Guangdong Zhongda Vacuum Equipment Co., Ltd.
+8613751829733

Elektronenstraaloptische coatingsmachine voor optische lenzen van mineraalglas, optische lenzen van polymeren,

Elektronenstraaloptische coatingsmachine voor optische lenzen van mineraalglas, optische lenzen van polymeren,
Plaats van herkomst:Zhaoqing, Guangdong
Merknaam:Zhongda
Certificering:CE
Minimale bestelhoeveelheid:1
Levertijd:20
Productdetails
Markeren:

PVD vacuümcoatingsmachine van roestvrij staal

,

PVD Vacuüm Coating Machine Touchscreen

,

Multi Arc Ion PVD Vacuüm Coating Machine

Coating Warranty: 1 jaar
Substrate Material: Glas, metaal, keramiek
Coating Type: optisch
Coating Deposition Rate: 1-5 Å/s
Coating Hardness: ≥800HV
Coating Chamber Size: Aanpasbaar
Coating Power Supply: hoogspanningsvoeding
Coating Adhesion: ≥100N
Coating Uniformity: ±5%
Coating Material: Elektronenkanon
Coating Control System: PLC-aanraakscherm
Coating Thickness: 0,1-10 micron
Coating Method: Elektronenstraalverdamping
Coating Temperature: ≤200℃
Coating Transparency: ≥95%
Coating Application: Optische lenzen, spiegels, filters
Coating Features: Hoog efficiëntie, goedkope, gemakkelijke werking
Coating Substrate: Glas, metaal, keramiek, enz.
Warranty: 1 jaar
Vacuum Chamber Size: Aanpasbaar
Power Supply: AC 220V, 50/60Hz
Application: Elektronenpistoolcoating
Coating Size: Aanpasbaar
Type: Coatingmachine
Coating Material: Elektronenstraal
Application: coating met elektronenbundel
Productbeschrijving
Gedetailleerde specificaties en kenmerken

Optische coatingapparatuur

 

Toepassingen:

AR/AF

Hoog reflecterende folie

Spectroscopische film

Andere optische film

 

Functies:

Uitgerust met 6-punts kristaloscillatorsensor + filmdikteregelaar

RF-ionenbron

Uitgerust met dubbele elektronenkanonnen, meerpunts- en ringkroes

Automatisch verdampingscontrolesysteem wordt gebruikt om een ​​automatisch verdampingsproces te realiseren

De werkhouder kan optioneel worden uitgerust met een paraplutype of een planetair type


Specificatie

 

 

Vacuümkamer

SUS 304, φ1550mmx1800mm(H)

 

Grootte van de werkhouder

φ1400mm

 

Snelheid van de werkhouder

0-60 tpm (variabel)

 

Detectieapparaat voor filmdikte

6-punts kristaloscillatorsensor + filmdikteregelaar

 

Verdampingsbron

2 sets elektronenkanonnen

 

lon bron

23 cm RF-ionenbron

 

Uitlaatsysteem

Mechanische pomp+diffusiepomp (of moleculaire pomp)+cryogene opvangpomp

Prestatie

 

Ultieme druk

Onder 7,0x10-4Pa

 

Uitlaattijd

15 min (atmosferische druk ~1,3x10- 3Pa)

 

Substraat temperatuur

Maximaal:350°C

Werkende staat

Grootte van uitrusting

ongeveer 5500 mm (B) x 7200 mm (D) x 3700 mm (H)

 

Stroombron

3-fase voeding,380v,50Hz,circa 100kVA

 

Koelwater

Het waterdebiet is 11 m³/u, de temperatuur is 20°C-25°C

 

Luchtdruk

Boven 0,6-0,7 MPa

 

Gewicht

Ongeveer 11000kg



1.Uitgerust met kwartskristal of optisch filmdiktecontrole-instrument, kan automatische en nauwkeurige filmdiktecontrole worden gerealiseerd.

2.Uitgerust met een ionenbombardementapparaat dat het substraatoppervlak zuivert om een ​​betere hechting tussen de filmlaag en het substraatoppervlak te bewerkstelligen en de kwaliteit van de filmlaag te verbeteren.

3.Uitgerust met een groot smeltkroes-elektronenkanon, is het oppervlak van het filmmateriaal glad en wordt de filmlaag gelijkmatig verdeeld tijdens het hele verdampingsproces

Keurt programmeerbare controller (PLC), touchscreen (HMI) mens-machine besturingsinterface goed, eenvoudig te bedienen, handmatige / volautomatische bediening vrij schakelen.


