PVD মাল্টি-আর্ক ম্যাগনেট্রন স্পুটরিং কম্পোজিট কোটিং মেশিন ভ্যাকুয়াম ধাতুকরণ সরঞ্জাম

মাইক্রোওয়েভ মাল্টি-আর্ক আইওন প্লাটিং সরঞ্জামগুলির প্রযুক্তিগত কোরটি "মাইক্রোওয়েভ প্লাজমা সহযোগী মাল্টি-আর্ক স্রাব" এর মধ্যে রয়েছে, যা নিম্নলিখিত অনন্য বৈশিষ্ট্যগুলি গঠন করেছেঃ

• ডাবল প্লাজমা সোর্স সিনার্জি, আয়োনাইজেশন হার এবং কার্যকারিতা দ্বিগুণ বৃদ্ধিসরঞ্জামটি একটি "মাল্টি-আর্ক ক্যাথোড লক্ষ্য" এবং একটি "মাইক্রোওয়েভ প্লাজমা উত্স" (সাধারণত একটি 2.45GHz মাইক্রোওয়েভ উত্স) একীভূত করে। মাল্টি-আর্ক স্রাব লক্ষ্য উপাদান আয়ন (যেমন টিআই, সিআর, আল ইত্যাদি) সরবরাহ করে.), এবং মাইক্রোওয়েভ কাজ গ্যাস উত্তেজিত (যেমন N2, Ar, CH4, ইত্যাদি) অক্জিলিয়ারী প্লাজমা উত্পাদন করতে। দুইটির সুপারপোজিশনের পরে, প্লাজমার আয়োনাইজেশন হার 90% এরও বেশি পৌঁছতে পারে।সক্রিয় কণার ঘনত্ব (অ্যাটম), আয়ন, মুক্ত র্যাডিকাল) উল্লেখযোগ্যভাবে বৃদ্ধি পেয়েছে, যা ফিল্ম স্তরের ঘন বৃদ্ধির ভিত্তি প্রদান করে।
•  
• ফিল্ম স্তরের বৃদ্ধি পরিবেশ নিয়ন্ত্রণযোগ্য, এবং কাঠামো এবং কর্মক্ষমতা সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রিত হয়।মাইক্রোওয়েভ পাওয়ার, মাল্টি-আর্ক বর্তমান, ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি, এবং বিভাজন ভোল্টেজের মতো পরামিতিগুলি সামঞ্জস্য করে, প্লাজমা ঘনত্ব, আয়ন শক্তি, এবং সক্রিয় কণার অনুপাত সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে.এটি ফিল্ম স্তর কাঠামো (যেমন ন্যানোক্রাইস্টালিন, অ্যামোফাস এবং মাল্টি-স্তরযুক্ত কম্পোজিট কাঠামো) এবং কর্মক্ষমতা (কঠোরতা, দৃঢ়তা,এবং ঘর্ষণ সহগ), বিভিন্ন দৃশ্যের কাস্টমাইজড প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।
• নিম্ন তাপমাত্রা এবং উচ্চ দক্ষতা ভারসাম্য, তাপ সংবেদনশীল স্তর জন্য উপযুক্তমাইক্রোওয়েভ প্লাজমার বৈশিষ্ট্য "নিম্ন তাপমাত্রায় উচ্চ কার্যকারিতা",১০০-৪০০ ডিগ্রি সেলসিয়াস নিম্ন তাপমাত্রা পরিসরের মধ্যে কার্যকর লেপ সক্ষম করে (ঐতিহ্যবাহী মাল্টি-আর্ক লেপের জন্য তাপমাত্রা প্রায়শই ১৫০-৫০০ ডিগ্রি সেলসিয়াস)উপরন্তু, এটি মাইক্রোওয়েভ সহায়তার মাধ্যমে লক্ষ্য উপাদান বাষ্পীকরণের জন্য প্রয়োজনীয় শক্তি হ্রাস করতে পারে, বিকৃতি প্রতিরোধ করে,উচ্চ তাপমাত্রার কারণে স্তরটির কঠোরতা হ্রাস বা মাইক্রোস্ট্রাকচার অবনতিএটি উচ্চ গতির ইস্পাত, সুনির্দিষ্ট খাদ এবং পলিমার উপকরণগুলির মতো তাপ সংবেদনশীল ওয়ার্কপিসের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
• ফিল্ম স্তর কম ত্রুটি এবং চমৎকার পৃষ্ঠ মানের আছেমাইক্রোওয়েভ প্লাজমার "পরিষ্কার এবং সক্রিয়করণ" প্রভাব কার্যকরভাবে ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠের মাইক্রো-অক্সাইড স্তর এবং দূষণকারীগুলি অপসারণ করতে পারে, while suppressing the "Macroparticle" defects that are prone to occur during multi-arc discharge (reducing the deposition of macroparticles through the confinement and bombardment effects of microwave plasma)চূড়ান্তভাবে গঠিত ফিল্ম স্তরটি ঘন এবং খাঁজ মুক্ত, উচ্চ পৃষ্ঠের সমাপ্তি (Ra≤0.05μm), এবং পরবর্তী পলিশিং চিকিত্সার প্রয়োজন হয় না।
• ব্যাপক অভিযোজনযোগ্যতা, জটিল workpieces এবং মাল্টি-স্তর ফিল্ম সিস্টেমের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণমাল্টি-আর্ক আইওন প্লাটিংয়ের মাল্টি-টার্গেট উপাদান ডিজাইনের উত্তরাধিকারী (2-8 ক্যাথোড টার্গেট), এটি একক ধাতব টার্গেট, খাদ টার্গেট বা কম্পোজিট টার্গেটগুলির সাথে মেলে,এবং মাইক্রোওয়েভ-সহায়তা গ্যাস বিচ্ছিন্নতা ফাংশন সঙ্গে মিলিত এটি মাল্টি-স্তর ফিল্ম সিস্টেম যেমন এক-স্তর ফিল্ম (TiN) প্রস্তুত করতে পারেন, CrN), মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম (TiN/TiAlN), কম্পোজিট ফিল্ম (TiAlN/DLC), এবং গ্রেডিয়েন্ট ফিল্ম (Ti→TiN→TiAlN) । একই সময়ে, লক্ষ্য অবস্থান বিন্যাস এবং মাইক্রোওয়েভ ক্ষেত্র বন্টন অপ্টিমাইজ করার মাধ্যমে,প্লেনের মত জটিল আকৃতির workpieces এর অভিন্ন লেপ, বাঁকা পৃষ্ঠ, গভীর গর্ত, এবং ছোট অংশ অর্জন করা যেতে পারে।

