Guangdong Zhongda Vacuum Equipment Co., Ltd.
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Máquina de revestimento óptico de feixe de elétrons para lentes ópticas de vidro mineral, lentes ópticas de polímero,

Máquina de revestimento óptico de feixe de elétrons para lentes ópticas de vidro mineral, lentes ópticas de polímero,
Local de Origem:Zhaoqing, Guangdong
Marca:Zhongda
Certificação:CE
Quantidade mínima de pedido:1
Prazo de entrega:20
Detalhes do produto
Destacar:

Máquina de revestimento a vácuo PVD de aço inoxidável

,

Tela sensível ao toque da máquina de revestimento a vácuo PVD

,

Máquina de revestimento a vácuo PVD de íons de arco múltiplo

Coating Warranty: 1 ano
Substrate Material: Vidro, metal, cerâmica
Coating Type: óptico
Coating Deposition Rate: 1-5 Å/S.
Coating Hardness: ≥800HV
Coating Chamber Size: Personalizável
Coating Power Supply: fonte de alimentação de alta tensão
Coating Adhesion: ≥100N
Coating Uniformity: ±5%
Coating Material: Arma de elétron
Coating Control System: Tela sensível ao toque do CLP
Coating Thickness: 0,1-10 mícrons
Coating Method: Evaporação do feixe de elétrons
Coating Temperature: ≤200℃
Coating Transparency: ≥95%
Coating Application: Lentes ópticas, espelhos, filtros
Coating Features: Alta eficiência, baixo custo e operação fácil
Coating Substrate: Vidro, metal, cerâmica, etc.
Warranty: 1 ano
Vacuum Chamber Size: Personalizável
Power Supply: AC 220V, 50/60Hz
Application: Revestimento de armas de elétrons
Coating Size: Personalizável
Type: Máquina de revestimento
Coating Material: Feixe de elétrons
Application: revestimento por feixe de elétrons
Descrição do produto
Especificações e características pormenorizadas

Equipamento de revestimento óptico

 

Aplicações:

AR/AF

Filme altamente reflexivo

Filme espectroscópico

Outro filme óptico

 

Características:

Equipado com sensor oscilador de cristal de 6 pontos + controlador de espessura de filme

Fonte de íons de RF

Equipado com pistolas de elétrons duplos, cadinho multiponto e anel

O sistema de controle automático de evaporação é usado para realizar o processo de evaporação automático

O suporte de trabalho pode ser opcionalmente equipado com tipo guarda-chuva ou tipo planetário


Especificação

 

 

Câmara de vácuo

SUS 304, φ1550mmx1800mm(H)

 

Tamanho do suporte de trabalho

φ1400 mm

 

Velocidade do trabalhador

0-60 rpm (variável)

 

Dispositivo de detecção de espessura de filme

Sensor oscilador de cristal de 6 pontos + controlador de espessura de filme

 

Fonte de evaporação

2 conjuntos de canhões de elétrons

 

fonte longa

Fonte de íons RF de 23 cm

 

Sistema de exaustão

Bomba mecânica+bomba de difusão(ou bomba molecular)+bomba de captura criogênica

Desempenho

 

Pressão final

Abaixo de 7,0x10-4Pai

 

Tempo de exaustão

15 min(pressão atmosférica ~1,3x10-3Pai)

 

Temperatura do substrato

Máximo:350°C

Condição de trabalho

Tamanho do equipamento

cerca de 5500 mm (L) x 7200 mm (P) x 3700 mm (A)

 

Fonte de energia

Fonte de alimentação trifásica, 380 V, 50 Hz, aproximadamente 100 kVA

 

Água de resfriamento

A vazão de água é de 11m³/h, a temperatura é de 20°C-25°C

 

Pressão do ar

Acima de 0,6-0,7 MPa

 

Peso

Cerca de 11.000 kg



1.Equipado com cristal de quartzo ou instrumento de controle de espessura de filme óptico, pode realizar controle automático e preciso da espessura do filme.

2.Equipado com dispositivo de bombardeio de íons, purifica a superfície do substrato para melhorar a adesão entre a camada de filme e a superfície do substrato e melhorar a qualidade da camada de filme.

3.Equipado com um grande canhão de elétrons de cadinho, a superfície do material do filme é lisa e a camada do filme é distribuída uniformemente em todo o processo de evaporação

Adota controlador programável (PLC), interface de controle homem-máquina com tela sensível ao toque (HMI), fácil de operar, controle manual/totalmente automático comuta livremente.


