품질 PVD 마그네트론 스퍼터링 진공 코팅 기계 - 휴대폰 뒷면 커버 금속 품목 코팅용 공장

PVD 마그네트론 스퍼터링 진공 코팅 기계 - 휴대폰 뒷면 커버 금속 품목 코팅용

원산지:자오칭, 광둥

브랜드 이름:Zhongda

인증:CE

최소 주문 수량:1

배달 시간:45~60 일

태그:

PVD 마그네트론 스프터링 코팅 기계

금속 품목용 진공 코팅 기계

휴대폰 뒷면 커버 코팅 기계

Application: 광학, 장식, 기능

Coating Product: 유리, 금속, 플라스틱, 세라믹 등

Coating Color: 금,은, 은색, 검은 색, 파란색, 녹색 등

Target Size: 맞춤형

Target Material: Ti，Al, Cr, Au，Ag，Cu

Coating Technology: 마그네트론 스퍼터링

Coatings: Tin, Tic, Ticn, Tialn, CRN, CU, AU, DLC

Coating Colors: 블랙/블루/레드/골드//로즈 골드/블루/실버 등.

Machine Size: 사용자 정의

Coating Thickness: 0.01-10 미크론

Vacuum System: 높은 진공

Coating Uniformity: ≤ ± 5%

Coating Process: 마그네트론 스퍼터링

Power Supply: DC/RF/AC

Substrate Material: 유리, 금속, 세라믹, 플라스틱

Substrate Size: 맞춤형

Coating Structure: 단일 레이어, 다층, 그라디언트 등

Control System: PLC, 터치스크린, 자동

Coating Equipment Size: 맞춤형

Coating Material: 금속, 합금, 세라믹, 복합 재료

Coating Method: 마그네트론 스퍼터링

제품 설명

세부 사양 및 특징

마그네트론 스퍼터링

기술 개요

마그네트론 스퍼터링은 다재다능한 물리 기상 증착(PVD) 기술로, 다양한 기판에 고품질 박막을 증착하는 데 널리 사용됩니다. 고진공 챔버(압력 < 10⁻³ Torr)에서 불활성 기체(예: 아르곤)를 이온화하여 플라즈마를 생성합니다. 플라즈마의 고에너지 이온이 타겟 물질을 충돌시켜 원자를 방출하고, 이 원자가 기판에 균일하고 부착력이 강한 막으로 증착됩니다. 이 방법은 금속, 합금, 세라믹 및 복합 재료에 특히 적합하며, 막 조성과 두께를 정밀하게 제어할 수 있습니다.

작동 원리

플라즈마 생성: 고전압 전기장이 아르곤 가스를 이온화하여 Ar⁺ 이온과 전자를 생성합니다.
자기 가둠: 자기장(전기장에 수직)이 타겟 표면 근처에서 전자를 가두어 이온화 효율과 플라즈마 밀도를 향상시킵니다.
스퍼터링 공정: 가속된 Ar⁺ 이온이 타겟을 때려 원자를 떨어뜨리고, 이 원자가 기판으로 이동하여 박막을 형성합니다. 자기장은 기판에 대한 전자의 충격을 최소화하여 열 손상을 줄입니다.

주요 장점

균일성 및 접착력: 고에너지 이온 충돌로 인해 뛰어난 두께 균일성(±5%)과 강한 기판 접착력을 가진 막을 생성합니다.
재료 다양성: 금속(예: Ti, Cu), 세라믹(예: SiO₂, Al₂O₃) 및 반도체와 호환됩니다.
저온 증착: 플라스틱 및 폴리머와 같이 열에 민감한 재료에 적합합니다.
공정 제어: 플라즈마 매개변수를 통해 막 특성(예: 전도성, 경도)을 정밀하게 조정할 수 있습니다.
다성분 코팅: 합금 또는 기울기 층 생산을 위해 여러 타겟을 동시 스퍼터링을 지원합니다.

적용 산업

전자: IC 패키징, 디스플레이 패널 및 태양 전지.
광학: 반사 방지 코팅, 거울 및 광학 필터.
공구: 절삭 공구 및 금형에 대한 내마모성 코팅.
자동차: 트림 및 부품에 대한 장식 및 내식성 마감.
의료: 임플란트 및 기기에 대한 생체 적합성 코팅.

코팅 효과 및 색상

표면 마감: 금속 광택, 무광택 질감 또는 질감 패턴.
색상 범위: 반응성 스퍼터링을 통한 은색, 금색, 검은색, 파란색 및 맞춤형 색상(예: 금색 마감의 TiN).

