|
Mesin Pelapis Optik Berkas Elektron untuk Lensa Optik Kaca Mineral, Lensa Optik Polimer,
| Tempat asal | Zhaoqing, Guangdong |
| Nama merek | Zhongda |
| Sertifikasi | CE |
Mesin Lapisan Vakuum PVD Baja Rustless
,Mesin Pelapisan Vakum PVD Layar Sentuh
,Mesin Pelapisan Vakum PVD Ion Multi Arc
Peralatan Pelapisan Optik
Aplikasi:
AR/AF
Film reflektif tinggi
Film spektroskopi
Film optik lainnya
Fitur:
Dilengkapi dengan sensor osilator kristal 6 titik + pengontrol ketebalan film
Sumber ion RF
Dilengkapi dengan senjata elektron ganda, multi-point dan wadah cincin
Sistem kontrol penguapan otomatis digunakan untuk mewujudkan proses penguapan otomatis
Workholder dapat dilengkapi secara opsional dengan tipe payung atau tipe planetary
|
Spesifikasi
|
Ruang vakum |
SUS 304, φ1550mmx1800mm(T) |
|
|
Ukuran pekerja |
φ1400mm |
|
|
Kecepatan pekerja |
0-60rpm (variabel) |
|
|
Alat pendeteksi ketebalan film |
Sensor osilator kristal 6 titik + pengontrol ketebalan film |
|
|
Sumber penguapan |
2 set senjata elektron |
|
|
sumber panjang |
Sumber ion RF 23cm |
|
|
Sistem pembuangan |
Pompa mekanis+pompa difusi (atau pompa molekuler)+pompa penangkapan kriogenik |
|
Pertunjukan
|
Tekanan tertinggi |
Di bawah 7.0x10-4Pa |
|
|
Waktu buang |
15 menit(tekanan atmosfer~1,3x10- 3Pa) |
|
|
Suhu substrat |
Maksimum:350°C |
|
Kondisi kerja |
Ukuran peralatan |
sekitar 5500mm(L)x7200mm(D)x3700mm(T) |
|
|
Sumber listrik |
Catu daya 3 fase, 380v,50Hz, sekitar 100kVA |
|
|
Air pendingin |
Laju aliran air 11m³/jam, suhu 20°C-25°C |
|
|
Tekanan udara |
Di atas 0,6-0,7MPa |
|
|
Berat |
Sekitar 11000kg |
1.Dilengkapi dengan kristal kuarsa atau instrumen kontrol ketebalan film optik, dapat mewujudkan kontrol ketebalan film otomatis dan tepat.
2.Dilengkapi dengan perangkat bombardir ion yang memurnikan permukaan substrat untuk meningkatkan daya rekat antara lapisan film dan permukaan substrat serta meningkatkan kualitas lapisan film.
3.Dilengkapi dengan senjata elektron wadah besar, permukaan bahan film halus dan lapisan film didistribusikan secara merata di seluruh proses penguapan.
Mengadopsi pengontrol yang dapat diprogram (PLC), antarmuka kontrol manusia-mesin layar sentuh (HMI), mudah dioperasikan, kontrol manual/otomatis penuh beralih dengan bebas.
Mesin Pelapis Vakum Optik
Perkenalan:Mesin ini terutama digunakan untuk pelapisan berbagai film seperti film yang ditingkatkan transparansi, film spektroskopi, film band pass/film cutoff, dan film refleksi tinggi. Ini dapat melapisi sistem film super besar dengan 100 lapisan film, dan film yang ditingkatkan transparansi dengan berbagai warna, film refleksi dengan warna merah, kuning, biru, hijau atau pelangi
Fitur Utama:
1. Mesin ini dilengkapi dengan senjata elektronik wadah super besar. Pada keseluruhan proses evaporasi permukaan film rata dan distribusi evaporasi merata.
2. Mesin ini dilengkapi dengan instrumen pengontrol ketebalan film kristal kuarsa untuk mengontrol kecepatan pembentukan film dan proses metalisasi secara otomatis.
3. Mesin ini dilengkapi dengan sumber ion berdaya tinggi sehingga menghasilkan ketebalan film dengan kualitas yang baik.
4. Struktur keseluruhan dirancang secara rasional untuk memenuhi persyaratan proses dengan lebih baik. Sistem vakum dikontrol secara otomatis oleh PLC untuk pengoperasian yang mudah.
