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Máquina de revestimento óptico de feixe de elétrons para lentes ópticas de vidro mineral, lentes ópticas de polímero,
| Lugar de origem | Zhaoqing, Guangdong |
| Marca | Zhongda |
| Certificação | CE |
Máquina de revestimento a vácuo PVD de aço inoxidável
,Tela sensível ao toque da máquina de revestimento a vácuo PVD
,Máquina de revestimento a vácuo PVD de íons de arco múltiplo
Equipamento de revestimento óptico
Aplicações:
AR/AF
Filme altamente reflexivo
Filme espectroscópico
Outro filme óptico
Características:
Equipado com sensor oscilador de cristal de 6 pontos + controlador de espessura de filme
Fonte de íons de RF
Equipado com pistolas de elétrons duplos, cadinho multiponto e anel
O sistema de controle automático de evaporação é usado para realizar o processo de evaporação automático
O suporte de trabalho pode ser opcionalmente equipado com tipo guarda-chuva ou tipo planetário
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Especificação
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Câmara de vácuo |
SUS 304, φ1550mmx1800mm(H) |
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Tamanho do suporte de trabalho |
φ1400 mm |
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Velocidade do trabalhador |
0-60 rpm (variável) |
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Dispositivo de detecção de espessura de filme |
Sensor oscilador de cristal de 6 pontos + controlador de espessura de filme |
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Fonte de evaporação |
2 conjuntos de canhões de elétrons |
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fonte longa |
Fonte de íons RF de 23 cm |
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Sistema de exaustão |
Bomba mecânica+bomba de difusão(ou bomba molecular)+bomba de captura criogênica |
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Desempenho
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Pressão final |
Abaixo de 7,0x10-4Pai |
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Tempo de exaustão |
15 min(pressão atmosférica ~1,3x10-3Pai) |
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Temperatura do substrato |
Máximo:350°C |
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Condição de trabalho |
Tamanho do equipamento |
cerca de 5500 mm (L) x 7200 mm (P) x 3700 mm (A) |
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Fonte de energia |
Fonte de alimentação trifásica, 380 V, 50 Hz, aproximadamente 100 kVA |
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Água de resfriamento |
A vazão de água é de 11m³/h, a temperatura é de 20°C-25°C |
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Pressão do ar |
Acima de 0,6-0,7 MPa |
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Peso |
Cerca de 11.000 kg |
1.Equipado com cristal de quartzo ou instrumento de controle de espessura de filme óptico, pode realizar controle automático e preciso da espessura do filme.
2.Equipado com dispositivo de bombardeio de íons, purifica a superfície do substrato para melhorar a adesão entre a camada de filme e a superfície do substrato e melhorar a qualidade da camada de filme.
3.Equipado com um grande canhão de elétrons de cadinho, a superfície do material do filme é lisa e a camada do filme é distribuída uniformemente em todo o processo de evaporação
Adota controlador programável (PLC), interface de controle homem-máquina com tela sensível ao toque (HMI), fácil de operar, controle manual/totalmente automático comuta livremente.
Máquina de revestimento óptico a vácuo
Introdução:Esta máquina é usada principalmente para galvanizar vários filmes, como filme com transparência aprimorada, filme espectroscópico, filme passa-banda/filme de corte e filme de alta reflexão. Ele pode chapear um sistema de filme super grande com 100 camadas de filme e um filme com transparência aprimorada com várias cores, um filme reflexivo com cores vermelha, amarela, azul, verde ou arco-íris
Principais características:
1. Esta máquina está equipada com uma arma eletrônica de cadinho super grande. Em todo o processo de evaporação a superfície do filme é plana e a distribuição da evaporação é uniforme.
2. Esta máquina é equipada com um instrumento de controle de espessura de filme de cristal de quartzo para controlar automaticamente a velocidade de formação do filme e o processo de metalização.
3. Esta máquina está equipada com uma fonte de íons de alta potência para produzir uma espessura de filme de boa qualidade.
4. A estrutura geral é projetada racionalmente para melhor satisfazer os requisitos do processo. O sistema de vácuo é controlado automaticamente pelo PLC para uma operação conveniente.
