Thiết bị phủ bằng phương pháp phun từ magnetron tần số trung bình, máy phủ chân không pvd

Giới thiệu thiết bị
Sử dụng nguồn điện tần số trung bình (thường là 10-150 KHZ) làm nguồn năng lượng, sự di chuyển của các electron bị giới hạn bởi từ trường để tăng cường hiệu quả ion hóa của khí, khiến các nguyên tử hoặc phân tử của vật liệu đích bị phun và lắng đọng trên bề mặt của đế để tạo thành một lớp màng.

Tính năng cốt lõi
1. Được cung cấp bởi nguồn điện tần số trung bình, ngăn chặn hiệu quả hiện tượng phóng điện hồ quang trong quá trình phun phản ứng và đảm bảo sự ổn định của quá trình phủ.

2. Hỗ trợ hoạt động công suất cao, với tốc độ phun đích nhanh, có thể tăng cường hiệu quả sản xuất và đáp ứng nhu cầu sản xuất hàng loạt.

3. Có khả năng tương thích mạnh mẽ và có thể sử dụng nhiều loại vật liệu đích khác nhau như đích kim loại và đích gốm để chuẩn bị nhiều loại màng chức năng.

4. Độ đồng đều của lớp phủ tốt, độ bám dính của màng chắc chắn, chất lượng của lớp màng ổn định và có thể kiểm soát chính xác độ dày của màng.

Ưu điểm chính1. Vấn đề tích tụ điện tích trong quá trình phun vật liệu đích cách điện hoặc phun phản ứng đã được giải quyết, giảm thiểu các khuyết tật của lớp màng.
2. Tốc độ phun cao, tiêu thụ năng lượng thấp hơn, hiệu quả cao và tiết kiệm năng lượng.

3. Lớp màng có mật độ và độ tinh khiết cao, thể hiện vượt trội trong các chỉ số quan trọng như tính chất quang học và cơ học.

4. Hoạt động ổn định và đáng tin cậy với chi phí bảo trì tương đối thấp.

Ứng dụng

Lĩnh vực quang học

1. Được sử dụng để chuẩn bị các màng quang học, chẳng hạn như màng chống phản xạ và màng chống chói cho tròng kính.
2. Sản xuất màng lọc quang học và màng dẫn điện cho các thiết bị hiển thị như LCD và OLED.

3. Sản xuất màng chống phản xạ và màng dẫn điện trong suốt cho pin mặt trời.

Lĩnh vực điện tử và bán dẫn

1. Chuẩn bị màng kim loại hóa cho chip bán dẫn (chẳng hạn như màng nhôm và màng đồng).
2. Màng chức năng để sản xuất các linh kiện điện tử như tụ điện và cảm biến.

3. Tạo màng oxit dẫn điện trong suốt (TCO) cho màn hình cảm ứng.

Lĩnh vực trang trí và ngoại hình

1. Ứng dụng các màng trang trí (chẳng hạn như màng titan vàng và màng zirconi) cho phần cứng và vật liệu xây dựng (chẳng hạn như cửa ra vào và cửa sổ, đồ đạc phòng tắm).
2. Nó được ứng dụng để phủ các bộ phận ô tô (chẳng hạn như bánh xe và các bộ phận nội thất).

3. Ứng dụng các màng màu và màng chống vân tay cho vỏ điện thoại di động và đồ gia dụng.

Lĩnh vực công cụ và khuôn mẫu

1. Các màng cứng (chẳng hạn như màng TiN và màng TiAlN) được phủ cho dụng cụ cắt và khuôn mẫu.
2. Được sử dụng để phủ các bộ phận của các dụng cụ chính xác.

Các lĩnh vực đặc biệt khác

1. Chuẩn bị màng chống ăn mòn và ứng dụng chúng cho các bộ phận của kỹ thuật hàng hải và thiết bị hóa chất.

2. Sản xuất màng biến đổi bề mặt cho vật liệu y sinh (chẳng hạn như màng kháng khuẩn cho cấy ghép hợp kim titan).

3. Phủ màng rào cản lên vật liệu đóng gói có thể tăng cường khả năng chống lại oxy và độ ẩm, do đó kéo dài thời hạn sử dụng của sản phẩm.