Pengantar Peralatan
Komponen utamanya:
ruang vakum, pistol elektron (sistem emisi sinar elektron), creeple (untuk menyimpan bahan yang menguap), sistem vakum, rak substrat, kontrol suhu dan sistem defleksi, dll.
Sinar elektron menghasilkan sinar elektron bertenaga tinggi. Setelah memfokuskan dan mengalihkan, sinar elektron dengan tepat membombardir permukaan bahan yang menguap.Energi kinetik diubah menjadi energi termalPartikel gas bergerak dalam garis lurus di lingkungan vakum dan deposit pada permukaan substrat untuk membentuk film.
Dibandingkan dengan penguapan resistansi, ia menghindari kontaminasi kontak antara elemen pemanas dan bahan penguapan.
Fitur inti
Ini memiliki suhu pemanasan yang sangat tinggidan dapat menguap logam tahan api seperti wolfram, molibdenum dan tantalum, serta bahan stabil suhu tinggi seperti oksida dan keramik.
Film ini memiliki kemurnian tinggi.Bahan ini dipanaskan langsung oleh sinar elektron, bebas dari kontaminasi dari elemen pemanasan resistansi,yang dapat mengurangi campuran kotoran dan memastikan keseragaman komposisi film.
Kepadatan energi terkonsentrasi, efisiensi pemanasan tinggi,dapat dengan cepat mencapai penguapan bahan, dan area pemanasan dapat dikontrol dengan tepat untuk mengurangi kehilangan energi.
Aplikasi utama
Dalam bidang optik: Mempersiapkan high-end film optik, seperti film reflektivitas tinggi dan film anti-refleksi untuk lensa laser dan komponen optik inframerah, serta sistem film multilayer untuk filter optik.
Dalam bidang elektronik dan semikonduktor:Produksi film elektroda dan film isolasi untuk perangkat semikonduktor, seperti kabel logam untuk sirkuit terpadu, film pasivasi untuk kemasan chip,serta film konduktif transparan untuk tampilan kristal cair (LCDS) dan dioda penerbit cahaya organik (OLED).
Di bidang kedirgantaraan:Film tahan suhu tinggi, tahan keausan dan tahan korosi dilapisi untuk komponen aeroangkasa,seperti film pelindung pada permukaan pesawat ruang angkasa dan film optik untuk sistem panduan rudal.
Bidang lainnya:Digunakan dalam sektor energi baru untuk persiapan film elektroda dan lapisan penyangga untuk sel surya;Hal ini digunakan di laboratorium untuk persiapan dan penelitian film tipis untuk bahan high-end, serta untuk lapisan fungsional komponen instrumen presisi
Hubungi kami kapan saja