تجهیزات پوشش نوری
برنامه های کاربردی:
AR/AF
فیلم بازتابی بالا
فیلم طیف سنجی
فیلم نوری دیگر
ویژگی ها:
مجهز به سنسور نوسانگر کریستالی 6 نقطه + کنترل کننده ضخامت فیلم
منبع یون RF
مجهز به تفنگ های الکترونی دوگانه، بوته چند نقطه ای و حلقه ای
سیستم کنترل تبخیر خودکار برای تحقق فرآیند تبخیر خودکار استفاده می شود
Workholder می تواند به صورت اختیاری به نوع چتری یا سیاره ای مجهز شود
|
مشخصات
|
محفظه خلاء |
SUS 304، φ1550mmx1800mm(H) |
|
|
اندازه کارگر |
φ1400 میلی متر |
|
|
سرعت کارگر |
0-60 دور در دقیقه (متغیر) |
|
|
دستگاه تشخیص ضخامت فیلم |
سنسور نوسانگر کریستالی 6 نقطه + کنترل کننده ضخامت فیلم |
|
|
منبع تبخیر |
2 مجموعه تفنگ الکترونی |
|
|
منبع lon |
منبع یون RF 23 سانتی متر |
|
|
سیستم اگزوز |
پمپ مکانیکی + پمپ انتشار (یا پمپ مولکولی) + پمپ جذب برودتی |
|
عملکرد
|
فشار نهایی |
زیر 7.0x10-4پا |
|
|
زمان اگزوز |
15 دقیقه (فشار اتمسفر ~ 1.3x10- 3پا) |
|
|
دمای بستر |
حداکثر: 350 درجه سانتیگراد |
|
شرایط کاری |
اندازه تجهیزات |
حدود 5500mm(W)x7200mm(D)x3700mm(H) |
|
|
منبع برق |
منبع تغذیه 3 فاز، 380 ولت، 50 هرتز، تقریبا 100 کیلو ولت آمپر |
|
|
آب خنک کننده |
سرعت جریان آب 11 متر مکعب در ساعت، دما 20-25 درجه سانتیگراد است. |
|
|
فشار هوا |
بالاتر از 0.6-0.7MPa |
|
|
وزن |
حدود 11000 کیلوگرم |
1.مجهز به کریستال کوارتز یا ابزار کنترل ضخامت فیلم نوری، می تواند کنترل ضخامت فیلم را به صورت خودکار و دقیق انجام دهد.
2.مجهز به دستگاه بمباران یونی، سطح زیرلایه را برای ایجاد چسبندگی بهتر بین لایه فیلم و سطح بستر و بهبود کیفیت لایه فیلم، تصفیه می کند.
3.مجهز به تفنگ الکترونی بوته ای بزرگ، سطح مواد فیلم صاف است و لایه فیلم به طور مساوی در کل فرآیند تبخیر توزیع می شود.
کنترل کننده قابل برنامه ریزی (PLC)، صفحه نمایش لمسی (HMI) رابط کنترل انسان و ماشین، کارکرد آسان، کنترل دستی/تمام اتوماتیک آزادانه.
دستگاه پوشش وکیوم اپتیک
مقدمه:این دستگاه عمدتاً برای آبکاری فیلم های مختلف مانند فیلم افزایش شفافیت، فیلم طیف سنجی، فیلم باند عبور / فیلم برش و فیلم بازتابی بالا استفاده می شود. این می تواند یک سیستم فیلم فوق العاده بزرگ با 100 لایه فیلم، و یک فیلم افزایش شفافیت با رنگ های مختلف، یک فیلم بازتابی با رنگ های قرمز، زرد، آبی، سبز یا رنگین کمانی را بپوشاند.
ویژگی های اصلی:
1. این دستگاه مجهز به تفنگ الکترونیکی بوته بزرگ است. در کل فرآیند تبخیر، سطح فیلم صاف و توزیع تبخیر یکنواخت است.
2. این دستگاه مجهز به ابزار کنترل ضخامت فیلم کریستال کوارتز برای کنترل سرعت تشکیل فیلم و فرآیند متالیزاسیون به طور خودکار است.
3. این دستگاه مجهز به منبع یونی با قدرت بالا برای تولید ضخامت فیلم با کیفیت خوب است.
4. ساختار کلی به طور منطقی طراحی شده است تا نیازهای فرآیند را بهتر برآورده کند. سیستم خلاء به طور خودکار توسط PLC برای عملکرد راحت کنترل می شود.
5. سیستم عامل خلاء با یک اینترلاک محافظت می شود. پمپ انتشار دارای عملکرد هشدار قطع آب و کاهش فاز است.
