PVD Multi-arc Magnetron Sputtering Kompozit Kaplama Makinesi Vakum Metallizasyon Ekipmanı

Mikrodalga çoklu yaylı iyon kaplama ekipmanlarının teknik çekirdeği, aşağıdaki benzersiz özellikleri oluşturan "mikrodalga plazma işbirliği çoklu yaylı boşaltma" dır:

• Çift plazma kaynağı sinerjisi, iyonizasyon hızının ve aktivitesinin ikili arttırılmasıEkipman, bir "çok yaylı katot hedefi" ve bir "mikrodalga plazma kaynağı" (genellikle 2.45GHz bir mikrodalga kaynağı) birleştirir..), ve mikrodalga, yardımcı plazma üretmek için çalışma gazını (N2, Ar, CH4, vb.) heyecanlandırır. İkisinin üst üste konmasından sonra, plamanın iyonlaşma oranı% 90'ın üzerinde olabilir.Aktif parçacık konsantrasyonu (atomlar), iyonlar, serbest radikaller) önemli ölçüde artmıştır ve film katmanının yoğun büyümesi için bir temel sağlar.
•  
• Film katmanının büyüme ortamı kontrol edilebilir ve yapısı ve performansı kesin bir şekilde düzenlenir.Mikrodalga gücü, çoklu yay akımı, vakum derecesi ve yanılsama voltajı gibi parametreleri ayarlayarak plazma yoğunluğu, iyon enerjisi ve aktif parçacık oranı kesin bir şekilde kontrol edilebilir.Bu, film katman yapısının (nanokristal, amorf ve çok katmanlı kompozite yapılar gibi) ve performansının (sertlik, dayanıklılık,ve sürtünme katsayısı)Farklı senaryoların özel gereksinimlerini karşılamak.
• Düşük sıcaklık ve yüksek denge verimi, ısıya duyarlı substratlar için uygundurMikrodalga plazma düşük sıcaklıklarda yüksek aktivite gösterir.100-400°C düşük sıcaklık aralığında verimli bir kaplama sağlayan (geleneksel çok yaylı kaplama için sıcaklık çoğunlukla 150-500°C'dir)Üstelik, mikrodalga desteği ile hedef malzemenin buharlaşması için gereken enerjiyi azaltabilir, deformasyonu önleyebilir,Yüksek sıcaklıklardan kaynaklanan katılığın azalması veya altyapının mikrostrukturunun bozulmasıYüksek hızlı çelik, hassas alaşımlar ve polimer malzemeler gibi ısıya duyarlı iş parçalarıyla uyumludur.
• Film katmanı az kusurlu ve mükemmel yüzey kalitesine sahiptirMikrodalga plazmasının "temizleme ve etkinleştirme" etkisi, iş parçasının yüzeyinde mikro-oksit katmanını ve kirleticileri etkili bir şekilde kaldırabilir, while suppressing the "Macroparticle" defects that are prone to occur during multi-arc discharge (reducing the deposition of macroparticles through the confinement and bombardment effects of microwave plasma)Son şekillendirilmiş film tabakası yoğun ve gözeneksiz, yüksek bir yüzey finişi ile (Ra≤0.05μm) ve sonraki cilalama işlemine gerek yoktur.
• Karmaşık iş parçaları ve çok katmanlı film sistemleriyle uyumlu geniş uyarlanabilirlikÇoklu yaylı iyon kaplama (2-8 katot hedefi) çok hedefli malzeme tasarımını miras alarak, tek metal hedeflere, alaşım hedeflere veya kompozit hedeflere eşleştirilebilir.Mikrodalga destekli gaz ayrıştırma fonksiyonu ile birleştirildiğinde Tek katmanlı filmler (TiN) gibi çok katmanlı film sistemleri hazırlayabilir., CrN), çok katmanlı filmler (TiN/TiAlN), kompozit filmler (TiAlN/DLC) ve eğri filmler (Ti→TiN→TiAlN).Uçaklar gibi karmaşık şekilli iş parçalarının tekdüze kaplaması, eğri yüzeyler, derin delikler ve küçük parçalar elde edilebilir.

