เครื่องเคลือบลำแสงอิเล็กตรอนสำหรับเลนส์แก้วแร่, เลนส์โพลีเมอร์,

อุปกรณ์เคลือบแสง

การใช้งาน:

เออาร์/เอเอฟ

ฟิล์มสะท้อนแสงสูง

ฟิล์มสเปกโทรสโกปี

ฟิล์มกรองแสงอื่นๆ

คุณสมบัติ:

ติดตั้งเซ็นเซอร์ออสซิลเลเตอร์คริสตัล 6 จุด+ตัวควบคุมความหนาของฟิล์ม

แหล่งกำเนิดไอออน RF

ติดตั้งปืนอิเล็กตรอนคู่ เบ้าหลอมแบบหลายจุดและวงแหวน

ระบบควบคุมการระเหยอัตโนมัติใช้เพื่อให้เกิดกระบวนการระเหยอัตโนมัติ

ผู้ปฏิบัติงานสามารถเลือกติดตั้งแบบร่มหรือแบบดาวเคราะห์ก็ได้

1.ติดตั้งคริสตัลควอตซ์หรือเครื่องมือควบคุมความหนาของฟิล์มออปติคอล สามารถควบคุมความหนาของฟิล์มได้อย่างอัตโนมัติและแม่นยำ

2.เมื่อติดตั้งอุปกรณ์ยิงไอออนจะทำให้พื้นผิวของซับสเตรตบริสุทธิ์เพื่อให้การยึดเกาะที่ดีขึ้นระหว่างชั้นฟิล์มกับพื้นผิวของซับสเตรต และปรับปรุงคุณภาพของชั้นฟิล์ม

3.ติดตั้งปืนอิเล็กตรอนเบ้าหลอมขนาดใหญ่ พื้นผิววัสดุฟิล์มเรียบและชั้นฟิล์มมีการกระจายอย่างสม่ำเสมอในกระบวนการระเหยทั้งหมด

ใช้ตัวควบคุมแบบตั้งโปรแกรมได้ (PLC) อินเทอร์เฟซการควบคุมเครื่องจักรแบบสัมผัสหน้าจอ (HMI) ใช้งานง่าย สลับการควบคุมอัตโนมัติแบบแมนนวล/เต็มรูปแบบได้อย่างอิสระ

เครื่องเคลือบสูญญากาศเลนส์ 

การแนะนำ:เครื่องนี้ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการเคลือบฟิล์มต่างๆ เช่น ฟิล์มเสริมความโปร่งใส, ฟิล์มสเปกโทรสโกปี, ฟิล์มผ่านแถบ/ฟิล์มตัด และฟิล์มสะท้อนแสงสูง สามารถเพลทระบบฟิล์มขนาดใหญ่พิเศษด้วยฟิล์ม 100 ชั้น และฟิล์มเพิ่มความโปร่งใสด้วยสีต่างๆ ฟิล์มสะท้อนแสง ที่มีสีแดง เหลือง น้ำเงิน เขียว หรือสีรุ้ง

คุณสมบัติหลัก:

1. เครื่องนี้ติดตั้งปืนอิเล็กทรอนิกส์แบบเบ้าหลอมขนาดใหญ่พิเศษ ในกระบวนการระเหยทั้งหมด พื้นผิวฟิล์มจะเรียบและการกระจายตัวของการระเหยจะสม่ำเสมอ

2. เครื่องนี้ติดตั้งเครื่องมือควบคุมความหนาของฟิล์มคริสตัลควอตซ์เพื่อควบคุมความเร็วการขึ้นรูปฟิล์มและกระบวนการเคลือบโลหะโดยอัตโนมัติ

3. เครื่องนี้มีแหล่งกำเนิดไอออนพลังงานสูงเพื่อสร้างความหนาของฟิล์มให้มีคุณภาพดี

4. โครงสร้างโดยรวมได้รับการออกแบบอย่างสมเหตุสมผลเพื่อตอบสนองความต้องการของกระบวนการได้ดียิ่งขึ้น ระบบสูญญากาศถูกควบคุมโดย PLC โดยอัตโนมัติเพื่อการทำงานที่สะดวก

5. ระบบปฏิบัติการสุญญากาศได้รับการป้องกันด้วยลูกโซ่ ปั๊มกระจายมีฟังก์ชันตัดน้ำและแจ้งเตือนการสูญเสียเฟส

6. หน้าจอสัมผัสและการควบคุมอัตโนมัติ PLC ใช้เพื่อตั้งค่าพารามิเตอร์ของส่วนประกอบหลักของเครื่องทั้งหมด เพื่อตรวจสอบการทำงานของเครื่องนี้แบบเรียลไทม์ และเพื่อวินิจฉัยข้อผิดพลาดอย่างชาญฉลาด

การกำหนดค่าหลัก:

1. ห้องสุญญากาศเป็นโครงสร้างชนิดบรรจุกล่องแนวตั้งพร้อมประตูหน้า กล่องทำจากสแตนเลสทั้งหมด ขนาดของช่องภายในคือ Φ800mm1200mm

2. การกำหนดค่าระบบสุญญากาศ: ด้วยปั๊มโมเลกุล (หรือปั๊มกระจาย), ปั๊มราก, ปั๊มเชิงกล

3. ระบบทำความเย็นแบบล้ำลึกด้วย Cryopump ไอน้ำแบบรอบเร็ว

4. Work Piece Rack เป็นชิ้นงานที่มีรูปทรงโค้งมน สามารถปรับแต่งตามความต้องการของลูกค้าได้

5. ระบบการเคลือบมีการติดตั้งปืนอิเล็กทรอนิกส์การโก่งแม่เหล็ก e-type 270° กำลังสูงหนึ่งหรือสองชุดในทิศทาง XY ระบบการชุบโลหะเสริมมีแหล่งกำเนิดไอออน Holl

6. การอบ: แสดงแบบดิจิทัลและควบคุมอัตโนมัติด้วยความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิที่ ±1.5

7. ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มสามารถควบคุมอัตราการระเหยของปืนอิเล็กทรอนิกส์ได้ ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มแสง ซึ่งควบคุมความยาวคลื่นภายในช่วง 200-900 นาโนเมตร

8. ระบบควบคุม: สูญญากาศถูกควบคุมโดยหน้าจอสัมผัสสีขนาด 10.4 นิ้วควบคู่กับตัวควบคุมตรรกะที่ตั้งโปรแกรมได้ กระบวนการสุญญากาศและการเคลือบถูกควบคุมโดยอัตโนมัติอย่างสมบูรณ์

ข้อกำหนดพารามิเตอร์