Máquina de revestimento óptico a vácuo 

Introdução:Esta máquina é usada principalmente para galvanizar vários filmes, como filme com transparência aprimorada, filme espectroscópico, filme passa-banda/filme de corte e filme de alta reflexão. Ele pode chapear um sistema de filme super grande com 100 camadas de filme e um filme com transparência aprimorada com várias cores, um filme reflexivo com cores vermelha, amarela, azul, verde ou arco-íris

 

Principais características:

1. Esta máquina está equipada com uma arma eletrônica de cadinho super grande. Em todo o processo de evaporação a superfície do filme é plana e a distribuição da evaporação é uniforme.

2. Esta máquina é equipada com um instrumento de controle de espessura de filme de cristal de quartzo para controlar automaticamente a velocidade de formação do filme e o processo de metalização.

3. Esta máquina está equipada com uma fonte de íons de alta potência para produzir uma espessura de filme de boa qualidade.

4. A estrutura geral é projetada racionalmente para melhor satisfazer os requisitos do processo. O sistema de vácuo é controlado automaticamente pelo PLC para uma operação conveniente.

5. O sistema operacional de vácuo é protegido por um intertravamento. A bomba difusora possui funções de corte de água e alarme de perda de fase.

6. Tela sensível ao toque e controle automático PLC são usados ​​para definir parâmetros dos principais componentes de toda a máquina, para monitorar o funcionamento desta máquina em tempo real e para diagnosticar falhas de forma inteligente.

 

Configuração principal:

1. A câmara de vácuo é uma estrutura em caixa do tipo vertical com porta frontal; a caixa é totalmente feita de aço inoxidável; as dimensões da cavidade interna são Φ800mm1200mm.

2. Configuração do sistema de vácuo: com bomba molecular (ou bomba de difusão), bomba Roots, bombas mecânicas.

3. Sistema de resfriamento profundo com bomba criogênica de vapor de água de ciclo rápido

4. Work Piece Rack é uma peça de trabalho em formato arqueado integrado, pode ser personalizada de acordo com o cliente.

5. O sistema de revestimento é equipado com um ou dois conjuntos de pistola eletrônica de deflexão magnética de 270 ° tipo e de alta potência, varredura nas direções XY. O sistema auxiliar de metalização é equipado com uma fonte de íons Holl.

6. Cozimento: Exibido digitalmente e controlado automaticamente com uma precisão de controle de temperatura de ± 1,5.

7. O sistema de monitoramento da espessura do filme pode controlar a taxa de evaporação da pistola eletrônica. O sistema de monitoramento de espessura de filme óptico, no qual o comprimento de onda é controlado na faixa de 200-900nm.

8. Sistema de controle: O vácuo é controlado por uma tela de toque colorida de 10,4 polegadas acoplada a um controlador lógico programável. O processo de vácuo e revestimento é controlado de forma totalmente automática.


Especificação de parâmetro

Modelo

ZDGX-700

ZDGX-1000

ZDGX-1100

ZDGX-1300

ZDGX-1350

Tamanho da Câmara

750×800mm

1000×1100

1100×1300

1300×1350

1350×1500

Tipo de filme de revestimento

Filme antirreflexo óptico, AR, antirreflexo de banda larga, antirreflexo de ponto único, filtro óptico e filme decorativo

Calendário

4 peças de acessórios em forma de arco, revolução de placa em forma de arco único, 3 peças de rotação e revolução planetária de placas, rotação e revolução de 12 eixos (horizontal)

Estrutura da Câmara de Vácuo

vertical/horizontal (aço inoxidável 304), poste do sistema de vácuo posicionado

Sistema de vácuo

bomba de válvula deslizante (bomba rotativa), bomba de raízes, bomba de difusão, bomba de manutenção (opcional: bomba molecular, bomba de frio profundo, sistema de frio profundo)

Sistema de aquecimento

aquecido por tubo de aquecimento, controle PID, temperatura máxima: 350 graus

Sistema de inflação

controlador de fluxo de massa e válvula magnética elétrica

Feixe elétrico

Feixe elétrico 4 cadinhos redondos e um cadinho em forma de U, alta tensão 4KV-8KV ajustável. A varredura de ondas triangulares, ondas senoidais e ondas retangulares são opcionais.

Fonte de Evaporação de Resistência

2 grupos de fonte de evaporação de resistência

Fonte de íons

potência 2KW, corrente máxima de ânodo 6A. filamentos duplos que aumentam a força de fixação, a densidade e o índice reflexivo da camada de filme (Kerr)

Controlador de espessura de filme cristalino

controlador de espessura de filme de cristal SQC-310 (América) e PLC compõem o sistema de bombeamento totalmente automático e evaporação de feixe eletrônico.

Vácuo final

8×104palimpo e descarregado

Tempo de bomba

Da atmosfera a 5×103pa menos de 15 minutos

Método de controle

manual, semiautomático, totalmente automático/tela sensível ao toque e PLC

Observação

Pode ser projetado de acordo com o pedido dos clientes


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