PVD Multi-arc Magnetron Sputtering Composite Coating Machine Sprzęt do metalizowania próżniowego

Rdzeń techniczny urządzeń do pokrywania jonów wielołkowego mikrofalowego polega na "wielołkowym wyładowaniu wielołkowym współpracującym z mikrowolną plazmem", które posiada następujące wyjątkowe cechy:

• Podwójna synergia źródła plazmy, podwójne zwiększenie szybkości jonizacji i aktywnościUrządzenie integruje "ciel katodowy wielołkowy" i "źródło plazmy mikrofalowej" (zwykle źródło mikrofalowe o częstotliwości 2,45 GHz)..Po superpozycji tych dwóch, szybkość jonizacji plazmy może osiągnąć ponad 90%.stężenie cząstek czynnych (atomów, jony, wolne rodniki) znacznie wzrosła, co stanowi podstawę gęstego wzrostu warstwy foliowej.
•  
• Środowisko wzrostu warstwy foliowej jest kontrolowane, a struktura i wydajność są precyzyjnie regulowane.Poprzez dostosowanie parametrów takich jak moc mikrofalowa, prąd wielołkowy, stopień próżni i napięcie przesunięcia, można precyzyjnie kontrolować gęstość plazmy, energię jonów i odsetek cząstek aktywnych.Umożliwia to ukierunkowaną optymalizację struktury warstwy foliowej (takiej jak struktury nanokrystalne, amorficzne i wielowarstwowe złożone) i wydajności (twardość, wytrzymałość,i współczynnik tarcia), spełniając dostosowane wymagania różnych scenariuszy.
• Niska temperatura i wysoka wydajność w równowadze, odpowiednie do podłoża wrażliwego na ciepłoPlasma mikrofalowa charakteryzuje się "wysoką aktywnością w niskich temperaturach",umożliwiające wydajne powlekanie w zakresie niskiej temperatury 100-400°C (temperatura tradycyjnego powlekania wielołkowego wynosi głównie 150-500°C)Ponadto może zmniejszyć energię wymaganą do parowania docelowego materiału poprzez pomoc mikrofalową, zapobiegając deformacji,zmniejszenie twardości lub pogorszenie mikrostruktury podłoża z powodu wysokich temperaturJest kompatybilny z elementami czułymi na ciepło, takimi jak szybka stal, stopy precyzyjne i materiały polimerowe.
• Warstwa foliowa ma niewiele wad i doskonałą jakość powierzchniEfekt "oczyszczania i aktywacji" plazmy mikrofalowej może skutecznie usuwać warstwę tlenku i zanieczyszczenia na powierzchni części roboczych, while suppressing the "Macroparticle" defects that are prone to occur during multi-arc discharge (reducing the deposition of macroparticles through the confinement and bombardment effects of microwave plasma)Ostatecznie utworzona warstwa folii jest gęsta i bezporna, o wysokim wykończeniu powierzchniowym (Ra≤0,05μm) i nie wymaga kolejnej obróbki polerowania.
• Duża zdolność adaptacyjna, kompatybilna ze złożonymi częściami obróbkowymi i wielopoziomowymi systemami foliowymiDziedzicząc konstrukcję materiału wielocelowego wielołkowego pokrycia jonowego (2-8 celów katodowych), można go dopasować do pojedynczych celów metalowych, celów stopu lub celów kompozytowych,w połączeniu z funkcją dysocjacji gazowej wspomaganej mikrofalową może przygotowywać systemy wielowarstwowych folii, takie jak jednorzędowe folie (TiN), CrN), folii wielowarstwowych (TiN/TiAlN), folii złożonych (TiAlN/DLC) i folii gradientowych (Ti→TiN→TiAlN).Uniwersalne powlekanie skomplikowanych części roboczych, takich jak płaszczyzny, zakrzywione powierzchnie, głębokie otwory i małe części mogą zostać osiągnięte.

