Μηχανή Επίστρωσης κενού PVD Magnetron Sputtering για επίστρωση μεταλλικών αντικειμένων πίσω καλύμματος τηλεφώνου

Εξάχνωση με Μαγνήτριο

Επισκόπηση Τεχνολογίας

Αρχή Λειτουργίας

• Δημιουργία Πλάσματος: Ένα ηλεκτρικό πεδίο υψηλής τάσης ιονίζει το αέριο αργού, παράγοντας ιόντα Ar⁺ και ηλεκτρόνια.
• Μαγνητική Περιορισμός: Ένα μαγνητικό πεδίο (ορθογώνιο προς το ηλεκτρικό πεδίο) παγιδεύει τα ηλεκτρόνια κοντά στην επιφάνεια του στόχου, ενισχύοντας την απόδοση ιονισμού και την πυκνότητα του πλάσματος.
• Διαδικασία Εξάχνωσης: Τα επιταχυνόμενα ιόντα Ar⁺ χτυπούν τον στόχο, αποκολλώντας άτομα που ταξιδεύουν στο υπόστρωμα και σχηματίζουν ένα λεπτό φιλμ. Το μαγνητικό πεδίο ελαχιστοποιεί τον βομβαρδισμό των ηλεκτρονίων στο υπόστρωμα, μειώνοντας τη θερμική ζημιά.

Βασικά Πλεονεκτήματα

1. Ομοιομορφία & Πρόσφυση: Παράγει φιλμ με εξαιρετική ομοιομορφία πάχους (±5%) και ισχυρή πρόσφυση στο υπόστρωμα λόγω του βομβαρδισμού ιόντων υψηλής ενέργειας.
2. Ευελιξία Υλικών: Συμβατό με μέταλλα (π.χ., Ti, Cu), κεραμικά (π.χ., SiO₂, Al₂O₃) και ημιαγωγούς.
3. Εναπόθεση σε Χαμηλή Θερμοκρασία: Κατάλληλο για ευαίσθητα στη θερμότητα υλικά όπως πλαστικά και πολυμερή.
4. Έλεγχος Διαδικασίας: Επιτρέπει τον ακριβή συντονισμό των ιδιοτήτων του φιλμ (π.χ., αγωγιμότητα, σκληρότητα) μέσω των παραμέτρων του πλάσματος.
5. Επιστρώσεις Πολλαπλών Συστατικών: Υποστηρίζει την συν-εξάχνωση πολλαπλών στόχων για την παραγωγή κράματος ή στρώσεων διαβάθμισης.

Εφαρμοσμένες Βιομηχανίες

• Ηλεκτρονικά: Συσκευασία IC, οθόνες και φωτοβολταϊκά κύτταρα.
• Οπτική: Αντιανακλαστικές επιστρώσεις, καθρέφτες και οπτικά φίλτρα.
• Εργαλεία: Ανθεκτικές στην φθορά επιστρώσεις για εργαλεία κοπής και καλούπια.
• Αυτοκίνητα: Διακοσμητικά και ανθεκτικά στη διάβρωση φινιρίσματα σε διακοσμητικά στοιχεία και εξαρτήματα.
• Ιατρική: Βιοσυμβατές επιστρώσεις για εμφυτεύματα και όργανα.

Επιδράσεις & Χρώματα Επίστρωσης

• Φινιρίσματα Επιφανειών: Μεταλλική λάμψη, ματ υφές ή υφές με σχέδια.
• Εύρος Χρωμάτων: Ασημί, χρυσό, μαύρο, μπλε και προσαρμοσμένες αποχρώσεις μέσω αντιδραστικής εξάχνωσης (π.χ., TiN για χρυσοειδή φινιρίσματα).

Τύποι Δομών

• Επίπεδο Μαγνήτριο: Ιδανικό για εναπόθεση μεγάλης επιφάνειας (π.χ., γυαλί ή πάνελ).
• Περιστροφικό Μαγνήτριο: Ενισχύει την εκμετάλλευση του στόχου και τον ρυθμό εναπόθεσης για κυλινδρικά ή καμπύλα υποστρώματα.
• Μη Ισορροπημένο Μαγνήτριο: Δημιουργεί πλάσμα με υψηλή πυκνότητα ιόντων για πυκνά, προσκολλημένα φιλμ.

Υλικά Υποστρώματος

• Πλαστικά (ABS, PET, PC), γυαλί, κεραμικά, μέταλλα και σύνθετα υλικά.

Υλικά Επίστρωσης

• Μέταλλα: Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Au.
• Κεραμικά: SiO₂, Al₂O₃, TiO₂, Si₃N₄.
• Κράματα: NiCr, TiAl και υπερκράματα.

Υποστηρικτικές Γραμμές Παραγωγής

• Ενσωματώνεται με μετα-επικαλυπτικές διεργασίες όπως η σκλήρυνση UV ή η επεξεργασία πλάσματος για βελτιωμένη λειτουργικότητα.

Αναλώσιμα

• Υλικά στόχου (μεταλλικά/κεραμικά), αέριο αργού και τροφοδοτικά εξάχνωσης.

Εφαρμογές

• Οπτική: Καθρέφτες υψηλής ανακλαστικότητας και αντιανακλαστικές επιστρώσεις.
• Ηλεκτρονικά: Διαφανή αγώγιμα οξείδια (ITO) για οθόνες αφής.
• Αεροδιαστημική: Επιστρώσεις θερμικού φραγμού σε πτερύγια στροβίλων.
• Αρχιτεκτονικό Γυαλί: Επιστρώσεις χαμηλής εκπομπής (low-E) για ενεργειακή απόδοση.

Προσαρμογή