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미네랄 유리 광학 렌즈, 폴리머 광학 렌즈용 전자빔 광학 코팅기,
| 원래 장소 | 자오칭, 광둥 |
| 브랜드 이름 | Zhongda |
| 인증 | CE |
스테인리스 스틸 PVD 진공 코팅 기계
,PVD 진공 코팅기 터치 스크린
,멀티 아크 이온 PVD 진공 코팅기
광학 코팅 장비
신청:
AR/AF
고반사 필름
분광 필름
기타 광학 필름
특징:
6점 수정진동자 센서+막두께 컨트롤러 탑재
RF 이온 소스
이중 전자총, 다중 지점 및 링 도가니 장착
자동 증발 제어 시스템을 사용하여 자동 증발 공정을 실현합니다.
워크홀더에는 우산형 또는 유성형을 선택적으로 장착할 수 있습니다.
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사양
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진공챔버 |
SUS 304, Φ1550mmx1800mm(H) |
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작업자 규모 |
Φ1400mm |
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작업자 속도 |
0-60rpm(가변) |
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막두께 검출장치 |
6점 수정진동자 센서 + 막두께 조절기 |
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증발원 |
전자총 2세트 |
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이온 소스 |
23cm RF 이온 소스 |
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배기 시스템 |
기계식 펌프+확산 펌프(또는 분자 펌프)+극저온 포집 펌프 |
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성능
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궁극의 압력 |
7.0x10 이하-4아빠 |
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배기 시간 |
15분(대기압~1.3x10- 3아빠) |
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기판 온도 |
최대:350°C |
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근무 조건 |
장비 규모 |
약 5500mm(W)x7200mm(D)x3700mm(H) |
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전원 |
3상 전원 공급 장치, 380v,50Hz,약 100kVA |
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냉각수 |
물 유속은 11m³/h, 온도는 20°C-25°C입니다. |
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공기압 |
0.6-0.7MPa 이상 |
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무게 |
약 11000kg |
1.석영 크리스탈 또는 광학 필름 두께 제어 장비를 갖추고 있어 자동으로 정밀한 필름 두께 제어를 실현할 수 있습니다.
2.이온 충격 장치를 장착하여 기판 표면을 정화하여 필름층과 기판 표면 사이의 접착력을 향상시키고 필름층의 품질을 향상시킵니다.
3.대형 도가니 전자총을 장착하여 필름 재료 표면이 매끄럽고 전체 증발 과정에서 필름 층이 고르게 분포됩니다.
프로그래머블 컨트롤러(PLC), 터치스크린(HMI) 인간-기계 제어 인터페이스를 채택하고 작동이 쉽고 수동/전자동 제어가 자유롭게 전환됩니다.
광학 진공 코팅기
소개:이 기계는 주로 투명도 강화 필름, 분광 필름, 밴드 패스 필름/컷오프 필름, 고반사 필름 등 다양한 필름을 도금하는 데 사용됩니다. 100레이의 필름으로 초대형 필름 시스템을 도금할 수 있으며, 다양한 색상의 투명도 강화 필름, 빨간색, 노란색, 파란색, 녹색 또는 무지개색의 반사 필름을 도금할 수 있습니다.
주요 특징:
1. 이 기계에는 초대형 도가니 전자총이 장착되어 있습니다. 전체 증발 공정에서 필름 표면은 평평하고 증발 분포가 균일합니다.
2. 이 기계에는 필름 형성 속도와 금속화 공정을 자동으로 제어하는 석영 크리스탈 필름 두께 제어 장비가 장착되어 있습니다.
3. 이 기계에는 고출력 이온 소스가 장착되어 있어 좋은 품질의 필름 두께를 생성합니다.
4. 전체 구조는 프로세스 요구 사항을 더 잘 충족하도록 합리적으로 설계되었습니다. 진공 시스템은 편리한 작동을 위해 PLC에 의해 자동으로 제어됩니다.
