Wprowadzenie do sprzętu
Jego podstawowe elementy:
komora próżniowa, działo elektronowe (układ emisji wiązek elektronów), tygiel (do przetrzymywania odparowanych materiałów), układ próżniowy, stojak na substrat, układ kontroli temperatury i odchylania itp.
Wiązka elektronów generuje wiązkę elektronów o wysokiej energii. Po skupieniu i odbiciu precyzyjnie bombarduje powierzchnię odparowanego materiału. Energia kinetyczna zamienia się w energię cieplną, co powoduje stopienie i odparowanie materiału. Cząsteczki gazowe poruszają się po linii prostej w środowisku próżniowym i osadzają się na powierzchni podłoża, tworząc film.
W porównaniu z parowaniem oporowym pozwala uniknąć zanieczyszczenia stykowego pomiędzy elementem grzejnym a materiałem parującym.
Podstawowe funkcje
Ma wyjątkowo wysoką temperaturę ogrzewaniai może odparowywać metale ogniotrwałe, takie jak wolfram, molibden i tantal, a także materiały odporne na wysokie temperatury, takie jak tlenki i ceramika. Ma zastosowanie do szerokiej gamy materiałów.
Film charakteryzuje się wysoką czystością.Materiał jest podgrzewany bezpośrednio wiązką elektronów, wolny od zanieczyszczeń oporowymi elementami grzejnymi, co może zmniejszyć domieszkę zanieczyszczeń i zapewnić jednorodność składu folii.
Gęstość energii jest skoncentrowana, wydajność ogrzewania jest wysoka,może szybko osiągnąć odparowanie materiału, a obszar grzewczy można precyzyjnie kontrolować, aby zmniejszyć straty energii.
Główne zastosowania
W dziedzinie optyki: Przygotowanie wysokiej klasy folie optyczne, takie jak folie o wysokim współczynniku odbicia i folie przeciwodblaskowe do soczewek laserowych i elementów optycznych na podczerwień, a także wielowarstwowe systemy folii do filtrów optycznych.
W dziedzinie elektroniki i półprzewodników:Produkcja folii elektrodowych i izolacyjnych do urządzeń półprzewodnikowych, takich jak okablowanie metalowe do układów scalonych, folii pasywacyjnych do opakowań chipów, a także przezroczystych folii przewodzących do wyświetlaczy ciekłokrystalicznych (LCDS) i organicznych diod elektroluminescencyjnych (OLed).
W przemyśle lotniczym:Do elementów lotniczych i kosmicznych powleka się folie odporne na wysoką temperaturę, zużycie i korozję, takie jak folie ochronne na powierzchni statków kosmicznych i folie optyczne do systemów naprowadzania rakiet.
Inne pola:Stosowany w nowej energetyce do przygotowania folii elektrodowych i warstw buforowych do ogniw słonecznych; Stosowany jest w laboratorium do przygotowania i badania cienkich warstw materiałów wysokiej klasy, a także do powlekania funkcjonalnego precyzyjnych elementów instrumentów
Skontaktuj się z nami w każdej chwili