5. Sistem operasi vakum dilindungi dengan interlock. Pompa difusi memiliki fungsi pemutusan air dan alarm kehilangan fasa.
6. Layar sentuh dan kontrol otomatis PLC digunakan untuk mengatur parameter komponen utama seluruh mesin, memantau jalannya mesin ini secara real time, dan mendiagnosis kesalahan secara cerdas.
Konfigurasi Utama:
1. Ruang vakum adalah struktur kotak tipe vertikal dengan pintu depan; kotak itu seluruhnya terbuat dari baja tahan karat; dimensi rongga internal adalah Φ800mm1200mm.
2. Konfigurasi Sistem Vakum: dengan pompa molekuler (atau pompa difusi), pompa Akar, pompa mekanis.
3. Sistem Pendinginan Dalam dengan Cryopump Uap Air Siklus Cepat
4. Rak Benda Kerja adalah benda kerja berbentuk lengkung yang terintegrasi, dapat disesuaikan dengan kebutuhan pelanggan.
5. Sistem pelapisan dilengkapi dengan satu atau dua set pemindaian senjata elektronik defleksi magnetik 270° tipe e berdaya tinggi dalam arah XY. Sistem metalisasi tambahan dilengkapi dengan sumber ion Holl.
6. Memanggang: Ditampilkan secara digital dan dikontrol secara otomatis dengan presisi kontrol suhu ±1,5.
7. Sistem pemantauan ketebalan film dapat mengontrol laju penguapan senjata elektronik. Sistem pemantauan ketebalan film optik, di mana panjang gelombang dikontrol dalam kisaran 200-900nm.
8. Sistem Kontrol: Ruang hampa dikendalikan oleh layar sentuh berwarna 10,4 inci yang dipadukan dengan pengontrol logika yang dapat diprogram. Proses vakum dan pelapisan dikontrol sepenuhnya secara otomatis.
Spesifikasi Parameter
|
Model |
ZDGX-700 |
ZDGX-1000 |
ZDGX-1100 |
ZDGX-1300 |
ZDGX-1350 |
|
Ukuran Kamar |
750×800mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
Jenis Film Pelapis |
Film antirefleksi optik, AR, antirefleksi broadband, antirefleksi titik tunggal, filter optik dan film dekoratif |
||||
|
Perlengkapan |
4 buah perlengkapan berbentuk busur, putaran dan putaran pelat berbentuk busur tunggal, 3 buah putaran dan putaran planet pelat, 12 putaran dan putaran poros (horizontal) |
||||
|
Struktur Ruang Vakum |
vertikal / horizontal (baja tahan karat 304), posisi tiang sistem vakum |
||||
|
Sistem Vakum |
pompa katup geser (pompa putar), pompa akar, pompa difusi, pompa pemeliharaan (opsional: pompa molekuler, pompa dingin dalam, sistem dingin dalam) |
||||
|
Sistem Pemanas |
dipanaskan dengan tabung pemanas, kontrol PID, suhu maksimal: 350 derajat |
||||
|
Sistem Inflasi |
pengontrol aliran massa & katup magnet listrik |
||||
|
Sinar listrik |
Balok listrik 4 cawan lebur berbentuk bulat dan wadah berbentuk U, tegangan tinggi 4KV-8KV dapat disesuaikan. Pemindaian gelombang segitiga, gelombang sinus, dan gelombang persegi panjang bersifat opsional. |
||||
|
Sumber Penguapan Resistensi |
2 kelompok sumber penguapan resistensi |
||||
|
Sumber Ion |
daya 2KW, arus anoda maks 6A. filamen ganda yang meningkatkan gaya rekat, kepadatan dan indeks reflektif lapisan film (Kerr) |
||||
|
Pengontrol Ketebalan Film Kristal |
pengontrol ketebalan film kristal SQC-310 (Amerika) dan PLC membentuk sistem pemompaan dan penguapan E-beam yang sepenuhnya otomatis. |
||||
|
Vakum Tertinggi |
8×104paclean dan dibongkar |
||||
|
Waktu Pompa |
Dari atmosfer ke 5×103pa kurang dari 15 menit |
||||
|
Metode Pengendalian |
layar manual, semi-otomatis, otomatis penuh / sentuh & PLC |
||||
|
Komentar |
Dapat dirancang sesuai permintaan pelanggan |
||||
Hubungi kami kapan saja
