معرفی تجهیزات
اجزای اصلی آن:
یک اتاق خلاء، یک تفنگ الکترونی (سیستم انتشار پرتو الکترونی) ، یک مهتاب (برای نگهداری مواد تبخیر شده) ، یک سیستم خلاء، یک قفسه ی بستر، یک سیستم کنترل دمای و انحراف، و غیره.
پرتو الکترون، پرتو الکترون با انرژی بالا را تولید می کند. پس از تمرکز و انحراف، به دقت سطح مواد تبخیر شده را بمباران می کند.انرژی حرکتی به انرژی حرارتی تبدیل می شودذرات گازی در یک محیط خلاء در یک خط مستقیم حرکت می کنند و در سطح بستر قرار می گیرند تا یک فیلم ایجاد کنند.
در مقایسه با تبخیر مقاومت، از آلودگی تماس بین عنصر گرمایش و مواد تبخیر جلوگیری می کند.
ویژگی های اصلی
درجه حرارت گرمایشش فوق العاده بالاستو می تواند فلزات شعله کش مانند وولفستم، مولیبدنوم و تانتالوم و همچنین مواد با دمای بالا مانند اکسید ها و سرامیک ها را تبخیر کند.
اين فيلم خالصيت بالايي داره.ماده به طور مستقیم توسط یک پرتو الکترون گرم می شود، بدون آلودگی عناصر گرم کننده مقاومت،که می تواند مخلوط ناخالصی ها را کاهش دهد و یکسانی ترکیب فیلم را تضمین کند.
تراکم انرژی متمرکز است، بهره وری گرمایش بالا است،می تواند به سرعت تبخیر مواد را به دست آورد، و منطقه گرمایش را می توان به دقت کنترل کرد تا از دست دادن انرژی را کاهش دهد.
کاربردهای اصلی
در زمینه نوری: آماده سازی از نوع بالا فیلم های نوری، مانند فیلم های بازتاب دهنده و ضد بازتاب برای لنزهای لیزر و اجزای نوری مادون قرمز، و همچنین سیستم های فیلم چند لایه ای برای فیلترهای نوری.
در زمینه الکترونیک و نیمه هادی:تولید فیلم های الکترود و فیلم های عایق کننده برای دستگاه های نیمه هادی، مانند سیم کشی فلزی برای مدارهای یکپارچه، فیلم های غیرفعال برای بسته بندی تراشه،همچنین فیلم های رسانا شفاف برای صفحه نمایش کریستال مایع (LCDS) و دیودهای ارگانیک تابش نور (OLED).
در صنعت هوافضا:فیلم های مقاوم به دمای بالا، مقاوم به فرسایش و مقاوم به خوردگی برای قطعات هوافضا پوشش داده می شوند.مانند فیلم های محافظ بر روی سطح فضاپیماها و فیلم های نوری برای سیستم های هدایت موشک.
سایر زمینه ها:استفاده می شود در بخش انرژی جدید برای آماده سازی فیلم الکترود و لایه های بافر برای سلول های خورشیدی؛در آزمایشگاه برای آماده سازی و تحقیقات فیلم های نازک برای مواد پیشرفته استفاده می شود، و همچنین برای پوشش عملکردی اجزای ابزار دقیق
در هر زمان با ما تماس بگیرید