ঐতিহ্যবাহী মাল্টি-আর্ক আইওন প্লাটিং সরঞ্জাম, ম্যাগনেট্রন স্পটারিং সরঞ্জাম ইত্যাদির তুলনায়,মাইক্রোওয়েভ মাল্টি-আর্ক আইওন প্লাটিং সরঞ্জামগুলির উল্লেখযোগ্য পারফরম্যান্স আপগ্রেড এবং অ্যাপ্লিকেশন সুবিধা রয়েছে:

• ফিল্ম স্তর ব্যাপক কর্মক্ষমতা একটি লাফ ফ্রেজ উন্নতি অর্জন করেছে
  • আরো ভারসাম্যপূর্ণ কঠোরতা এবং দৃঢ়তাঃফিল্ম স্তরটির কঠোরতা HV2500-4500 পর্যন্ত পৌঁছতে পারে (উদাহরণস্বরূপ, মাইক্রোওয়েভ সহকারী TiAlN ফিল্মের কঠোরতা প্রায় 3500-4000HV),যা ঐতিহ্যবাহী মাল্টি-আর্ক ফিল্ম স্তরগুলির তুলনায় ২০-৩০% বেশি, এবং শক্ততা ভাল (ভাঙ্গা শক্ততা KIC≥4.5MPa · m1/2), কঠিন এবং ভঙ্গুর সমস্যা এড়ানো।
  • শক্তিশালী সংযোগ শক্তিঃমাইক্রোওয়েভ দ্বারা সক্রিয় আয়নগুলি কাজের টুকরোটির পৃষ্ঠের সাথে একটি আরও স্থিতিশীল "ধাতুবিদ্যা-রাসায়নিক যৌগিক বন্ধন" গঠন করে। ফিল্ম স্তরটির আঠালো 40-80N পৌঁছতে পারে (স্ক্র্যাচ টেস্ট পদ্ধতি),যা ঐতিহ্যগত মাল্টি-আর্ক ফিল্ম স্তরের তুলনায় ৩০-৫০% বেশি, এবং এটি পিলিং এবং চিপিং ঘটনা কম সম্ভাবনা আছে।
  • পরিবেশগত প্রতিরোধের উচ্চতরঃThe dense film layer structure and the uniform oxide layer formed with microwave assistance (such as the Al₂O₃ transition layer) significantly enhance its corrosion resistance (neutral salt spray test ≥1000 hours) and high-temperature resistance (TiAlN film can stably operate at 800-1000℃ঐতিহ্যবাহী মাল্টি-আর্ক ফিল্ম স্তরগুলির তুলনায় 200 °C বেশি) ।
• নিম্ন তাপমাত্রা লেপ, স্তরগুলির অ্যাপ্লিকেশন পরিসীমা প্রসারিত করেঃন্যূনতম লেপ তাপমাত্রা 100°C এর নিচে হ্রাস করা যেতে পারে, যা পলিমার উপকরণগুলির মতো তাপ সংবেদনশীল স্তরগুলির জন্য ঐতিহ্যগত PVD প্রযুক্তির "অ্যাডাপশন সমস্যা" সমাধান করে,যথার্থ ইলেকট্রনিক উপাদানউদাহরণস্বরূপ, এটি সরাসরি প্লাস্টিকের গিয়ার, অর্ধপরিবাহী চিপ কেসিং এবং পাতলা দেয়ালের ছাঁচগুলিতে আবৃত করা যেতে পারে যা সাবস্ট্র্যাটের মূল কার্যকারিতাকে প্রভাবিত করে না।
