|
Mineral Cam Optik Lens, Polimer Optik Lens için Elektron Işını Optik Kaplama Makinesi,
| Menşe yeri | Zhaoqing, Guangdong |
| Marka adı | Zhongda |
| Sertifika | CE |
Paslanmaz çelik PVD vakum kaplama makinesi
,PVD vakum kaplama makinesi dokunmatik ekran
,Multi Arc Ion PVD Vakum Kaplama Makinesi
Optik Kaplama Ekipmanları
Uygulamalar:
AR/AF
Yüksek yansıtıcı film
Spektroskopik film
Diğer optik film
Özellikler:
6 noktalı kristal osilatör sensörü + film kalınlığı kontrolörü ile donatılmıştır
RF iyon kaynağı
Çift elektron tabancaları, çok noktalı ve halka potası ile donatılmıştır
Otomatik buharlaşma işlemini gerçekleştirmek için otomatik buharlaşma kontrol sistemi kullanılır
İş tutucusu isteğe bağlı olarak şemsiye tipi veya planet tipi ile donatılabilir
|
Şartname
|
Vakum odası |
SUS 304, φ1550mmx1800mm(Y) |
|
|
İşçi boyutu |
φ1400mm |
|
|
İşçi hızı |
0-60rpm(değişken) |
|
|
Film kalınlığı tespit cihazı |
6 noktalı kristal osilatör sensörü + film kalınlığı kontrolörü |
|
|
Buharlaşma kaynağı |
2 takım elektron tabancası |
|
|
İyon kaynağı |
23cm RF iyon kaynağı |
|
|
Egzoz sistemi |
Mekanik pompa + difüzyon pompası (veya moleküler pompa) + kriyojenik yakalama pompası |
|
Performans
|
Nihai baskı |
7,0x10'un altında-4Pa |
|
|
Egzoz süresi |
15 dk (atmosfer basıncı~1,3x10- 3Pa) |
|
|
Yüzey sıcaklığı |
Maksimum:350°C |
|
Çalışma koşulu |
Ekipman boyutu |
yaklaşık 5500mm(G)x7200mm(D)x3700mm(Y) |
|
|
Güç kaynağı |
3 fazlı güç kaynağı, 380v,50Hz, yaklaşık 100kVA |
|
|
Soğutma suyu |
Su debisi 11m³/h, sıcaklığı 20°C-25°C |
|
|
Hava basıncı |
0.6-0.7MPa'nın üstünde |
|
|
Ağırlık |
Yaklaşık 11000kg |
1.Kuvars kristali veya optik film kalınlığı kontrol cihazı ile donatılmış olup, otomatik ve hassas film kalınlığı kontrolünü gerçekleştirebilir.
2.İyon bombardıman cihazı ile donatılmış olup, film tabakası ile alt tabaka yüzeyi arasında daha iyi yapışma sağlamak ve film tabakasının kalitesini artırmak için alt tabaka yüzeyini arındırır.
3.Büyük pota elektron tabancasıyla donatılmış film malzemesi yüzeyi pürüzsüzdür ve film tabakası tüm buharlaştırma işleminde eşit olarak dağıtılır.
Programlanabilir kontrolör (PLC), dokunmatik ekran (HMI) insan-makine kontrol arayüzü, kullanımı kolay, manuel/tam otomatik kontrol serbestçe geçiş yapar.
Optik Vakum Kaplama Makinası
Giriiş:Bu makine esas olarak şeffaflığı arttırılmış film, spektroskopik film, bant geçişli film/kesme filmi ve yüksek yansımalı film gibi çeşitli filmlerin kaplanması için kullanılır. 100 kat filmden oluşan süper geniş bir film sistemini ve çeşitli renklerde şeffaflığı arttırılmış bir filmi, kırmızı, sarı, mavi, yeşil veya gökkuşağı renginde bir yansıma filmini kaplayabilir
Ana Özellikler:
1. Bu makine süper büyük bir pota elektronik tabancasıyla donatılmıştır. Buharlaşma sürecinin tamamında film yüzeyi düzdür ve buharlaşma dağılımı eşittir.
2. Bu makine, film oluşturma hızını ve metalizasyon sürecini otomatik olarak kontrol etmek için bir kuvars kristal film kalınlığı kontrol cihazı ile donatılmıştır.
3. Bu makine, iyi kalitede bir film kalınlığı üretmek için yüksek güçlü bir iyon kaynağı ile donatılmıştır.
4. Genel yapı, süreç gereksinimlerini daha iyi karşılamak için rasyonel olarak tasarlanmıştır. Vakum sistemi rahat çalışma için PLC tarafından otomatik olarak kontrol edilir.
