Электроносное оптическое покрытие для оптических линз из минерального стекла, полимерных оптических линз
Машина для вакуумного покрытия ПВД из нержавеющей стали
,Вакуумная установка PVD-напыления
,сенсорный экран
Оборудование для оптического покрытия
Приложения:
АР/АФ
Высокоотражающая пленка
Спектроскопическая пленка
Другая оптическая пленка
Функции:
Оснащен 6-точечным кварцевым датчиком + контроллером толщины пленки.
Радиочастотный источник ионов
Оснащен двойными электронными пушками, многоточечным и кольцевым тиглем.
Автоматическая система контроля испарения используется для реализации автоматического процесса испарения.
Опционально может быть оснащен держателем зонтика или планетарного типа.
|
Спецификация
|
Вакуумная камера |
SUS 304, φ1550x1800 мм (В) |
|
|
Размер рабочего держателя |
φ1400 мм |
|
|
Скорость рабочего держателя |
0-60 об/мин (переменная) |
|
|
Устройство определения толщины пленки |
6-точечный кварцевый генератор + контроллер толщины пленки |
|
|
Источник испарения |
2 комплекта электронных пушек |
|
|
источник lon |
Радиочастотный источник ионов длиной 23 см |
|
|
Выхлопная система |
Механический насос+диффузионный насос(или молекулярный насос)+криогенный насос улавливания |
|
Производительность
|
Предельное давление |
Ниже 7,0x10-4Па |
|
|
Время истощения |
15 мин(атмосферное давление~1,3х10- 3Па) |
|
|
Температура подложки |
Максимум: 350°С |
|
Рабочее состояние |
Размер оборудования |
около 5500 мм (Ш) x 7200 мм (Д) x 3700 мм (В) |
|
|
Источник питания |
3-фазный источник питания, 380 В, 50 Гц, около 100 кВА. |
|
|
Охлаждающая вода |
Расход воды 11 м³/ч, температура 20°C-25°C. |
|
|
Давление воздуха |
Выше 0,6-0,7 МПа |
|
|
Масса |
Около 11000 кг |
1.Оснащен кварцевым кристаллом или оптическим инструментом контроля толщины пленки, может осуществлять автоматический и точный контроль толщины пленки.
2.Оснащенное устройством ионной бомбардировки очищает поверхность подложки, чтобы улучшить адгезию между слоем пленки и поверхностью подложки и улучшить качество слоя пленки.
3.Оснащен большой тигельной электронной пушкой, поверхность пленочного материала гладкая, а слой пленки равномерно распределяется в течение всего процесса испарения.
Принимает программируемый контроллер (ПЛК), человеко-машинный интерфейс управления с сенсорным экраном (HMI), прост в эксплуатации, свободное переключение ручного/полностью автоматического управления.
Вакуумная лакировочная машина для оптики
Введение:Эта машина в основном используется для покрытия различных пленок, таких как пленка с повышенной прозрачностью, спектроскопическая пленка, полосовая пленка/пленка с отсекателем и пленка с высоким коэффициентом отражения. Он может покрывать сверхбольшую пленочную систему из 100 слоев пленки, а также пленку с повышенной прозрачностью различных цветов, отражающую пленку красного, желтого, синего, зеленого или радужного цвета.
Основные характеристики:
1. Эта машина оснащена очень большой тигельной электронной пушкой. В течение всего процесса испарения поверхность пленки плоская и распределение испарения равномерное.
2. Данная машина оснащена устройством контроля толщины кварцевой пленки, позволяющим автоматически контролировать скорость формирования пленки и процесс металлизации.
3. Эта машина оснащена мощным источником ионов для получения пленки хорошего качества.
4. Общая структура рационально спроектирована для лучшего удовлетворения требований процесса. Вакуумная система автоматически контролируется ПЛК для удобства работы.
5. Вакуумная система управления защищена блокировкой. Диффузионный насос имеет функции отключения воды и сигнализации потери фазы.
6. Сенсорный экран и автоматическое управление ПЛК используются для установки параметров основных компонентов всей машины, для мониторинга работы этой машины в режиме реального времени и для интеллектуальной диагностики неисправностей.
Основная конфигурация:
1. Вакуумная камера представляет собой коробчатую конструкцию вертикального типа с передней дверью; коробка полностью изготовлена из нержавеющей стали; размеры внутренней полости Φ800мм1200мм.