• কম ত্রুটি এবং উচ্চ পণ্য যোগ্যতা হারঃবড় কণা উপর মাইক্রোওয়েভ প্লাজমার প্রতিরোধমূলক প্রভাব ফিল্ম স্তর ত্রুটি হার 0.1% এর নিচে হ্রাস (ঐতিহ্যবাহী মাল্টি-আর্ক ফিল্ম স্তর ত্রুটি হার প্রায় 1%-3% হয়),যা উচ্চমানের পণ্যগুলির জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত যা কঠোর পৃষ্ঠের গুণমানের প্রয়োজনীয়তা (যেমন যথার্থ কাটার সরঞ্জাম), বিমানের যন্ত্রাংশ, ইলেকট্রনিক উপাদান), উৎপাদন যোগ্যতা হার উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত।
• ভারসাম্য দক্ষতা এবং খরচ কার্যকারিতাঃমাল্টি-আর্ক আইওন প্লাটিংয়ের উচ্চ জমাট বাঁধার হার বজায় রাখুন (0.1-1.2μm/min), যা ম্যাগনেট্রন স্পটারিংয়ের তুলনায় 3-5 গুণ দ্রুত, এবং ভর উত্পাদনে দক্ষতা ত্যাগ করার দরকার নেই।এদিকে, চমৎকার ফিল্ম স্তর পারফরম্যান্স 3 থেকে 15 বার দ্বারা workpiece এর সেবা জীবন প্রসারিত (উদাহরণস্বরূপ, স্পষ্টতা ছাঁচনির্মাণের সেবা জীবন 5 থেকে 8 বার দ্বারা বৃদ্ধি করা হয়),প্রতিস্থাপন ও রক্ষণাবেক্ষণের খরচ কমানো, এবং দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারে ব্যয়-কার্যকারিতা উল্লেখযোগ্য সুবিধা আছে।
• সবুজ এবং পরিবেশ বান্ধব, উচ্চ মানের উত্পাদন মান পূরণঃপুরো প্রক্রিয়াটি উচ্চ শূন্যতা পরিবেশে সম্পন্ন হয়, অ্যাসিড এবং ক্ষারীয় ইলেক্ট্রোলাইট বা রাসায়নিক এজেন্টগুলির প্রয়োজন নেই। এটি কেবলমাত্র লক্ষ্য উপাদান এবং বিদ্যুৎ খরচ করে,অপচয়িত পানি ছাড়াইএছাড়াও, মাইক্রোওয়েভ গরম করার উচ্চ দক্ষতা রয়েছে (বিদ্যুতের ব্যবহারের হার ≥ 60%), ঐতিহ্যগত মাল্টি-আর্ক সরঞ্জামগুলির তুলনায় 15% থেকে 25% শক্তি সঞ্চয় করে,যা নতুন শক্তি এবং উচ্চ-শেষ উত্পাদন শিল্পের সবুজ উত্পাদন প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে.

মাইক্রোওয়েভ মাল্টি-আর্ক আয়ন লেপ সরঞ্জাম, "উচ্চ কর্মক্ষমতা, কম তাপমাত্রা এবং কম ত্রুটি" এর মূল সুবিধার সাথে, উচ্চ-শেষ শিল্প ক্ষেত্রে একটি মূল লেপ সরঞ্জাম হয়ে উঠেছে।সাধারণ অ্যাপ্লিকেশনগুলির মধ্যে রয়েছেঃ: