पीवीडी मल्टी-आर्क मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कम्पोजिट कोटिंग मशीन वैक्यूम धातुकरण उपकरण

माइक्रोवेव मल्टी-आर्क आयन कोटिंग उपकरण का तकनीकी कोर "माइक्रोवेव प्लाज्मा सहयोगात्मक मल्टी-आर्क डिस्चार्ज" में निहित है, जिसने निम्नलिखित अनूठी विशेषताएं बनाई हैं:

• दोहरी प्लाज्मा स्रोत तालमेल, आयनिकरण दर और गतिविधि का दोहरी वृद्धिउपकरण में एक "मल्टी-आर्क कैथोड लक्ष्य" और एक "माइक्रोवेव प्लाज्मा स्रोत" (आमतौर पर 2.45GHz माइक्रोवेव स्रोत) शामिल है। मल्टी-आर्क डिस्चार्ज लक्ष्य सामग्री आयनों (जैसे टीआई, सीआर, अल, आदि) प्रदान करता है।.), और माइक्रोवेव सहायक प्लाज्मा उत्पन्न करने के लिए काम करने वाली गैस (जैसे एन 2, आर, सीएच 4, आदि) को उत्तेजित करता है। दोनों के सुपरपोजिशन के बाद, प्लाज्मा की आयनिकरण दर 90% से अधिक तक पहुंच सकती है। इसके अलावा,सक्रिय कणों (परमाणुओं) की एकाग्रता, आयनों, मुक्त कणों) में काफी वृद्धि हुई है, जो फिल्म परत के घने विकास का आधार प्रदान करती है।
•  
• फिल्म परत के विकास वातावरण को नियंत्रित किया जा सकता है, और संरचना और प्रदर्शन को ठीक से विनियमित किया जाता है।माइक्रोवेव पावर, मल्टी-आर्क करंट, वैक्यूम डिग्री और पूर्वाग्रह वोल्टेज जैसे मापदंडों को समायोजित करके प्लाज्मा घनत्व, आयन ऊर्जा और सक्रिय कणों के अनुपात को ठीक से नियंत्रित किया जा सकता है.यह फिल्म परत संरचना (जैसे नैनोक्रिस्टलीय, अकार्मिक और बहु-परत समग्र संरचनाओं) और प्रदर्शन (कठोरता, कठोरता,और घर्षण गुणांक), विभिन्न परिदृश्यों की अनुकूलित आवश्यकताओं को पूरा करता है।
• कम तापमान और संतुलन में उच्च दक्षता, गर्मी संवेदनशील सब्सट्रेट के लिए उपयुक्तमाइक्रोवेव प्लाज्मा में "कम तापमान पर उच्च गतिविधि" है,100-400°C के निम्न तापमान सीमा के भीतर कुशल कोटिंग को सक्षम करना (पारंपरिक बहु-आर्क कोटिंग के लिए तापमान ज्यादातर 150-500°C है)इसके अतिरिक्त, यह माइक्रोवावेव सहायता के माध्यम से लक्ष्य सामग्री के वाष्पीकरण के लिए आवश्यक ऊर्जा को कम कर सकता है, विकृति को रोकता है,उच्च तापमान के कारण सब्सट्रेट की कठोरता में कमी या सूक्ष्म संरचना में गिरावटयह उच्च गति वाले इस्पात, सटीक मिश्र धातुओं और बहुलक सामग्री जैसे गर्मी-संवेदनशील वर्कपीस के साथ संगत है।
• फिल्म परत में कम दोष और उत्कृष्ट सतह की गुणवत्ता होती हैमाइक्रोवेव प्लाज्मा की "सफाई और सक्रियण" प्रभाव प्रभावी रूप से माइक्रो-ऑक्साइड परत और workpieces की सतह पर प्रदूषकों को दूर कर सकते हैं, while suppressing the "Macroparticle" defects that are prone to occur during multi-arc discharge (reducing the deposition of macroparticles through the confinement and bombardment effects of microwave plasma)अंतिम रूप से बनी फिल्म परत घनी और छिद्र रहित होती है, जिसमें उच्च सतह खत्म होती है (Ra≤0.05μm), और इसके बाद कोई चमकाने की आवश्यकता नहीं होती है।
• व्यापक अनुकूलनशीलता, जटिल वर्कपीस और बहु-परत फिल्म प्रणालियों के साथ संगतमल्टी-आर्क आयन प्लेटिंग (2-8 कैथोड लक्ष्य) के मल्टी-टारगेट सामग्री डिजाइन को विरासत में लेते हुए, यह एकल धातु लक्ष्यों, मिश्र धातु लक्ष्यों या समग्र लक्ष्यों के साथ मेल खा सकता है,और माइक्रोवेव-सहायित गैस विच्छेदन समारोह के साथ संयुक्त यह बहु-परत फिल्म प्रणालियों जैसे कि एकल-परत फिल्म (TiN) तैयार कर सकते हैं, CrN), मल्टी-लेयर फिल्म्स (TiN/TiAlN), कम्पोजिट फिल्म्स (TiAlN/DLC), और ग्रेडिएंट फिल्म्स (Ti→TiN→TiAlN) ।जटिल आकार के वर्कपीस जैसे विमानों का एक समान कोटिंग, घुमावदार सतहों, गहरे छेद, और छोटे भागों को प्राप्त किया जा सकता है।