Geleneksel çoklu yaylı iyon kaplama ekipmanları, magnetron püskürtme ekipmanları vb. ile karşılaştırıldığında,Mikrodalga çoklu yaylı iyon kaplama ekipmanları önemli performans yükseltmeleri ve uygulama avantajlarına sahiptir:

• Film katmanının kapsamlı performansı bir sıçrama iyileştirme elde etti
  • Daha dengeli sertlik ve sertlik:Film katmanının sertliği HV2500-4500'e ulaşabilir (örneğin, mikro dalga destekli TiAlN filminin sertliği yaklaşık 3500-4000HV'dir),geleneksel çok yaylı film katmanlarından %20-30 daha yüksek, ve sertlik daha iyidir (kırılma sertliği KIC≥4.5MPa · m1/2), sertlik ve kırılganlık sorunundan kaçınır.
  • Daha güçlü bir bağlanma gücü:Mikrodalga ile aktive edilen iyonlar, iş parçasının yüzeyi ile daha istikrarlı bir "metallürjik-kimyasal kompozit bağ" oluşturur.geleneksel çok yaylı film katmanından %30-50 daha yüksek, ve soyulma ve parçalanma olaylarının daha az olasılığı vardır.
  • Çevreye karşı üstün dayanıklılık:The dense film layer structure and the uniform oxide layer formed with microwave assistance (such as the Al₂O₃ transition layer) significantly enhance its corrosion resistance (neutral salt spray test ≥1000 hours) and high-temperature resistance (TiAlN film can stably operate at 800-1000℃, geleneksel çok yaylı film katmanlarından 200 ° C daha yüksek).
• Alt sıcaklıkta kaplama, substratların uygulama aralığını genişletir:Minimum kaplama sıcaklığı 100 °C'nin altına düşürülebilir, bu da polimer malzemeler gibi ısıya duyarlı substratlar için geleneksel PVD teknolojisinin "uyumlama sorunu" nı çözer.hassas elektronik bileşenlerÖrneğin, altyapının orijinal performansını etkilemeden plastik dişliler, yarı iletken yongaları ve ince duvarlı kalıplar üzerinde doğrudan kaplanabilir.
• Düşük kusur oranı ve yüksek ürün niteliği oranı:Mikrodalga plazmalarının büyük parçacıklar üzerindeki engelleyici etkisi, film katmanının kusur oranını% 0.1'in altına düşürür (geleneksel çok yaylı film katmanlarının kusur oranı yaklaşık% 1-3'tür),Özellikle sert yüzey kalitesi gereksinimleri olan yüksek kaliteli ürünler için uygundur (örneğin hassas kesme aletleri), havacılık parçaları, elektronik bileşenler), üretim niteliği oranını önemli ölçüde iyileştirdi.
• Denge verimliliği ve maliyet etkinliği:Çoklu kemerli iyon kaplamasının yüksek çökme hızını (0,1-1,2μm/dakikada) korumak, manyetron püskürtmesinden 3-5 kat daha hızlıdır ve seri üretimde verimliliği feda etmenin bir gerekçesi yoktur.Bu arada, mükemmel film katman performansı iş parçasının kullanım ömrünü 3 ila 15 kat artırır (örneğin, hassas kalıpların kullanım ömrü 5 ila 8 kat artırılır),Değiştirme ve bakım maliyetini azaltır, ve uzun süreli kullanım için önemli bir maliyet-performansı avantajına sahiptir.
• Yeşil ve çevre dostu, yüksek üretim standartlarına uygun:Tüm süreç yüksek vakum ortamında, asit ve alkali elektrolitlere veya kimyasal ajanlara ihtiyaç duymadan gerçekleştirilir.Atık su akışı olmadanÜstelik, mikrodalga ısıtma yüksek verimliliğe sahiptir (elektrik kullanım oranı %60'dır) ve geleneksel çoklu yaylı ekipmanlara kıyasla %15 ila 25% enerji tasarrufu sağlar.Yeni enerji ve yüksek kaliteli üretim gibi endüstrilerin yeşil üretim gereksinimlerini karşılayan.

Mikrodalga çoklu yaylı iyon kaplama ekipmanları, "yüksek performans, düşük sıcaklık ve düşük kusur" gibi temel avantajlarıyla, yüksek endüstriyel alanda kilit kaplama ekipmanlarına dönüştü.Tipik uygulamalar şunlardır::