PVD Manyetik Püskürtme Vakum Kaplama Makinesi Telefon arka kapağı metal eşyaları kaplamak için

Magnetron Püskürtme

Teknolojiye Genel Bakış

Çalışma Prensibi

• Plazma Oluşturma: Yüksek voltajlı bir elektrik alanı, argon gazını iyonize ederek Ar⁺ iyonları ve elektronlar üretir.
• Manyetik Hapsedilme: Manyetik bir alan (elektrik alanına dik), elektronları hedef yüzeyin yakınında hapseder, iyonizasyon verimliliğini ve plazma yoğunluğunu artırır.
• Püskürtme İşlemi: Hızlandırılmış Ar⁺ iyonları hedefe çarpar, alt tabakaya seyahat eden ve ince bir film oluşturan atomları yerinden eder. Manyetik alan, elektronların alt tabakaya çarpmasını en aza indirerek ısı hasarını azaltır.

Temel Avantajlar

1. Düzgünlük ve Yapışma: Yüksek enerjili iyon bombardımanı sayesinde olağanüstü kalınlık düzgünlüğü (±%5) ve güçlü alt tabaka yapışması ile filmler üretir.
2. Malzeme Çok Yönlülüğü: Metaller (örneğin, Ti, Cu), seramikler (örneğin, SiO₂, Al₂O₃) ve yarı iletkenlerle uyumludur.
3. Düşük Sıcaklıkta Biriktirme: Plastik ve polimerler gibi ısıya duyarlı malzemeler için uygundur.
4. Proses Kontrolü: Plazma parametreleri aracılığıyla film özelliklerinin (örneğin, iletkenlik, sertlik) hassas bir şekilde ayarlanmasını sağlar.
5. Çok Bileşenli Kaplamalar: Alaşım veya gradyan katman üretimi için birden fazla hedefin birlikte püskürtülmesini destekler.

Uygulanan Endüstriler

• Elektronik: Entegre devre paketleme, ekran panelleri ve fotovoltaik hücreler.
• Optik: Yansıma önleyici kaplamalar, aynalar ve optik filtreler.
• Takım: Kesici takımlar ve kalıplar için aşınmaya dayanıklı kaplamalar.
• Otomotiv: Döşeme ve bileşenlerde dekoratif ve korozyona dayanıklı yüzeyler.
• Tıbbi: İmplantlar ve aletler için biyouyumlu kaplamalar.

Kaplama Etkileri ve Renkler

• Yüzey Kaplamaları: Metalik parlaklık, mat dokular veya dokulu desenler.
• Renk Aralığı: Gümüş, altın, siyah, mavi ve reaktif püskürtme yoluyla özel renk tonları (örneğin, altın benzeri yüzeyler için TiN).

Yapı Türleri

• Düzlemsel Magnetron: Geniş alan kaplaması için idealdir (örneğin, cam veya paneller).
• Döner Magnetron: Silindirik veya kavisli alt tabakalar için hedef kullanımını ve biriktirme oranını artırır.
• Dengesiz Magnetron: Yoğun, yapışkan filmler için yüksek iyon yoğunluğuna sahip plazma üretir.

Alt Tabaka Malzemeleri

• Plastikler (ABS, PET, PC), cam, seramik, metaller ve kompozitler.

Kaplama Malzemeleri

• Metaller: Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Au.
• Seramikler: SiO₂, Al₂O₃, TiO₂, Si₃N₄.
• Alaşımlar: NiCr, TiAl ve süper alaşımlar.

Üretim Hatlarını Destekleme

• Gibi kaplama sonrası işlemler UV kürleme veya plazma işlemi gibi gelişmiş işlevsellik için entegre eder.

Sarf Malzemeleri

• Hedef malzemeler (metalik/seramik), argon gazı ve püskürtme güç kaynakları.

Uygulamalar

• Optik: Yüksek yansıtma aynaları ve parlama önleyici kaplamalar.
• Elektronik: Dokunmatik ekranlar için şeffaf iletken oksitler (ITO).
• Havacılık: Türbin kanatlarında termal bariyer kaplamalar.
• Mimari Cam: Enerji verimliliği için düşük emisyonlu (düşük-E) kaplamalar.

Özelleştirme