Ekipman Tanıtımı
Temel bileşenleri:
bir vakum odası, bir elektron tabancası (elektron ışını emisyon sistemi), bir kavurma (buharlaşmış malzemeleri tutmak için), bir vakum sistemi, bir substrat rafı, bir sıcaklık kontrolü ve bükme sistemi vb.
Elektron ışını yüksek enerjili bir elektron ışını üretir. Odaklandıktan ve saptırıldıktan sonra buharlaşan malzemenin yüzeyini hassas bir şekilde bombardıman eder.Kinetik enerji termal enerjiye dönüştürülür.Gaz şeklindeki parçacıklar vakum ortamında düz bir çizgide hareket eder ve bir film oluşturmak için substrat yüzeyinde birikir.
Direniş buharlaşması ile karşılaştırıldığında, ısıtma elementi ile buharlaşma malzemesi arasındaki temas kirliliğini önler.
Temel özellikleri
Çok yüksek bir ısıtma sıcaklığına sahiptir.ve volfram, molibden ve tantal gibi ateşe dayanıklı metalleri, ayrıca oksitler ve seramik gibi yüksek sıcaklıkta istikrarlı malzemeleri buharlaştırabilir.
Film yüksek saflığa sahiptir.Malzeme doğrudan bir elektron ışını ile ısıtılır, direnç ısıtma elemanlarının kirliliğinden uzak,Kirlilik karışımını azaltabilen ve film bileşiminin tekdüzeliğini sağlayan.
Enerji yoğunluğu yoğun, ısıtma verimliliği yüksek,Malzeme buharlaşmasını hızlı bir şekilde sağlayabilir ve enerji kaybını azaltmak için ısıtma alanını hassas bir şekilde kontrol edebilirsiniz.
Ana uygulamalar
Optik alanındaHazırlanıyor Yüksek seviye Lazer lensleri ve kızılötesi optik bileşenler için yüksek yansıtıcılıklı filmler ve yansıtıcılık önleyici filmler gibi optik filmler ve optik filtreler için çok katmanlı film sistemleri.
Elektronik ve yarı iletkenler alanında:Entegre devreler için metal kablolama, çip ambalajları için pasifleştirme filmleri gibi yarı iletken cihazlar için elektrot filmleri ve yalıtım filmleri üretimi,Sıvı kristal ekranlar (LCDS) ve organik ışık yayıcı diyotlar (OLED) için şeffaf iletken filmler.
Havacılık alanında:Yüksek sıcaklığa dayanıklı, aşınmaya dayanıklı ve korozyona dayanıklı filmler havacılık bileşenleri için kaplanmıştır.Örneğin uzay aracının yüzeyinde koruyucu filmler ve füze yönlendirme sistemleri için optik filmler.
Diğer alanlar:Güneş hücreleri için elektrot filmleri ve tampon katmanları hazırlamak için yeni enerji sektöründe kullanılır;Laboratuvarda yüksek kaliteli malzemeler için ince filmlerin hazırlanması ve araştırılması için kullanılır, ayrıca hassas alet bileşenlerinin işlevsel kaplamaları için
Herhangi bir zamanda bizimle iletişime geçin