Maszyna do pokrycia optycznego wiązki elektronów do soczewek optycznych ze szkła mineralnego, soczewek optycznych polimerowych,
Maszyna do pokrycia próżniowego PVD ze stali nierdzewnej
,Ekran dotykowy maszyny do pokrycia próżniowego PVD
,Maszyna do powlekania próżniowego PVD z wielobiegiem jonów
Urządzenia do powlekania optycznego
Zastosowanie:
AR/AF
Film o wysokiej odblaskowości
Filmy spektroskopowe
Pozostałe folie optyczne
Charakterystyka:
Wyposażone w 6-punktowy czujnik oscylatora kryształowego + kontroler grubości folii
Źródło jonów RF
Wyposażone w podwójne pistolety elektronowe, wielopunktowe i pierścieniowe tygły
Automatyczny system sterowania parowaniem jest używany do realizacji automatycznego procesu parowania
Wymagania w zakresie ochrony środowiska
|
Specyfikacja
|
Komora próżniowa |
SUS 304, φ1550mmx1800mm ((H) |
|
|
Wielkość pracownika |
φ1400 mm |
|
|
Prędkość pracownika |
0-60 obr./min (zmiennik) |
|
|
Urządzenie wykrywające grubość folii |
6-punktowy czujnik oscylatora krystalicznego + regulator grubości folii |
|
|
Źródło parowania |
2 zestawy pistoletów elektronicznych |
|
|
źródło |
23cm źródło jonów RF |
|
|
Układ wydechowy |
Pompa mechaniczna+pompa dyfuzyjna ((lub pompa molekularna) +pompa chłodzenia kriogenicznego |
|
Wydajność
|
Najwyższy ciśnienie |
Mniej niż 7,0x10- 4Ojcze. |
|
|
Czas wydechu |
15 min (ciśnienie atmosferyczne ~1.3x10)- Trzy.Pa) |
|
|
Temperatura podłoża |
Maksymalny: 350°C |
|
Warunki pracy |
Wielkość sprzętu |
około 5500 mm ((W) x 7200 mm ((D) x 3700 mm ((H) |
|
|
Źródło mocy |
3-fazowe zasilanie 380V, 50Hz, około 100kVA |
|
|
Woda chłodząca |
Przepływ wody wynosi 11 m3/h, temperatura 20-25°C |
|
|
Ciśnienie powietrza |
Powyżej 0,6-0,7 MPa |
|
|
Waga |
Około 11000 kg |
1.Wyposażony w kryształ kwarcowy lub optyczny instrument kontroli grubości folii, może realizować automatyczną i precyzyjną kontrolę grubości folii.
2.Wyposażone w urządzenie bombardowania jonowego oczyszcza powierzchnię podłoża, aby poprawić przyczepność między warstwą folii a powierzchnią podłoża i poprawić jakość warstwy folii.
3.Wyposażony w duży pistolet elektronów, powierzchnia materiału filmowego jest gładka, a warstwa filmu jest równomiernie rozmieszczona w całym procesie parowania
Przyjmuje sterownik programowalny (PLC), interfejs sterowania człowiekiem i maszyną na ekranie dotykowym (HMI), łatwe w obsłudze, ręczne / pełne sterowanie automatyczne swobodnie przełączane.
Maszyna do powlekania próżniowego optyki
Wprowadzenie:Maszyna ta jest głównie stosowana do nakładania różnych filmów, takich jak film zwiększony przez przejrzystość, film spektroskopowy, film pasowy/film odcięcia i film o wysokim odbiciu.Może to być super duży system filmowy z 100 warstwami filmu., a przezroczystość wzmocniony film z różnych kolorów, odbicia filmu z czerwonym, żółtym, niebieskim, zielonym lub tęczy kolor
Główne cechy:
1W trakcie całego procesu parowania powierzchnia filmu jest płaska, a rozkład parowania jest równomierny.
2Maszyna ta jest wyposażona w instrument kontroli grubości folii krystalicznej kwarcu, który automatycznie kontroluje prędkość formowania folii i proces metalizacji.
3Maszyna ta jest wyposażona w źródło jonów o wysokiej mocy, aby wytworzyć grubość folii o dobrej jakości.
