การแนะนำอุปกรณ์
ส่วนประกอบหลัก:
ห้องสุญญากาศ ปืนอิเล็กตรอน (ระบบปล่อยลำแสงอิเล็กตรอน) เบ้าหลอม (สำหรับยึดวัสดุระเหย) ระบบสุญญากาศ ชั้นวางสารตั้งต้น ระบบควบคุมอุณหภูมิและระบบโก่งตัว เป็นต้น
ลำแสงอิเล็กตรอนสร้างลำแสงอิเล็กตรอนพลังงานสูง หลังจากโฟกัสและหันเห มันจะโจมตีพื้นผิวของวัสดุที่ระเหยออกไปอย่างแม่นยำ พลังงานจลน์จะถูกแปลงเป็นพลังงานความร้อน ส่งผลให้วัสดุละลายและกลายเป็นไอ อนุภาคก๊าซจะเคลื่อนที่เป็นเส้นตรงในสภาพแวดล้อมสุญญากาศและสะสมบนพื้นผิวของสารตั้งต้นเพื่อสร้างฟิล์ม
เมื่อเปรียบเทียบกับการระเหยด้วยความต้านทาน จะหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนสัมผัสระหว่างองค์ประกอบความร้อนและวัสดุระเหย
คุณสมบัติหลัก
มีอุณหภูมิความร้อนสูงมากและสามารถระเหยโลหะทนไฟ เช่น ทังสเตน โมลิบดีนัม และแทนทาลัม รวมถึงวัสดุที่มีความเสถียรที่อุณหภูมิสูง เช่น ออกไซด์ และเซรามิก ใช้ได้กับวัสดุหลากหลายประเภท
ฟิล์มมีความบริสุทธิ์สูงวัสดุได้รับความร้อนโดยตรงด้วยลำแสงอิเล็กตรอน ซึ่งปราศจากการปนเปื้อนขององค์ประกอบความร้อนแบบต้านทาน ซึ่งสามารถลดส่วนผสมของสิ่งสกปรกและรับประกันความสม่ำเสมอขององค์ประกอบของฟิล์ม
ความหนาแน่นของพลังงานมีความเข้มข้น ประสิทธิภาพการทำความร้อนสูงสามารถทำให้เกิดการกลายเป็นไอของวัสดุได้อย่างรวดเร็ว และสามารถควบคุมพื้นที่ทำความร้อนได้อย่างแม่นยำเพื่อลดการสูญเสียพลังงาน
การใช้งานหลัก
ในสาขาทัศนศาสตร์: กำลังเตรียมตัว ระดับไฮเอนด์ ฟิล์มกรองแสง เช่น ฟิล์มสะท้อนแสงสูงและฟิล์มกันแสงสะท้อนสำหรับเลนส์เลเซอร์และส่วนประกอบออปติคอลอินฟราเรด รวมถึงระบบฟิล์มหลายชั้นสำหรับฟิลเตอร์กรองแสง
ในด้านอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์:การผลิตฟิล์มอิเล็กโทรดและฟิล์มฉนวนสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น สายไฟโลหะสำหรับวงจรรวม ฟิล์มฟิล์มทู่สำหรับบรรจุภัณฑ์ชิป ตลอดจนฟิล์มนำไฟฟ้าโปร่งใสสำหรับจอแสดงผลคริสตัลเหลว (LCDS) และไดโอดเปล่งแสงอินทรีย์ (OLeds)
ในอวกาศ:ฟิล์มที่ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการสึกหรอ และการกัดกร่อนถูกเคลือบสำหรับส่วนประกอบการบินและอวกาศ เช่น ฟิล์มป้องกันบนพื้นผิวยานอวกาศ และฟิล์มออพติคัลสำหรับระบบนำทางขีปนาวุธ
สาขาอื่นๆ:ใช้ในภาคพลังงานใหม่สำหรับการเตรียมฟิล์มอิเล็กโทรดและชั้นบัฟเฟอร์สำหรับเซลล์แสงอาทิตย์ ใช้ในห้องปฏิบัติการเพื่อการเตรียมและการวิจัยฟิล์มบางสำหรับวัสดุคุณภาพสูง ตลอดจนการเคลือบตามหน้าที่ของส่วนประกอบเครื่องมือที่มีความแม่นยำ
ติดต่อเราตลอดเวลา