6. صفحه نمایش لمسی و کنترل خودکار PLC برای تنظیم پارامترهای اجزای اصلی کل دستگاه، نظارت بر عملکرد این دستگاه در زمان واقعی و برای تشخیص هوشمند عیب ها استفاده می شود.
پیکربندی اصلی:
1. محفظه خلاء یک ساختار جعبه ای از نوع عمودی با درب جلو است. جعبه کاملاً از فولاد ضد زنگ ساخته شده است. ابعاد حفره داخلی Φ800mm1200mm است.
2. پیکربندی سیستم خلاء: با پمپ مولکولی (یا پمپ انتشار)، پمپ ریشه، پمپ های مکانیکی.
3. سیستم خنک کننده عمیق با یک پمپ خنک کننده بخار آب با چرخه سریع
4. Work Piece Rack یک قطعه کار به شکل قوسی یکپارچه است که می تواند با توجه به مشتری سفارشی شود.
5. سیستم پوشش مجهز به یک یا دو مجموعه از اسلحه الکترونیکی با انحراف مغناطیسی 270 درجه با قدرت بالا در جهت XY است. سیستم متالیزاسیون کمکی به منبع یون هال مجهز شده است.
6. پخت: به صورت دیجیتالی نمایش داده می شود و به طور خودکار با دقت کنترل دما 1.5± کنترل می شود.
7. سیستم نظارت بر ضخامت فیلم می تواند میزان تبخیر تفنگ الکترونیکی را کنترل کند. سیستم نظارت بر ضخامت فیلم نوری، که در آن طول موج در محدوده 200-900 نانومتر کنترل می شود.
8. سیستم کنترل: خلاء توسط یک صفحه نمایش لمسی رنگی 10.4 اینچی همراه با یک کنترل کننده منطقی قابل برنامه ریزی کنترل می شود. فرآیند خلاء و پوشش کاملاً خودکار کنترل می شود.
مشخصات پارامتر
|
مدل |
ZDGX-700 |
ZDGX-1000 |
ZDGX-1100 |
ZDGX-1300 |
ZDGX-1350 |
|
اندازه اتاقک |
750×800 میلی متر |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
نوع فیلم پوشش |
فیلم ضد انعکاس نوری، AR، ضد انعکاس باند پهن، ضد انعکاس تک نقطه ای، فیلتر نوری و فیلم تزئینی |
||||
|
فیکسچر |
4 قطعه فیکسچر قوسی شکل، چرخش صفحه تک قوس، چرخش و چرخش سیاره 3 قطعه، چرخش و چرخش 12 شفت (افقی) |
||||
|
ساختار اتاق خلاء |
عمودی / افقی (304 فولاد ضد زنگ)، سیستم خلاء پست قرار گرفته است |
||||
|
سیستم خلاء |
پمپ شیر کشویی (پمپ دوار)، پمپ ریشه، پمپ انتشار، پمپ نگهدارنده (اختیاری: پمپ مولکولی، پمپ سرد عمیق، سیستم سرد عمیق) |
||||
|
سیستم گرمایش |
با لوله گرمایش، کنترل PID، حداکثر دما: 350 درجه گرم می شود |
||||
|
سیستم تورم |
کنترل کننده جریان جرمی و شیر مغناطیسی الکتریکی |
||||
|
پرتو برقی |
پرتو برقی 4 بوته گرد و یک بوته U شکل، ولتاژ بالا 4KV-8KV قابل تنظیم. اسکن موج مثلثی، موج سینوسی و موج مستطیل اختیاری است. |
||||
|
منبع تبخیر مقاومتی |
2 گروه منبع تبخیر مقاومتی |
||||
|
منبع یون |
قدرت 2KW، حداکثر جریان آند 6A. رشته های دوتایی که باعث افزایش نیروی چسبندگی، چگالی و شاخص بازتاب لایه فیلم (کر) می شود. |
||||
|
کنترل کننده ضخامت فیلم کریستالی |
کنترل کننده ضخامت فیلم کریستالی SQC-310 (آمریکا) و PLC سیستم پمپاژ تمام اتوماتیک و تبخیر پرتو E را تشکیل می دهند. |
||||
|
خلاء نهایی |
8×104 تمیز و بدون بار |
||||
|
زمان پمپ |
از اتمسفر تا 5×103pa کمتر از 15 دقیقه |
||||
|
روش کنترل |
صفحه نمایش دستی، نیمه اتوماتیک، تمام اتوماتیک / لمسی و PLC |
||||
|
تذکر دهید |
می تواند با توجه به درخواست مشتری طراحی شود |
||||
در هر زمان با ما تماس بگیرید