구조 유형

평면 마그네트론: 넓은 영역 증착에 이상적(예: 유리 또는 패널).
로터리 마그네트론: 원통형 또는 곡선 기판의 타겟 활용률 및 증착 속도를 향상시킵니다.
불균형 마그네트론: 조밀하고 부착력이 강한 막을 위해 높은 이온 밀도를 가진 플라즈마를 생성합니다.

기판 재료

플라스틱(ABS, PET, PC), 유리, 세라믹, 금속 및 복합 재료.

코팅 재료

금속: Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Au.
세라믹: SiO₂, Al₂O₃, TiO₂, Si₃N₄.
합금: NiCr, TiAl 및 초합금.

지원 생산 라인

UV 경화 또는 플라즈마 처리와 같은 코팅 후 공정과 통합되어 기능성을 향상시킵니다.

소모품

타겟 재료(금속/세라믹), 아르곤 가스 및 스퍼터링 전원 공급 장치.

응용 분야

광학: 고반사 거울 및 눈부심 방지 코팅.
전자: 터치스크린용 투명 전도성 산화물(ITO).
항공 우주: 터빈 블레이드에 대한 열 차단 코팅.
건축 유리: 에너지 효율을 위한 저방사율(low-E) 코팅.

맞춤화

당사의 시스템은 특정 증착 요구 사항을 충족하기 위해 구성 가능한 마그네트론 어레이, 진공 펌핑 시스템 및 공정 제어 소프트웨어를 갖춘 모듈식 설계를 제공합니다.

마그네트론 코팅 장비 모델(높이 ≤ 1.3m)
모델	Lion-0710	Lion-1012	Lion-1212	Lion-1412	Lion-1612	Lion-1813
진공 챔버	Ф700×H1000mm	Ф1000×H1200mm	Ф1200×H1200mm	Ф1400×H1200mm	Ф1600×H1200mm	Ф1800×H1300mm
응용 분야	시계 산업, 3C 산업, 위생 용품 산업, 보석 산업
응용 분야	시계 액세서리, 휴대폰 액세서리, 안경테, 의류, 장식 조명, 위생 도자기, 하드웨어 수트케이스, 유리, 세라믹 및 플라스틱 등
코팅 필름	Ti-Gold, Rose Gold, Champagne Gold, Japanese Gold, Bright Silver, Rainbow, Jewelry Blue, Rose Red, Black 등
진공	수직 도어 구조, 공기 펌핑 시스템 및 수냉 시스템 장착
진공 시스템	유지 펌프 + 기계 펌프 + 루츠 펌프 + 확산 펌프 또는 분자 펌프(고객 요구 사항에 따른 특정 모델)
진공	1 세트 pirani, 1 세트 냉음극, 1 세트 다이어프램 게이지
공급 유형	DC 전원, MF 전원, 펄스 전원(바이어스 전원, 아크 전원)
최종	1.0- 6.0×10-4Pa, 무부하 냉각

바이어스 전원	20KW/1 세트	20KW/1 세트	20KW/1 세트	30KW/1 세트	40KW/1 세트	60KW/1 세트
마그네트론 전원 공급 장치	1-2 세트	1-2 세트	2-3 세트	2-3 세트	3-4 세트	3-4 세트
회전	주파수 제어 기능이 있는 다축 플래너터리(제어 및 조정 가능)
베이킹 온도	상온～300℃ to 450℃ ～600℃ 제어 및 조정 가능(PID 온도 제어)
가스	자동 가스 추가 시스템과 일치하는 3 또는 4 방향 작동 가스 흐름 제어 및 표시 시스템
가스	Ar, N2, O2, C2H2,etc.
냉각 방법	수냉 순환, 산업용 냉각탑 또는 산업용 냉각기(냉동기) 또는 극저온 시스템 장착.(고객 제공)
제어	수동, 반자동, 자동, 터치 스크린 작동, PLC 또는 컴퓨터 제어
공기압	0.5-0.8MPa
물	≤25℃ ≥0.2MPa
경고	수분 부족, 과전압, 회로 차단과 같은 비정상적인 상황이 발생하면 경보 시스템이 작동하여 관련 보호를 수행합니다.
총 전력	25~65KW	45~85KW	65~105KW	85~115KW	95~125KW	100~130KW
출력	전압 380V, 주파수 50Hz(고객의 국가 전기 표준에 따라 장착)
점유	15~50m²	15~50m²	25~55m²	25~55m²	35~55m²	35~55m²
비고	고객의 요구 사항에 따라 특수 기계를 설계 및 생산하며, 마그네트론 스퍼터링 타겟, MF 트윈 타겟 등을 추가할 수 있습니다.

빠른 답장을 위한 메시지

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