PVD Multi-arc Magnetron Sputtering Composite Coating Machine Vacuümmetalliseringsapparatuur

De technische kern van de microwave multi-arc ion plating apparatuur ligt in "microwave plasma collaborative multi-arc discharge", die de volgende unieke kenmerken heeft gevormd:

• Dual plasma bron synergie, dubbele versterking van de ionisatie snelheid en activiteitDe uitrusting bevat een "multi-arc kathodetalent" en een "microgolfplasmabron" (gewoonlijk een 2,45GHz-microgolfbron)..De reactie van het werkende gas (zoals N2, Ar, CH4, enz.) wordt door de microwave opgewekt om bijkomend plasma te genereren.de concentratie van actieve deeltjes (atomen, ionen, vrije radicalen) aanzienlijk is toegenomen, wat een basis vormt voor de dichte groei van de filmlaag.
•  
• De groeiomgeving van de filmlaag is controleerbaar en de structuur en prestaties zijn nauwkeurig geregeld.Door parameters zoals microgolfvermogen, meerboogstroom, vacuümgraad en biasspanning aan te passen, kunnen de plasma dichtheid, ionenenergie en het aandeel actieve deeltjes nauwkeurig worden gecontroleerd.Dit maakt het mogelijk om de filmlaagstructuur (zoals nanocristallijn, amorfe en meerlagige composietstructuren) en de prestaties (hardheid, taaiheid,en wrijvingscoëfficiënt), die voldoen aan de aangepaste eisen van verschillende scenario's.
• Lage temperatuur en hoog rendement in balans, geschikt voor warmtegevoelige substratenMicrowave plasma heeft "hoge activiteit bij lage temperaturen",een efficiënte coating mogelijk maken binnen het lage temperatuurbereik van 100-400°C (de temperatuur voor traditionele meerboogcoating is meestal 150-500°C)Bovendien kan het de energie verminderen die nodig is voor de verdamping van het doelmateriaal door middel van micromikrogolfassistentie, waardoor vervorming wordt voorkomen,vermindering van de hardheid of verslechtering van de microstructuur van het substraat als gevolg van hoge temperaturenHet is compatibel met warmtegevoelige werkstukken zoals hoog snelheidsstaal, precisielegeringen en polymeermaterialen.
• De filmlaag heeft weinig afwijkingen en een uitstekende oppervlaktekwaliteitHet "reinigende en activerende effect" van microgolfplasma kan de micro-oxidelaag en verontreinigende stoffen op het oppervlak van werkstukken effectief verwijderen. while suppressing the "Macroparticle" defects that are prone to occur during multi-arc discharge (reducing the deposition of macroparticles through the confinement and bombardment effects of microwave plasma)De uiteindelijk gevormde filmlaag is dicht en poriefrij, met een hoge oppervlakteafwerking (Ra ≤ 0,05 μm) en is geen latere polijstbehandeling vereist.
• Breed aanpassingsvermogen, compatibel met complexe werkstukken en meerlagige filmsystemenHet erfgoed van het multi-target materiaalontwerp van multi-boog-ionplating (2-8 kathodetargetten), kan worden aangepast aan enkelvoudige metaaldoelen, legeringsdoelen of composietdoelen,Het kan meerlaagse filmsystemen zoals eenlaagse films (TiN) bereiden.Het gebruik van de volgende methoden kan worden toegepast: - het opstellen van een beeldscherm, - het opstellen van een beeldscherm,Uniforme coating van complexe werkstukken zoals vlakken, gebogen oppervlakken, diepe gaten en kleine onderdelen kunnen worden bereikt.

In vergelijking met traditionele multi-arc ion plating apparatuur, magnetron sputtering apparatuur, enz.,Microwave multi-arc ion plating apparatuur heeft aanzienlijke prestatieverbeteringen en toepassingsvoordelen:

• De alomvattende prestaties van de filmlaag hebben een sprong verbeterd
  • Meer evenwichtige hardheid en taaiheid:De hardheid van de filmlaag kan HV2500-4500 bereiken (bijvoorbeeld de hardheid van TiAlN-film met micromicrowave-ondersteuning is ongeveer 3500-4000HV),met een vermogen van meer dan 10 W,, en de taaiheid is beter (breuktaaiheid KIC≥4,5 MPa · m1/2), waardoor het probleem van hardheid en breekbaarheid wordt vermeden.
  • Sterkere bindkracht:De ionen die door de microgolf worden geactiveerd, vormen een stabielere "metallurgisch-chemische composietbinding" met het oppervlak van het werkstuk.met een vermogen van meer dan 50 W,, en het is minder waarschijnlijk dat het verscheurt en scheurt.
  • Superieure weerstand tegen het milieu:The dense film layer structure and the uniform oxide layer formed with microwave assistance (such as the Al₂O₃ transition layer) significantly enhance its corrosion resistance (neutral salt spray test ≥1000 hours) and high-temperature resistance (TiAlN film can stably operate at 800-1000℃, 200°C hoger dan traditionele meerboogfilmlagen).
• laagtemperatuurcoating, die het toepassingsbereik van de substraten verruimt:De minimale coatingtemperatuur kan worden verlaagd tot onder de 100°C, waardoor het "aanpassingsprobleem" van de traditionele PVD-technologie voor warmtegevoelige substraten zoals polymeermaterialen wordt opgelost.elektronische precisiecomponentenHet kan bijvoorbeeld rechtstreeks worden gecoat op kunststofversnellingen, halfgeleiderchiphulzen en dunwandvormen zonder dat dit de oorspronkelijke prestaties van het substraat beïnvloedt.
• Een laag gebrekenpercentage en een hoog productkwalificatiepercentage:Het remmende effect van microgolfplasma op grote deeltjes vermindert het defectenpercentage van de filmlaag tot minder dan 0,1% (het defectenpercentage van traditionele meerboogfilmlagen is ongeveer 1%-3%),die vooral geschikt is voor hoogwaardige producten met strenge eisen aan de oppervlaktekwaliteit (zoals precisie-snijgereedschappen), luchtvaartonderdelen, elektronische componenten), waardoor het productie-kwalificatiepercentage aanzienlijk is verbeterd.
• Balance-efficiëntie en kosteneffectiviteit:Behoud van de hoge afzetsnelheid van multi-boog-ionplating (0,1-1,2 μm/min), die 3-5 keer sneller is dan magnetronsputtering, en er is geen noodzaak om de efficiëntie in de massaproductie op te offeren.Ondertussen..., de uitstekende filmlaagprestaties verlengen de levensduur van het werkstuk met 3 tot 15 keer (bijvoorbeeld de levensduur van precisievormen wordt met 5 tot 8 keer verlengd),vermindert de kosten van vervanging en onderhoud, en heeft een aanzienlijk kosteneffectief voordeel bij langdurig gebruik.
• Groen en milieuvriendelijk, met hoogwaardige productiestandaarden:Het gehele proces vindt plaats in een hoge vacuümomgeving, zonder dat er zuur- en alkalische elektrolyten of chemische middelen nodig zijn.zonder afvoer van afvalwaterBovendien heeft de microgolfverwarming een hoge efficiëntie (met een elektriciteitsverbruik van ≥ 60%), waardoor 15% tot 25% energie wordt bespaard in vergelijking met traditionele meerboogapparatuur.die voldoet aan de groene productievereisten van industrieën zoals nieuwe energie en high-end productie.

Microwave multi-arc ion coating apparatuur, met zijn kernvoordelen van "hoge prestaties, lage temperatuur en lage defecten", is een belangrijke coating apparatuur in de high-end industriële gebied geworden.Typische toepassingen zijn::