuur.

2. Produceer oppervlakte-gemodificeerde films voor biomedische materialen (zoals antibacteriële films voor titaniumlegering implantaten).

3. Coating barrièrefilms op verpakkingsmaterialen kan hun weerstand tegen zuurstof en vocht verbeteren, waardoor de houdbaarheid van de producten wordt verlengd.