5. 진공 작동 시스템은 인터록으로 보호됩니다. 확산 펌프에는 물 차단 및 위상 손실 경보 기능이 있습니다.
6. 터치 스크린과 PLC 자동 제어를 사용하여 전체 기계의 주요 구성 요소에 대한 매개변수를 설정하고, 이 기계의 작동을 실시간으로 모니터링하고, 결함을 지능적으로 진단합니다.
주요 구성:
1. 진공 챔버는 전면 도어가 있는 수직형 박스형 구조입니다. 상자는 완전히 스테인레스 스틸로 만들어졌습니다. 내부 공동의 치수는 Φ800mm1200mm입니다.
2. 진공 시스템 구성: 분자 펌프(또는 확산 펌프), 루츠 펌프, 기계식 펌프 포함.
3. 빠른 사이클 수증기 크라이오펌프를 갖춘 심냉각 시스템
4. 작업물 랙은 통합된 아치형 작업물이며 고객에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다.
5. 코팅 시스템에는 XY 방향으로 스캐닝하는 고출력 e-타입 270°자기 편향 전자총 1세트 또는 2세트가 장착되어 있습니다. 보조 금속화 시스템에는 Holl 이온 소스가 장착되어 있습니다.
6. 베이킹: 디지털로 표시되고 ±1.5의 온도 제어 정밀도로 자동 제어됩니다.
7. 필름 두께 모니터링 시스템은 전자총의 증발 속도를 제어할 수 있습니다. 파장을 200~900nm 범위 내에서 제어하는 광학 막 두께 모니터링 시스템입니다.
8. 제어 시스템: 진공은 프로그래밍 가능한 로직 컨트롤러와 결합된 10.4인치 컬러 터치 스크린으로 제어됩니다. 진공 및 코팅 공정은 완전 자동으로 제어됩니다.
매개변수 사양
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모델 |
ZDGX-700 |
ZDGX-1000 |
ZDGX-1100 |
ZDGX-1300 |
ZDGX-1350 |
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챔버 크기 |
750×800mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
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코팅막 종류 |
광학 반사 방지 필름, AR, 광대역 반사 방지, 단일점 반사 방지, 광학 필터 및 장식 필름 |
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고정물 |
호형 고정구 4개, 단일 호형 플레이트 회전, 플레이트 3개 유성 회전 및 공전, 12개 샤프트 회전 및 공전(수평) |
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진공챔버 구조 |
수직/수평(304 스테인리스 스틸), 진공 시스템 포스트 배치 |
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진공 시스템 |
슬라이드 밸브 펌프(로터리 펌프), 루츠 펌프, 확산 펌프, 유지 펌프(옵션: 분자 펌프, 딥 콜드 펌프, 딥 콜드 시스템) |
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난방 시스템 |
가열 튜브에 의해 가열, PID 제어, 최대 온도: 350도 |
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인플레이션 시스템 |
질량 유량 컨트롤러 및 전자 자기 밸브 |
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전기빔 |
전기 빔 4개의 원형 도가니와 U자형 도가니, 고전압 4KV-8KV 조정 가능. 삼각파, 사인파 및 직사각형 파 스캐닝은 선택 사항입니다. |
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저항 증발원 |
저항 증발 소스의 2 그룹 |
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이온 소스 |
전력 2KW, 최대 양극 전류 6A. 필름층의 접착력, 밀도, 반사율을 증가시키는 이중 필라멘트 (Kerr) |
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크리스탈 필름 두께 컨트롤러 |
크리스탈 필름 두께 컨트롤러 SQC-310(미국)과 PLC는 완전 자동 펌핑 및 E-빔 증발 시스템을 구성합니다. |
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궁극의 진공 |
8×104pa클린 및 언로드됨 |
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펌프 시간 |
대기압에서 5×103pa까지 15분 이내 |
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제어 방법 |
수동, 반자동, 전자동 / 터치스크린 & PLC |
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주목 |
고객의 요청에 따라 설계 가능 |
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