Giới thiệu về thiết bị
Các thành phần cốt lõi của nó:
Phòng chân không, súng điện tử (hệ thống phát xạ chùm điện tử), thạch (để giữ các vật liệu bay hơi), hệ thống chân không, giá đỡ nền, hệ thống điều khiển nhiệt độ và lệch độ, v.v.
chùm electron tạo ra chùm electron năng lượng cao. Sau khi tập trung và lệch hướng, nó bắn phá chính xác bề mặt của vật liệu bay hơi.Năng lượng động chuyển thành năng lượng nhiệtCác hạt khí di chuyển theo đường thẳng trong môi trường chân không và lắng đọng trên bề mặt chất nền để tạo thành một bộ phim.
So với bốc hơi kháng cự, nó tránh sự ô nhiễm tiếp xúc giữa yếu tố sưởi ấm và vật liệu bốc hơi.
Các đặc điểm chính
Nó có nhiệt độ sưởi ấm cực kỳ caovà có thể bay hơi kim loại lửa như tungsten, molybden và tantalum, cũng như các vật liệu ổn định nhiệt độ cao như oxit và gốm sứ.
Bộ phim có độ tinh khiết cao.Vật liệu được làm nóng trực tiếp bằng chùm electron, không bị ô nhiễm bởi các yếu tố sưởi ấm kháng cự,có thể làm giảm hỗn hợp tạp chất và đảm bảo sự đồng nhất của thành phần phim.
Mật độ năng lượng tập trung, hiệu quả sưởi ấm cao,nó có thể nhanh chóng đạt được sự bốc hơi vật liệu, và khu vực sưởi ấm có thể được kiểm soát chính xác để giảm mất năng lượng.
Ứng dụng chính
Trong lĩnh vực quang học: Chuẩn bị cao cấp Phim quang học, chẳng hạn như phim phản xạ cao và phim chống phản xạ cho ống kính laser và các thành phần quang học hồng ngoại, cũng như hệ thống phim đa lớp cho bộ lọc quang học.
Trong lĩnh vực điện tử và bán dẫn:Sản xuất phim điện cực và phim cách nhiệt cho các thiết bị bán dẫn, chẳng hạn như dây kim loại cho mạch tích hợp, phim thụ động cho bao bì chip,cũng như các tấm dẫn điện trong suốt cho màn hình tinh thể lỏng (LCDS) và đèn chiếu sáng hữu cơ (OLED).
Trong ngành hàng không vũ trụ:Các loại phim chống nhiệt độ cao, chống mòn và chống ăn mòn được phủ cho các thành phần hàng không vũ trụ,như phim bảo vệ trên bề mặt tàu vũ trụ và phim quang cho hệ thống hướng dẫn tên lửa.
Các lĩnh vực khác:Được sử dụng trong lĩnh vực năng lượng mới để chuẩn bị phim điện cực và lớp đệm cho pin mặt trời;Nó được sử dụng trong phòng thí nghiệm để chuẩn bị và nghiên cứu các tấm mỏng cho các vật liệu cao cấp, cũng như cho lớp phủ chức năng của các thành phần thiết bị chính xác
Liên hệ với chúng tôi bất cứ lúc nào