Introdução ao equipamento
Seus componentes principais:
uma câmara de vácuo, um canhão de elétrons (sistema de emissão de feixe de elétrons), um cadinho (para reter materiais evaporados), um sistema de vácuo, um rack de substrato, um sistema de controle de temperatura e deflexão, etc.
O feixe de elétrons gera um feixe de elétrons de alta energia. Depois de focar e desviar, bombardeia com precisão a superfície do material evaporado. A energia cinética é convertida em energia térmica, fazendo com que o material derreta e vaporize. As partículas gasosas se movem em linha reta em um ambiente de vácuo e se depositam na superfície do substrato para formar um filme.
Comparado com a evaporação por resistência, evita a contaminação de contato entre o elemento de aquecimento e o material de evaporação.
Recursos principais
Tem uma temperatura de aquecimento extremamente altae pode evaporar metais refratários, como tungstênio, molibdênio e tântalo, bem como materiais estáveis em altas temperaturas, como óxidos e cerâmicas. É aplicável a uma ampla gama de materiais.
O filme tem alta pureza.O material é aquecido diretamente por feixe de elétrons, livre da contaminação de elementos de aquecimento por resistência, o que pode reduzir a mistura de impurezas e garantir a uniformidade da composição do filme.
A densidade de energia está concentrada, a eficiência de aquecimento é alta,pode atingir rapidamente a vaporização do material e a área de aquecimento pode ser controlada com precisão para reduzir a perda de energia.
Principais aplicações
Na área de óptica: Preparando sofisticado filmes ópticos, como filmes de alta refletividade e filmes antirreflexo para lentes de laser e componentes ópticos infravermelhos, bem como sistemas de filmes multicamadas para filtros ópticos.
Na área de eletrônica e semicondutores:A produção de filmes de eletrodos e filmes isolantes para dispositivos semicondutores, como fiação metálica para circuitos integrados, filmes de passivação para embalagens de chips, bem como filmes condutores transparentes para telas de cristal líquido (LCDS) e diodos emissores de luz orgânicos (OLeds).
Na indústria aeroespacial:Filmes resistentes a altas temperaturas, resistentes ao desgaste e resistentes à corrosão são revestidos para componentes aeroespaciais, como filmes protetores na superfície de naves espaciais e filmes ópticos para sistemas de orientação de mísseis.
Outros campos:Utilizado no novo setor de energia para a preparação de filmes de eletrodos e camadas tampão para células solares; É utilizado em laboratório para preparação e pesquisa de filmes finos para materiais de alta qualidade, bem como para revestimento funcional de componentes de instrumentos de precisão.
Contacte-nos a qualquer momento