Máquina de revestimento composto por pulverização catódica magnetron multi-arco PVD, equipamento de metalização a vácuo

O núcleo técnico do equipamento de revestimento iônico multi-arco de microondas consiste na "descarga colaborativa multi-arco de plasma de microondas", que tem as seguintes características únicas:

• Sinergia de fonte de plasma dupla, duplo aumento da taxa e atividade de ionizaçãoO equipamento integra um "alvo de cátodo multi-arco" e uma "fonte de plasma de microondas" (comumente uma fonte de microondas de 2,45 GHz)..A concentração de ionização do plasma pode atingir mais de 90%. Além disso, a concentração de ionização do plasma pode variar de 1 a 2 vezes a partir de uma concentração de ionização de 1 a 2 vezes a média.a concentração de partículas activas (átomos, íons, radicais livres) aumentou significativamente, proporcionando uma base para o crescimento denso da camada de filme.
•  
• O ambiente de crescimento da camada de filme é controlado e a estrutura e o desempenho são regulados com precisão.Ao ajustar parâmetros como potência de microondas, corrente de arco múltiplo, grau de vácuo e tensão de distorção, a densidade do plasma, a energia dos íons e a proporção de partículas ativas podem ser controladas com precisão.Isto permite a otimização direccionada da estrutura da camada do filme (tais como estruturas nanocristalinas, amorfas e compostas de várias camadas) e desempenho (dureza, resistência,e coeficiente de atrito), satisfazendo os requisitos personalizados de diferentes cenários.
• Baixa temperatura e elevada eficiência em equilíbrio, adequada para substratos sensíveis ao calorO plasma de microondas apresenta "alta atividade a baixas temperaturas",permitindo um revestimento eficiente na faixa de baixas temperaturas de 100-400°C (a temperatura para o revestimento multi-arco tradicional é principalmente de 150-500°C)Além disso, pode reduzir a energia necessária para a evaporação do material alvo através de assistência de microondas, evitando a deformação,Redução da dureza ou deterioração da microestrutura do substrato devido a altas temperaturasÉ compatível com peças sensíveis ao calor, tais como aço de alta velocidade, ligas de precisão e materiais poliméricos.
• A camada de filme tem poucos defeitos e excelente qualidade de superfícieO efeito de "limpeza e activação" do plasma de microondas pode efetivamente remover a camada de microóxido e os contaminantes na superfície das peças de trabalho, while suppressing the "Macroparticle" defects that are prone to occur during multi-arc discharge (reducing the deposition of macroparticles through the confinement and bombardment effects of microwave plasma)A camada de filme final formada é densa e livre de poros, com um acabamento de superfície elevado (Ra≤ 0,05 μm), e não é necessário tratamento de polimento subsequente.
• Ampla adaptabilidade, compatível com peças de trabalho complexas e sistemas de película de várias camadasHerdando o projeto de material multialvo do revestimento iônico multi-arco (2-8 alvos catódicos), pode ser combinado com alvos de metal único, alvos de liga ou alvos compostos,e combinado com a função de dissociação de gás assistida por micro-ondas Pode preparar sistemas de filmes de várias camadas, como filmes de camada única (TiN), CrN), filmes multicamadas (TiN/TiAlN), filmes compostos (TiAlN/DLC) e filmes de gradiente (Ti→TiN→TiAlN).revestimento uniforme de peças de trabalho de forma complexa, tais como planos, superfícies curvas, buracos profundos e peças pequenas podem ser alcançados.

Em comparação com os equipamentos tradicionais de revestimento iônico multi-arco, equipamentos de pulverização por magnetrão, etc.,O equipamento de revestimento de iões de arco múltiplo de microondas tem melhorias significativas de desempenho e vantagens de aplicação:

• O desempenho global da camada de filme alcançou uma melhoria de salto
  • Dureza e resistência mais equilibradas:A dureza da camada de filme pode atingir HV2500-4500 (por exemplo, a dureza da película de TiAlN assistida por microondas é de cerca de 3500-4000HV),que é 20% a 30% superior à das tradicionais camadas de filme multi-arco, e a dureza é melhor (dureza à fractura KIC≥4,5 MPa · m1/2), evitando o problema de ser duro e frágil.
  • Força de ligação mais forte:Os íons ativados pelo microondas formam uma "ligação composta metalúrgica-química" mais estável com a superfície da peça de trabalho.que é 30% a 50% superior à camada de filme multi-arco tradicional, e é menos provável que tenha fenômenos de descascamento e descascamento.
  • Resistência ambiental superior:The dense film layer structure and the uniform oxide layer formed with microwave assistance (such as the Al₂O₃ transition layer) significantly enhance its corrosion resistance (neutral salt spray test ≥1000 hours) and high-temperature resistance (TiAlN film can stably operate at 800-1000℃, 200°C mais elevadas do que as tradicionais camadas de filme multi-arco).
• Revestimento a baixa temperatura, alargando a gama de aplicações dos substratos:A temperatura mínima de revestimento pode ser reduzida para menos de 100°C, resolvendo o "problema de adaptação" da tecnologia PVD tradicional para substratos sensíveis ao calor, como materiais poliméricos,componentes eletrónicos de precisãoPor exemplo, pode ser diretamente revestido em engrenagens de plástico, carcaças de chips de semicondutores e moldes de parede fina sem afetar o desempenho original do substrato.
• Baixa taxa de defeitos e elevada taxa de qualificação do produto:O efeito inibitório do plasma de microondas sobre as grandes partículas reduz a taxa de defeito da camada de filme para menos de 0,1% (a taxa de defeito das camadas tradicionais de filme multi-arco é de cerca de 1% a 3%),que é particularmente adequado para produtos de ponta com requisitos rigorosos de qualidade da superfície (como ferramentas de corte de precisão, peças de aviação, componentes eletrónicos), melhorando significativamente a taxa de qualificação da produção.
• Equilíbrio entre eficiência e relação custo-eficácia:Manter a elevada taxa de deposição do revestimento iônico multi-arco (0,1-1,2 μm/min), que é 3-5 vezes mais rápida do que a pulverização por magnetrão, e não há necessidade de sacrificar a eficiência na produção em massa.Entretanto..., o excelente desempenho da camada de filme prolonga a vida útil da peça de trabalho de 3 a 15 vezes (por exemplo, a vida útil dos moldes de precisão é aumentada de 5 a 8 vezes),reduz os custos de substituição e manutenção, e tem uma vantagem significativa em termos de custo-eficácia na utilização a longo prazo.
• Verde e ecológico, que satisfaz os mais elevados padrões de fabrico:Todo o processo é realizado num ambiente de vácuo elevado, sem necessidade de eletrólitos ácidos e alcalinos ou agentes químicos.sem descarga de águas residuaisAlém disso, o aquecimento por micro-ondas tem uma elevada eficiência (com uma taxa de utilização da electricidade de ≥ 60%), poupando 15% a 25% de energia em comparação com os equipamentos tradicionais multi-arco,que satisfaça os requisitos de produção ecológica de indústrias como a nova energia e a manufatura de ponta.

Os equipamentos de revestimento de íons multi-arco de microondas, com suas principais vantagens de "alto desempenho, baixa temperatura e baixo defeito", tornaram-se um equipamento de revestimento chave no campo industrial de ponta.As aplicações típicas incluem::