Optica Vacuümcoatingmachine 

Invoering:Deze machine wordt voornamelijk gebruikt voor het plateren van verschillende films, zoals film met verbeterde transparantie, spectroscopische film, banddoorlaatfilm / cutoff-film en film met hoge reflectie. Het kan een supergroot filmsysteem met 100 filmlagen aanbrengen, en een transparant verbeterde film met verschillende kleuren, een reflectiefilm met een rode, gele, blauwe, groene of regenboogkleur

 

Belangrijkste kenmerken:

1. Deze machine is uitgerust met een supergroot elektronisch pistool. Tijdens het gehele verdampingsproces is het filmoppervlak vlak en is de verdampingsverdeling gelijkmatig.

2. Deze machine is uitgerust met een kwartskristalfilmdiktecontrole-instrument om de filmvormingssnelheid en het metallisatieproces automatisch te regelen.

3. Deze machine is uitgerust met een krachtige ionenbron om een ​​filmdikte van goede kwaliteit te produceren.

4. De algehele structuur is rationeel ontworpen om beter aan de procesvereisten te voldoen. Het vacuümsysteem wordt automatisch bestuurd door PLC voor een gemakkelijke bediening.

5. Het vacuümbesturingssysteem is beveiligd met een vergrendeling. De diffusiepomp heeft alarmfuncties voor waterafsluiting en faseverlies.

6. Aanraakscherm en automatische PLC-besturing worden gebruikt om parameters van de hoofdcomponenten van de gehele machine in te stellen, om de werking van deze machine in realtime te controleren en om fouten op intelligente wijze te diagnosticeren.

 

Hoofdconfiguratie:

1. De vacuümkamer is een verticale doosstructuur met een voordeur; de doos is volledig gemaakt van roestvrij staal; afmetingen van de interne holte zijn Φ800mm1200mm.

2. Vacuümsysteemconfiguratie: met moleculaire pomp (of diffusiepomp), Roots-pomp, mechanische pompen.

3. Diepkoelsysteem met een snelle waterdamp-cryopomp

4. Werkstukrek is een geïntegreerd werkstuk met gebogen vorm, dat kan worden aangepast aan de klant.

5. Het coatingsysteem is uitgerust met een of twee sets krachtige e-type elektronische kanonnen met 270 ° magnetische afbuiging die in XY-richtingen scannen. Het hulpmetallisatiesysteem is uitgerust met een Holl-ionenbron.

6. Bakken: digitaal weergegeven en automatisch geregeld met een temperatuurcontroleprecisie van ±1,5.

7. Het filmdiktebewakingssysteem kan de verdampingssnelheid van het elektronische pistool regelen. Het optische filmdiktebewakingssysteem, waarbij de golflengte wordt geregeld binnen het bereik van 200-900 nm.

8. Besturingssysteem: Het vacuüm wordt bestuurd door een 10,4 inch kleurenaanraakscherm in combinatie met een programmeerbare logische controller. Het vacuüm- en coatingproces worden volledig automatisch aangestuurd.


Parameterspecificatie

Model

ZDGX-700

ZDGX-1000

ZDGX-1100

ZDGX-1300

ZDGX-1350

Kamergrootte

750×800mm

1000×1100

1100×1300

1300×1350

1350×1500

Coatingfilmtype

Optische antireflectiefilm, AR, breedband antireflectie, enkelpunts antireflectie, optisch filter en decoratieve film

Armatuur

4 stuks boogvormige armaturen, enkele boogvormige plaatomwenteling, 3 stuks platen planeetrotatie en revolutie, 12 assen rotatie en revolutie (horizontaal)

Vacuümkamerstructuur

verticaal / horizontaal (304 roestvrij staal), vacuümsysteempaal gepositioneerd

Vacuümsysteem

schuifkleppomp (rotatiepomp), wortelspomp, diffusiepomp, onderhoudspomp (optioneel: moleculaire pomp, diepkoude pomp, diepkoud systeem)

Verwarmingssysteem

verwarmd door verwarmingsbuis, PID-regeling, de maximale temperatuur: 350 graden

Opblaassysteem

massastroomregelaar en elektrische magnetische klep

Elektrische straal

Elektrische straal 4 ronde smeltkroezen en een U-vormige smeltkroes, hoogspanning 4KV-8KV instelbaar. Driehoeksgolf-, sinusgolf- en rechthoekgolfscanning zijn optioneel.

Weerstand verdampingsbron

2 groepen weerstandsverdampingsbronnen

Ionenbron

vermogen 2KW, maximale anodestroom 6A. dubbele filamenten die de hechtkracht, dichtheid en reflectie-index van de filmlaag vergroten (Kerr)

Kristalfilmdikteregelaar

kristalfilmdikteregelaar SQC-310 (Amerika) en PLC vormen het volledig automatische pomp- en E-beam verdampingssysteem.

Ultiem vacuüm

8×104paschoon en gelost

Pomp tijd

Van sfeer naar 5×103pa minder dan 15 minuten

Controlerende methode

handmatig, halfautomatisch, volautomatisch / aanraakscherm & PLC

Opmerking

Kan worden ontworpen volgens het verzoek van de klant


Bericht voor snelle reactie
Gerelateerde producten