Introducción del equipo
Sus componentes principales:
una cámara de vacío, un cañón de electrones (sistema de emisión de haz de electrones), un crisol (para contener materiales evaporados), un sistema de vacío, una rejilla para sustrato, un sistema de control de temperatura y deflexión, etc.
El haz de electrones genera un haz de electrones de alta energía. Después de enfocar y desviar, bombardea con precisión la superficie del material evaporado. La energía cinética se convierte en energía térmica, lo que hace que el material se derrita y se vaporice. Las partículas gaseosas se mueven en línea recta en un ambiente de vacío y se depositan en la superficie del sustrato para formar una película.
En comparación con la evaporación por resistencia, evita la contaminación por contacto entre el elemento calefactor y el material de evaporación.
Características principales
Tiene una temperatura de calentamiento extremadamente alta.y puede evaporar metales refractarios como tungsteno, molibdeno y tantalio, así como materiales estables a altas temperaturas como óxidos y cerámicas. Es aplicable a una amplia gama de materiales.
La película tiene alta pureza.El material se calienta directamente mediante un haz de electrones, libre de la contaminación de los elementos calefactores de resistencia, lo que puede reducir la mezcla de impurezas y garantizar la uniformidad de la composición de la película.
La densidad de energía está concentrada, la eficiencia de calefacción es alta,puede lograr rápidamente la vaporización del material y el área de calentamiento se puede controlar con precisión para reducir la pérdida de energía.
Aplicaciones principales
En el campo de la óptica.: Preparando gama alta películas ópticas, como películas de alta reflectividad y películas antirreflectantes para lentes láser y componentes ópticos infrarrojos, así como sistemas de películas multicapa para filtros ópticos.
En el campo de la electrónica y los semiconductores:La producción de películas para electrodos y películas aislantes para dispositivos semiconductores, como cables metálicos para circuitos integrados, películas de pasivación para embalaje de chips, así como películas conductoras transparentes para pantallas de cristal líquido (LCDS) y diodos emisores de luz orgánicos (OLeds).
En el sector aeroespacial:Se recubren películas resistentes a altas temperaturas, al desgaste y a la corrosión para componentes aeroespaciales, como películas protectoras en la superficie de naves espaciales y películas ópticas para sistemas de guía de misiles.
Otros campos:Utilizado en el nuevo sector energético para la preparación de películas de electrodos y capas tampón para células solares; Se utiliza en el laboratorio para la preparación e investigación de películas delgadas para materiales de alta gama, así como para el recubrimiento funcional de componentes de instrumentos de precisión.
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