2. Конфигурация вакуумной системы: с молекулярным насосом (или диффузионным насосом), насосом Рутса, механическими насосами.
3. Система глубокого охлаждения с крионасосом быстрого цикла на водяном паре.
4. Стойка для деталей представляет собой интегрированную заготовку арочной формы, которая может быть изготовлена по индивидуальному заказу клиента.
5. Система нанесения покрытия оснащена одним или двумя комплектами мощных электронных пистолетов электронного типа с магнитным отклонением 270°, сканирующих в направлениях XY. Вспомогательная система металлизации оснащена источником ионов Холла.
6. Выпечка: цифровое отображение и автоматическое управление с точностью контроля температуры ± 1,5.
7. Система контроля толщины пленки может контролировать скорость испарения электронного пистолета. Система контроля толщины оптической пленки, в которой длина волны контролируется в диапазоне 200-900 нм.
8. Система управления: вакуум контролируется цветным сенсорным экраном с диагональю 10,4 дюйма в сочетании с программируемым логическим контроллером. Процесс вакуумирования и нанесения покрытия контролируется полностью автоматически.
Спецификация параметров
|
Модель |
ЗДГХ-700 |
ЗДГХ-1000 |
ЗДГХ-1100 |
ЗДГХ-1300 |
ЗДГХ-1350 |
|
Размер камеры |
750х800мм |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
Тип пленки покрытия |
Оптическая просветляющая пленка, AR, широкополосная просветляющая пленка, одноточечная просветляющая пленка, оптический фильтр и декоративная пленка |
||||
|
приспособление |
4 дугообразных приспособления, вращение одной дугообразной пластины, вращение и вращение планеты 3 штуки, вращение и вращение 12 валов (горизонтально) |
||||
|
Структура вакуумной камеры |
вертикальное/горизонтальное (нержавеющая сталь 304), расположение стойки вакуумной системы |
||||
|
Вакуумная система |
золотниковый насос (роторный насос), насос Рутса, диффузионный насос, поддерживающий насос (опционально: молекулярный насос, насос глубокого охлаждения, система глубокого охлаждения) |
||||
|
Система отопления |
нагревается нагревательной трубкой, ПИД-регулирование, максимальная температура: 350 градусов |
||||
|
Инфляционная система |
регулятор массового расхода и электрический магнитный клапан |
||||
|
Электрический луч |
Электрический луч, 4 тигля круглой формы и тигель U-образной формы, регулируемое высокое напряжение 4-8 кВ. Треугольное, синусоидальное и прямоугольное сканирование не является обязательным. |
||||
|
Источник испарения сопротивления |
2 группы резистивного источника испарения |
||||
|
Источник ионов |
мощность 2кВт, максимальный анодный ток 6А. двойные нити, которые увеличивают силу прикрепления, плотность и коэффициент отражения слоя пленки (Керр) |
||||
|
Контроллер толщины кристаллической пленки |
Контроллер толщины кристаллической пленки SQC-310 (Америка) и ПЛК составляют полностью автоматическую систему откачки и электронно-лучевого испарения. |
||||
|
Абсолютный вакуум |
8×104paчистый и выгруженный |
||||
|
Время работы насоса |
От атмосферы до 5×103Па менее 15 минут. |
||||
|
Метод управления |
ручной, полуавтоматический, полностью автоматический/сенсорный экран и ПЛК |
||||
|
Примечание |
Может быть разработан по запросу клиентов |
||||
Машина для низкозатратного вакуумного оптического покрытия с полностью автоматическим управлением и технологией покрытия E-Beam
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
Оптическая электроновая покрывающая машина с точным мониторингом, индивидуальным размером камеры и высокочистыми материалами покрытия
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
Компактная высокоточная электронная машина для испарения лучей для многофункционального оптического покрытия
Small Electron Beam Evaporation Coating Machines Core Technical Specifications Parameter Category Details Substrate Capacity Max size: Up to 6-inch (150mm); Compatible with 2"/4"/6" wafers/optical components; Min size: 10×10mm Vacuum Performance Ultimate vacuum: ≤ 1×10⁻⁶ Torr (1.3×10⁻⁴ Pa); Pumping ...
Машины для покрытия оптических линз электронными лучами Вакуумные покрытия для покрытия металлических линз
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
