Introduction de l'équipement
Ses composants essentiels:
une chambre à vide, un pistolet électronique (système d'émission de faisceau d'électrons), un creuset (pour contenir des matières évaporées), un système à vide, un support de substrat, un système de contrôle et de déviation de la température, etc.
Le faisceau d'électrons génère un faisceau d'électrons à haute énergie qui, après avoir été focalisé et dévié, bombarde avec précision la surface du matériau évaporé.L'énergie cinétique est convertie en énergie thermiqueLes particules gazeuses se déplacent en ligne droite dans un environnement vide et se déposent sur la surface du substrat pour former un film.
Comparé à l'évaporation par résistance, il évite la contamination par contact entre l'élément chauffant et le matériau d'évaporation.
Principales caractéristiques
Il a une température de chauffage extrêmement élevéeIl peut évaporer des métaux réfractaires tels que le tungstène, le molybdène et le tantale, ainsi que des matériaux stables à haute température tels que les oxydes et les céramiques.
Le film est de haute pureté.Le matériau est directement chauffé par un faisceau d'électrons, exempt de contamination par des éléments chauffants à résistance,qui peut réduire le mélange d'impuretés et assurer l'uniformité de la composition du film.
La densité d'énergie est concentrée, l'efficacité de chauffage est élevée,Il peut rapidement réaliser la vaporisation des matériaux et la zone de chauffage peut être contrôlée avec précision pour réduire les pertes d'énergie.
Principales applications
Dans le domaine de l'optiquePréparation haute qualité les films optiques, tels que les films à haute réflectivité et les films anti-réflexion pour les lentilles laser et les composants optiques infrarouges, ainsi que les systèmes de films multicouches pour les filtres optiques.
Dans le domaine de l'électronique et des semi-conducteurs:La production de films d'électrodes et de films isolants pour les dispositifs semi-conducteurs, tels que le câblage métallique pour les circuits intégrés, les films de passivation pour les emballages de puces,ainsi que des films conducteurs transparents pour les écrans à cristaux liquides (LCDS) et les diodes électroluminescentes organiques (OLED).
Dans l' aérospatiale:Des films résistants aux températures élevées, à l'usure et à la corrosion sont revêtus pour les composants aérospatiaux,comme les films de protection à la surface des engins spatiaux et les films optiques pour les systèmes de guidage de missiles.
Autres domaines:Utilisé dans le secteur de la nouvelle énergie pour la préparation de films d'électrodes et de couches tampons pour cellules solaires;Il est utilisé en laboratoire pour la préparation et la recherche de films minces pour les matériaux haut de gamme, ainsi que pour le revêtement fonctionnel des composants des instruments de précision
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