5. Vakum işletim sistemi bir kilitleme ile korunmaktadır. Difüzyon pompasında su kesme ve faz kaybı alarm fonksiyonları bulunmaktadır.
6. Dokunmatik ekran ve PLC otomatik kontrolü, tüm makinenin ana bileşenlerinin parametrelerini ayarlamak, bu makinenin çalışmasını gerçek zamanlı olarak izlemek ve arızaları akıllıca teşhis etmek için kullanılır.
Ana Yapılandırma:
1. Vakum odası, ön kapısı olan dikey tipte kutulu bir yapıdır; kutu tamamen paslanmaz çelikten yapılmıştır; iç boşluğun boyutları Φ800mm1200mm'dir.
2. Vakum Sistemi Konfigürasyonu: moleküler pompa (veya difüzyon pompası), Roots pompası, mekanik pompalar ile.
3. Hızlı Döngülü Su Buharı Kriyopump'lı Derin Soğutma Sistemi
4. İş Parçası Rafı entegre kemerli bir iş parçasıdır, müşteriye göre özelleştirilebilir.
5. Kaplama sistemi, XY yönlerinde bir veya iki set yüksek güçlü e-tipi 270° manyetik saptırmalı elektronik tabanca taramasıyla donatılmıştır. Yardımcı metalizasyon sistemi bir Holl iyon kaynağı ile donatılmıştır.
6. Pişirme: Dijital olarak görüntülenir ve ±1,5 sıcaklık kontrol hassasiyetiyle otomatik olarak kontrol edilir.
7. Film kalınlığı izleme sistemi, elektronik tabancanın buharlaşma oranını kontrol edebilir. Dalga boyunun 200-900nm aralığında kontrol edildiği optik film kalınlığı izleme sistemi.
8. Kontrol Sistemi: Vakum, programlanabilir bir mantık denetleyicisine bağlı 10,4 inç renkli dokunmatik ekranla kontrol edilir. Vakum ve kaplama işlemi tam otomatik olarak kontrol edilir.
Parametre Belirtimi
|
Modeli |
ZDGX-700 |
ZDGX-1000 |
ZDGX-1100 |
ZDGX-1300 |
ZDGX-1350 |
|
Hazne Boyutu |
750×800mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
Kaplama Film Tipi |
Optik yansıma önleyici film, AR, geniş bant yansıma önleyici, tek nokta yansıma önleyici, optik filtre ve dekoratif film |
||||
|
Fikstür |
4 adet yay şekilli fikstür, tek yay şekilli plaka devri, 3 adet plaka planet dönüşü ve devri, 12 şaft dönüşü ve devri (yatay) |
||||
|
Vakum Odası Yapısı |
dikey / yatay (304 paslanmaz çelik), vakum sistemi direk konumlu |
||||
|
Vakum Sistemi |
sürgülü valf pompası (döner pompa), kök pompası, difüzyon pompası, bakım pompası (isteğe bağlı: moleküler pompa, derin soğuk pompa, derin soğuk sistem) |
||||
|
Isıtma Sistemi |
ısıtma tüpü ile ısıtılır, PID kontrolü, maksimum sıcaklık: 350 derece |
||||
|
Enflasyon Sistemi |
kütle akış kontrolörü ve elektrikli manyetik valf |
||||
|
Elektrik ışını |
Elektrik ışını 4 yuvarlak şekilli pota ve U şeklinde bir pota, yüksek gerilim 4KV-8KV ayarlanabilir. Üçgen dalga, sinüs dalgası ve dikdörtgen dalga taraması isteğe bağlıdır. |
||||
|
Direnç Buharlaşma Kaynağı |
2 grup dirençli buharlaşma kaynağı |
||||
|
İyon Kaynağı |
güç 2KW, maksimum anot akımı 6A. film tabakasının bağlanma kuvvetini, yoğunluğunu ve yansıtma indeksini artıran çift filamentler (Kerr) |
||||
|
Kristal Film Kalınlığı Kontrol Cihazı |
kristal film kalınlığı kontrolörü SQC-310(Amerika) ve PLC, tam otomatik pompalama ve E-ışını buharlaştırma sistemini oluşturur. |
||||
|
Üstün Vakum |
8×104paclean ve yüksüz |
||||
|
Pompa Süresi |
Atmosferden 5x103pa'ya 15 dakikadan kısa sürede |
||||
|
Kontrol Yöntemi |
manuel, yarı otomatik, tam otomatik / dokunmatik ekran ve PLC |
||||
|
Açıklama |
Müşterilerin isteğine göre tasarlanabilir |
||||
Herhangi bir zamanda bizimle iletişime geçin