W porównaniu z tradycyjnym sprzętem do pokrywania jonów wielołukowym, sprzętem do rozpylania magnetronów itp.,urządzenia do pokrywania jonów wielołukowych mikrofalowych mają znaczące ulepszenia wydajności i zalety zastosowań:

• Całkowite działanie warstwy foliowej osiągnęło ogromną poprawę
  • Bardziej zrównoważona twardość i wytrzymałość:twardość warstwy foliowej może osiągnąć HV2500-4500 (np. twardość folii TiAlN wspomaganej mikrofalowo jest około 3500-4000HV),który jest o 20%-30% wyższy niż w przypadku tradycyjnych warstw folii wielołkowych, a wytrzymałość jest lepsza (wytrzymałość na złamanie KIC≥4,5 MPa · m1/2), unikając problemu twardości i kruchości.
  • Silniejsza siła wiązania:Jony aktywowane przez mikrofalówkę tworzą bardziej stabilne "metallurgiczno-chemiczne połączenie kompozytowe" z powierzchnią obrabianego przedmiotu.który jest o 30%-50% wyższy niż w przypadku tradycyjnej warstwy folii wielołkowej, i jest mniej prawdopodobne, że wystąpią objawy łuszczenia i rozszczepiania.
  • Wyższa odporność środowiskowa:The dense film layer structure and the uniform oxide layer formed with microwave assistance (such as the Al₂O₃ transition layer) significantly enhance its corrosion resistance (neutral salt spray test ≥1000 hours) and high-temperature resistance (TiAlN film can stably operate at 800-1000℃, o 200°C wyższe niż w przypadku tradycyjnych warstw filmów wielołukowych).
• Pocieranie niskotemperaturowe, poszerzające zakres zastosowań podłoża:Minimalną temperaturę powłoki można obniżyć do poniżej 100°C, rozwiązując "problem adaptacji" tradycyjnej technologii PVD dla podłoża wrażliwego na ciepło, takich jak materiały polimerowe,precyzyjne elementy elektroniczneNa przykład można go bezpośrednio pokryć zębami z tworzyw sztucznych, obudowami do chipów półprzewodnikowych i formami z cienkimi ścianami, nie wpływając na pierwotną wydajność podłoża.
• Niski wskaźnik wad i wysoki wskaźnik kwalifikacji produktu:Efekt hamujący plazmy mikrofalowej na duże cząstki zmniejsza wskaźnik wad warstwy foliowej do poniżej 0,1% (w przypadku tradycyjnych warstw foliowych wielołkowych wskaźnik wad wynosi około 1%-3%),który jest szczególnie odpowiedni do produktów wysokiej klasy o surowych wymaganiach dotyczących jakości powierzchni (takich jak precyzyjne narzędzia do cięcia), części lotniczych, komponentów elektronicznych), znacząco poprawiając wskaźnik kwalifikacji produkcji.
• Efektywność równowagi i efektywność kosztowa:Utrzymuje się wysoką szybkość osadzenia wielołukowego pokrycia jonowego (0,1-1,2 μm/min), co jest 3-5 razy szybciej niż rozpylanie magnetronowe, i nie ma potrzeby poświęcania wydajności w produkcji masowej.W międzyczasie, doskonała wydajność warstwy foliowej wydłuża żywotność obrabianego kawałka od 3 do 15 razy (np. żywotność form precyzyjnych jest zwiększona od 5 do 8 razy),obniża koszty wymiany i utrzymania, a w długoterminowym użytkowaniu ma znaczącą przewagę w stosunku do kosztów.
• Zielona i przyjazna dla środowiska, spełniająca najwyższe standardy produkcyjne:Cały proces odbywa się w środowisku pod wysoką próżnią, bez konieczności stosowania elektrolitów kwasowych i alkalicznych lub środków chemicznych.bez zrzutów ścieków, gazów odpadowych lub pozostałości odpadów. Ponadto ogrzewanie mikrofalowe ma wysoką wydajność (z wykorzystaniem energii elektrycznej ≥ 60%), oszczędzając 15% do 25% energii w porównaniu z tradycyjnym urządzeniem wielołkowym,który spełnia wymagania ekologicznej produkcji w takich gałęziach przemysłu, jak nowa energia i produkcja wysokiej klasy.

Wyposażenie do powłoki jonowej wielołkowej mikrofalowej, z podstawowymi zaletami "wysokiej wydajności, niskiej temperatury i niskiej wadliwości", stało się kluczowym sprzętem do powłoki w dziedzinie przemysłu wysokiej klasy.Typowe zastosowania obejmują::