5. O sistema operacional de vácuo é protegido por um intertravamento. A bomba difusora possui funções de corte de água e alarme de perda de fase.
6. Tela sensível ao toque e controle automático PLC são usados para definir parâmetros dos principais componentes de toda a máquina, para monitorar o funcionamento desta máquina em tempo real e para diagnosticar falhas de forma inteligente.
Configuração principal:
1. A câmara de vácuo é uma estrutura em caixa do tipo vertical com porta frontal; a caixa é totalmente feita de aço inoxidável; as dimensões da cavidade interna são Φ800mm1200mm.
2. Configuração do sistema de vácuo: com bomba molecular (ou bomba de difusão), bomba Roots, bombas mecânicas.
3. Sistema de resfriamento profundo com bomba criogênica de vapor de água de ciclo rápido
4. Work Piece Rack é uma peça de trabalho em formato arqueado integrado, pode ser personalizada de acordo com o cliente.
5. O sistema de revestimento é equipado com um ou dois conjuntos de pistola eletrônica de deflexão magnética de 270 ° tipo e de alta potência, varredura nas direções XY. O sistema auxiliar de metalização é equipado com uma fonte de íons Holl.
6. Cozimento: Exibido digitalmente e controlado automaticamente com uma precisão de controle de temperatura de ± 1,5.
7. O sistema de monitoramento da espessura do filme pode controlar a taxa de evaporação da pistola eletrônica. O sistema de monitoramento de espessura de filme óptico, no qual o comprimento de onda é controlado na faixa de 200-900nm.
8. Sistema de controle: O vácuo é controlado por uma tela de toque colorida de 10,4 polegadas acoplada a um controlador lógico programável. O processo de vácuo e revestimento é controlado de forma totalmente automática.
Especificação de parâmetro
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Modelo |
ZDGX-700 |
ZDGX-1000 |
ZDGX-1100 |
ZDGX-1300 |
ZDGX-1350 |
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Tamanho da Câmara |
750×800mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
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Tipo de filme de revestimento |
Filme antirreflexo óptico, AR, antirreflexo de banda larga, antirreflexo de ponto único, filtro óptico e filme decorativo |
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Calendário |
4 peças de acessórios em forma de arco, revolução de placa em forma de arco único, 3 peças de rotação e revolução planetária de placas, rotação e revolução de 12 eixos (horizontal) |
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Estrutura da Câmara de Vácuo |
vertical/horizontal (aço inoxidável 304), poste do sistema de vácuo posicionado |
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Sistema de vácuo |
bomba de válvula deslizante (bomba rotativa), bomba de raízes, bomba de difusão, bomba de manutenção (opcional: bomba molecular, bomba de frio profundo, sistema de frio profundo) |
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Sistema de aquecimento |
aquecido por tubo de aquecimento, controle PID, temperatura máxima: 350 graus |
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Sistema de inflação |
controlador de fluxo de massa e válvula magnética elétrica |
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Feixe elétrico |
Feixe elétrico 4 cadinhos redondos e um cadinho em forma de U, alta tensão 4KV-8KV ajustável. A varredura de ondas triangulares, ondas senoidais e ondas retangulares são opcionais. |
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Fonte de Evaporação de Resistência |
2 grupos de fonte de evaporação de resistência |
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Fonte de íons |
potência 2KW, corrente máxima de ânodo 6A. filamentos duplos que aumentam a força de fixação, a densidade e o índice reflexivo da camada de filme (Kerr) |
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Controlador de espessura de filme cristalino |
controlador de espessura de filme de cristal SQC-310 (América) e PLC compõem o sistema de bombeamento totalmente automático e evaporação de feixe eletrônico. |
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Vácuo final |
8×104palimpo e descarregado |
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Tempo de bomba |
Da atmosfera a 5×103pa menos de 15 minutos |
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Método de controle |
manual, semiautomático, totalmente automático/tela sensível ao toque e PLC |
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Observação |
Pode ser projetado de acordo com o pedido dos clientes |
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