पारंपरिक मल्टी-आर्क आयन प्लेटिंग उपकरण, मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग उपकरण आदि की तुलना में,माइक्रोवेव मल्टी-आर्क आयन कोटिंग उपकरण में महत्वपूर्ण प्रदर्शन उन्नयन और अनुप्रयोग लाभ हैं:

• फिल्म परत के व्यापक प्रदर्शन में तेजी से सुधार हुआ है
  • अधिक संतुलित कठोरता और कठोरता:फिल्म परत की कठोरता HV2500-4500 तक पहुँच सकती है (उदाहरण के लिए, माइक्रोवावे सहायता प्राप्त TiAlN फिल्म की कठोरता लगभग 3500-4000HV है),जो पारंपरिक बहु-आर्क फिल्म परतों की तुलना में 20%-30% अधिक है, और कठोरता बेहतर है (भंग कठोरता KIC≥4.5MPa · m1/2), कठोरता और भंगुरता की समस्या से बचने के लिए।
  • मजबूत बंधन बल:माइक्रोवेव द्वारा सक्रिय आयनों के साथ एक अधिक स्थिर "धातु-रासायनिक मिश्रित बंधन" काम टुकड़ा की सतह. फिल्म परत के आसंजन 40-80N तक पहुँच सकते हैं (स्क्रैच परीक्षण विधि),जो पारंपरिक बहु-आर्क फिल्म परत की तुलना में 30%-50% अधिक है, और इसमें छीलने और चिपके जाने की संभावना कम होती है।
  • उच्च पर्यावरण प्रतिरोधःThe dense film layer structure and the uniform oxide layer formed with microwave assistance (such as the Al₂O₃ transition layer) significantly enhance its corrosion resistance (neutral salt spray test ≥1000 hours) and high-temperature resistance (TiAlN film can stably operate at 800-1000℃पारंपरिक बहु-आर्क फिल्म परतों की तुलना में 200°C अधिक) ।
• निम्न तापमान कोटिंग, सब्सट्रेट के अनुप्रयोग रेंज का विस्तारःन्यूनतम कोटिंग तापमान को 100 डिग्री सेल्सियस से नीचे तक कम किया जा सकता है, जिससे पारंपरिक पीवीडी तकनीक की "अनुकूलन समस्या" को हल किया जा सकता है, जैसे कि बहुलक सामग्री जैसे गर्मी-संवेदनशील सब्सट्रेट के लिए,सटीक इलेक्ट्रॉनिक घटकउदाहरण के लिए, इसे सीधे प्लास्टिक गियर, अर्धचालक चिप आवरण और पतली दीवार वाले मोल्ड पर लेपित किया जा सकता है, बिना सब्सट्रेट के मूल प्रदर्शन को प्रभावित किए।
• कम दोष दर और उच्च उत्पाद योग्यता दर:बड़े कणों पर माइक्रोवेव प्लाज्मा के अवरोधक प्रभाव से फिल्म परत की दोष दर 0.1% से कम हो जाती है (पारंपरिक बहु-आर्क फिल्म परतों की दोष दर लगभग 1%-3% है),जो विशेष रूप से सख्त सतह गुणवत्ता आवश्यकताओं के साथ उच्च अंत उत्पादों के लिए उपयुक्त है (जैसे सटीक काटने के उपकरण), विमानन भागों, इलेक्ट्रॉनिक घटकों), उत्पादन योग्यता दर में काफी सुधार।
• संतुलन दक्षता और लागत-प्रभावीताःबहु-आर्क आयन कोटिंग (0.1-1.2μm/min) की उच्च जमाई दर बनाए रखें, जो मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग की तुलना में 3-5 गुना तेज है, और बड़े पैमाने पर उत्पादन में दक्षता का त्याग करने की आवश्यकता नहीं है।इस बीच, उत्कृष्ट फिल्म परत प्रदर्शन 3 से 15 गुना तक काम के टुकड़े की सेवा जीवन को बढ़ाता है (उदाहरण के लिए, सटीक मोल्ड की सेवा जीवन 5 से 8 गुना बढ़ जाती है),प्रतिस्थापन और रखरखाव की लागत को कम करता है, और दीर्घकालिक उपयोग में लागत-प्रदर्शन में महत्वपूर्ण लाभ है।
• हरित और पर्यावरण के अनुकूल, उच्च अंत विनिर्माण मानकों को पूरा करते हुएःपूरी प्रक्रिया उच्च वैक्यूम वातावरण में की जाती है, जिसमें एसिड और क्षार इलेक्ट्रोलाइट्स या रासायनिक एजेंटों की आवश्यकता नहीं होती है। इसमें केवल लक्ष्य सामग्री और बिजली की खपत होती है,बिना अपशिष्ट जल केइसके अतिरिक्त, माइक्रोवेव हीटिंग में उच्च दक्षता है (बिजली का उपयोग दर ≥ 60% के साथ), पारंपरिक बहु-आर्क उपकरण की तुलना में 15% से 25% ऊर्जा की बचत होती है,जो नई ऊर्जा और उच्च अंत विनिर्माण जैसे उद्योगों की हरित उत्पादन आवश्यकताओं को पूरा करता है.

माइक्रोवेव मल्टी-आर्क आयन कोटिंग उपकरण, "उच्च प्रदर्शन, कम तापमान और कम दोष" के अपने मुख्य लाभों के साथ, उच्च अंत औद्योगिक क्षेत्र में एक प्रमुख कोटिंग उपकरण बन गया है।विशिष्ट अनुप्रयोगों में शामिल हैं: