آلة طلاء الفراغ بالرش المغنطيسي PVD لطلاء الأجزاء المعدنية للغطاء الخلفي للهاتف

الرش المغنطروني

نظرة عامة على التكنولوجيا

مبدأ العمل

• توليد البلازما: تعمل مجال كهربائي عالي الجهد على تأيين غاز الأرجون، مما ينتج أيونات Ar⁺ وإلكترونات.
• الاحتواء المغناطيسي: يحبس المجال المغناطيسي (العمودي على المجال الكهربائي) الإلكترونات بالقرب من سطح الهدف، مما يعزز كفاءة التأين وكثافة البلازما.
• عملية الرش: تضرب أيونات Ar⁺ المتسارعة الهدف، مما يؤدي إلى إزاحة الذرات التي تنتقل إلى الركيزة وتشكل طبقة رقيقة. يقلل المجال المغناطيسي من قصف الإلكترونات للركيزة، مما يقلل من التلف الحراري.

المزايا الرئيسية

1. التوحيد والالتصاق: تنتج أفلامًا ذات توحيد استثنائي في السُمك (±5%) والتصاق قوي بالركيزة بسبب قصف الأيونات عالية الطاقة.
2. تعدد استخدامات المواد: متوافق مع المعادن (مثل Ti و Cu) والسيراميك (مثل SiO₂ و Al₂O₃) وأشباه الموصلات.
3. الترسيب في درجة حرارة منخفضة: مناسب للمواد الحساسة للحرارة مثل البلاستيك والبوليمرات.
4. التحكم في العملية: يتيح الضبط الدقيق لخصائص الفيلم (مثل الموصلية والصلابة) عبر معلمات البلازما.
5. طلاءات متعددة المكونات: يدعم الرش المشترك لأهداف متعددة لإنتاج سبائك أو طبقات متدرجة.

الصناعات المطبقة

• الإلكترونيات: تغليف الدوائر المتكاملة، وشاشات العرض، والخلايا الكهروضوئية.
• البصريات: طلاءات مضادة للانعكاس، والمرايا، والمرشحات البصرية.
• الأدوات: طلاءات مقاومة للاهتراء لأدوات القطع والقوالب.
• السيارات: تشطيبات زخرفية ومقاومة للتآكل على الزخارف والمكونات.
• الطبية: طلاءات متوافقة حيويًا للزرعات والأدوات.

تأثيرات الألوان والطلاء

• تشطيبات السطح: لمعان معدني، أو ملمس غير لامع، أو أنماط محكم.
• نطاق الألوان: الفضة والذهب والأسود والأزرق والألوان المخصصة عبر الرش التفاعلي (مثل TiN للتشطيبات الشبيهة بالذهب).

أنواع الهياكل

• المغنطرون المستوي: مثالي للترسيب على مساحة كبيرة (مثل الزجاج أو الألواح).
• المغنطرون الدوار: يعزز استخدام الهدف ومعدل الترسيب للركائز الأسطوانية أو المنحنية.
• المغنطرون غير المتوازن: يولد بلازما ذات كثافة أيونية عالية للأفلام الكثيفة والمتماسكة.

مواد الركيزة

• البلاستيك (ABS، PET، PC)، والزجاج، والسيراميك، والمعادن، والمركبات.

مواد الطلاء

• المعادن: Ti، Cr، Ag، Al، Cu، Au.
• السيراميك: SiO₂، Al₂O₃، TiO₂، Si₃N₄.
• السبائك: NiCr، TiAl، والسبائك الفائقة.

خطوط الإنتاج الداعمة

• يتكامل مععمليات ما بعد الطلاءمثل المعالجة بالأشعة فوق البنفسجية أو معالجة البلازما لتحسين الوظائف.

المواد الاستهلاكية

• مواد الهدف (معدنية/سيراميك)، وغاز الأرجون، وإمدادات طاقة الرش.

التطبيقات

• البصريات: مرايا عالية الانعكاس وطلاءات مضادة للوهج.
• الإلكترونيات: أكاسيد موصلة شفافة (ITO) لشاشات اللمس.
• الفضاء: طلاءات حاجز حراري على شفرات التوربينات.
• الزجاج المعماري: طلاءات منخفضة الانبعاثية (منخفضة E) لكفاءة الطاقة.

التخصيص