Einführung in die Ausrüstung
Seine Kernkomponenten:
eine Vakuumkammer, eine Elektronenkanone (Elektronenstrahlemissionssystem), ein Tiegel (zur Aufnahme verdampfter Materialien), ein Vakuumsystem, ein Substratgestell, ein Temperaturkontroll- und Ablenksystem usw.
Der Elektronenstrahl erzeugt einen hochenergetischen Elektronenstrahl. Nach der Fokussierung und Ablenkung beschießt es gezielt die Oberfläche des verdampften Materials. Die kinetische Energie wird in Wärmeenergie umgewandelt, wodurch das Material schmilzt und verdampft. Die gasförmigen Partikel bewegen sich in einer Vakuumumgebung geradlinig und lagern sich auf der Substratoberfläche ab, um einen Film zu bilden.
Im Vergleich zur Widerstandsverdampfung wird eine Kontaktverunreinigung zwischen dem Heizelement und dem Verdampfungsmaterial vermieden.
Kernfunktionen
Es hat eine extrem hohe Heiztemperaturund kann hochschmelzende Metalle wie Wolfram, Molybdän und Tantal sowie hochtemperaturstabile Materialien wie Oxide und Keramik verdampfen. Es ist auf eine Vielzahl von Materialien anwendbar.
Der Film weist eine hohe Reinheit auf.Das Material wird direkt durch einen Elektronenstrahl erhitzt, frei von Verunreinigungen durch Widerstandsheizelemente, wodurch die Mischung von Verunreinigungen reduziert und die Gleichmäßigkeit der Filmzusammensetzung sichergestellt werden kann.
Die Energiedichte ist konzentriert, die Heizeffizienz ist hoch,Es kann eine schnelle Materialverdampfung erreicht werden und der Heizbereich kann präzise gesteuert werden, um den Energieverlust zu reduzieren.
Hauptanwendungen
Im Bereich Optik: Vorbereiten High-End optische Folien, wie hochreflektierende Folien und Antireflexionsfolien für Laserlinsen und infrarotoptische Komponenten, sowie mehrschichtige Foliensysteme für optische Filter.
Im Bereich Elektronik und Halbleiter:Die Produktion von Elektrodenfolien und Isolierfolien für Halbleiterbauelemente, wie Metallverdrahtungen für integrierte Schaltkreise, Passivierungsfolien für Chipverpackungen sowie transparente leitfähige Folien für Flüssigkristallanzeigen (LCDS) und organische Leuchtdioden (OLeds).
In der Luft- und Raumfahrt:Für Luft- und Raumfahrtkomponenten werden hochtemperaturbeständige, verschleißfeste und korrosionsbeständige Folien beschichtet, beispielsweise Schutzfolien auf der Oberfläche von Raumfahrzeugen und optische Folien für Raketenleitsysteme.
Weitere Bereiche:Wird im neuen Energiesektor zur Herstellung von Elektrodenfilmen und Pufferschichten für Solarzellen verwendet; Es wird im Labor zur Herstellung und Erforschung dünner Schichten für hochwertige Materialien sowie zur funktionellen Beschichtung von Präzisionsinstrumentenkomponenten eingesetzt
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