Введение в оборудование
Его основные компоненты:
вакуумная камера, электронная пушка (система эмиссии электронного пучка), тигель (для хранения испаряемых материалов), вакуумная система, подставка для подложек, система контроля температуры и отклонения и т. д.
Электронный луч генерирует пучок электронов высокой энергии. После фокусировки и отклонения он точно бомбардирует поверхность испаряемого материала. Кинетическая энергия преобразуется в тепловую энергию, заставляя материал плавиться и испаряться. Газообразные частицы движутся прямолинейно в вакуумной среде и осаждаются на поверхности подложки, образуя пленку.
По сравнению с методом резистивного испарения, это позволяет избежать контактного загрязнения между нагревательным элементом и испаряемым материалом.
Основные функции
Имеет чрезвычайно высокую температуру нагрева.и может испарять тугоплавкие металлы, такие как вольфрам, молибден и тантал, а также устойчивые к высоким температурам материалы, такие как оксиды и керамика. Он применим к широкому спектру материалов.
Пленка имеет высокую чистоту.Материал нагревается непосредственно электронным лучом, без примесей резистивных нагревательных элементов, что позволяет уменьшить примеси и обеспечить однородность состава пленки.
Плотность энергии сконцентрирована, эффективность нагрева высока,он может быстро достичь испарения материала, а площадь нагрева можно точно контролировать, чтобы уменьшить потери энергии.
Основные приложения
В области оптики: Подготовка элитный оптические пленки, такие как пленки с высокой отражающей способностью и просветляющие пленки для лазерных линз и инфракрасных оптических компонентов, а также многослойные пленочные системы для оптических фильтров.
В области электроники и полупроводников:Производство электродных и изолирующих пленок для полупроводниковых приборов, таких как металлические провода для интегральных схем, пассивационные пленки для упаковки микросхем, а также прозрачные проводящие пленки для жидкокристаллических дисплеев (LCDS) и органических светодиодов (OLEd).
В аэрокосмической отрасли:Термостойкими, износостойкими и коррозионностойкими пленками наносятся детали аэрокосмической техники, например, защитные пленки на поверхности космических аппаратов и оптические пленки для систем наведения ракет.
Другие поля:Используется в новой энергетике для изготовления электродных пленок и буферных слоев для солнечных элементов; Используется в лаборатории для приготовления и исследования тонких пленок для высококачественных материалов, а также для функционального покрытия прецизионных компонентов приборов.
СОТРАНИВАЙСЯ С НАМИ в любое время