4Całkowita struktura jest racjonalnie zaprojektowana, aby lepiej spełniać wymagania procesu.
5System pracy pod próżnią jest zabezpieczony blokadą.
6Ekran dotykowy i automatyczne sterowanie PLC służą do ustawiania parametrów głównych komponentów całej maszyny, monitorowania pracy tej maszyny w czasie rzeczywistym,i inteligentnie diagnozować wady..
Główna konfiguracja:
1Komora próżniowa to konstrukcja pionowa typu skrzynkowa z drzwiami wejściowymi; skrzynka jest całkowicie wykonana ze stali nierdzewnej; wymiary wewnętrznej jamy wynoszą Φ800mm1200mm.
2. Konfiguracja systemu próżniowego: z pompą molekularną (lub pompą dyfuzyjną), pompą korzeniową, pompami mechanicznymi.
3System głębokiego chłodzenia z szybkim cyklem krypopumpą pary wodnej
4. Work Piece Rack to zintegrowany łukowy kawałek roboczy, który może być dostosowywany zgodnie z wymaganiami klienta.
5System powłoki wyposażony jest w jeden lub dwa zestawy wysokiej mocy broni elektronicznej typu e o odchyleniu magnetycznym 270° skanującej w kierunku XY.System metalizacji pomocniczej jest wyposażony w źródło jonów Holl.
6. Pieczenie: wyświetlane cyfrowo i sterowane automatycznie z dokładnością regulacji temperatury ±1.5.
7System monitorowania grubości folii może kontrolować szybkość parowania broni elektronicznej.w którym długość fali jest kontrolowana w zakresie 200-900 nm .
8System sterowania: próżnia jest sterowana przez 10,4 cali kolorowy ekran dotykowy połączony z programowalnym sterownikiem logicznym.
Specyfikacja parametrów
|
Model |
ZDGX-700 |
ZDGX-1000 |
ZDGX-1100 |
ZDGX-1300 |
ZDGX-1350 |
|
Wielkość komory |
750 × 800 mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
Rodzaj folii powłokowej |
Film antyrefleksyjny optyczny, AR, antirefleksyjny szerokopasmowy, antirefleksyjny jednopunktowy, filtr optyczny i film dekoracyjny |
||||
|
Zestaw |
4 sztuk armatur łukowych, pojedyncza obrót płyty łukowej, 3 sztuk płyt rotacji i obrotu planety, 12 wałów rotacji i obrotu (horyzontalny) |
||||
|
Struktura komory próżniowej |
pionowa / pozioma (304 stali nierdzewnej), system próżniowy pozycjonowany |
||||
|
System próżniowy |
pompa zaworu przesuwnego (pompa obrotowa), pompa korzeniowa, pompa dyfuzyjna, pompa utrzymująca (nieobowiązkowa: pompa molekularna, pompa głębokiego chłodzenia, system głębokiego chłodzenia) |
||||
|
System ogrzewania |
podgrzewane przez rurę grzewczą, sterowanie PID, maksymalna temperatura: 350 stopni |
||||
|
System inflacji |
kontroler przepływu masy i zawór elektryczny magnetyczny |
||||
|
Wiązka elektryczna |
Wiązka elektryczna 4 okrągłe cierniki i ciernik w kształcie U, wysokiego napięcia 4KV-8KV regulowane. |
||||
|
Odporność Źródło odparowania |
2 grupy źródła odparowania oporu |
||||
|
Źródło jonowe |
moc 2KW, maksymalny prąd anodowy 6A. podwójne włókna zwiększające siłę mocowania, gęstość i wskaźnik odblaskowy warstwy foliowej (Kerr) |
||||
|
Kontroler grubości folii kryształowej |
kontroler grubości folii kryształowej SQC-310 ((Ameryka) i PLC tworzą w pełni automatyczny system pompowania i parowania wiązki E. |
||||
|
Najwyższa próżnia |
8×104czysty i rozładowany |
||||
|
Czas pompowania |
Z atmosfery do 5×103pa mniej niż 15 minut |
||||
|
Metoda kontroli |
ręczne, półautomatyczne, w pełni automatyczne / ekran dotykowy & PLC |
||||
|
Uwaga |
Może być zaprojektowany zgodnie z życzeniami klientów |
||||