Perahu evaporasi adalah bahan habis pakai utama dalam lapisan evaporasi yang dipanaskan dengan ketahanan, dan kondisinya secara langsung mempengaruhi kemurnian dan keseragaman film. Perahu evaporasi berulang kali dipanaskan dan didinginkan pada suhu tinggi, yang menyebabkan tekanan termal dan migrasi material, sehingga membatasi masa pakainya.
Bahan untuk perahu evaporasi biasanya terbuat dari logam atau keramik dengan titik leleh tinggi, seperti molibdenum, tantalum, atau boron nitrida. Perahu molibdenum bagus untuk menguapkan logam dengan titik leleh rendah seperti aluminium dan perak, menawarkan konduktivitas termal yang baik dan ketahanan terhadap guncangan termal. Perahu Tantalum dapat menangani suhu yang lebih tinggi, sehingga cocok untuk menguapkan logam mulia seperti emas dan platinum, meskipun harganya cukup mahal. Perahu boron nitrida adalah keramik komposit yang tidak mencemari bahan pelapis dan ideal untuk menguapkan bahan dielektrik dalam pelapis optik. Operator perlu memilih jenis kapal evaporasi yang tepat berdasarkan bahan pelapisnya, karena pemilihan jenis kapal evaporasi yang salah dapat menyebabkan tingkat penguapan yang tidak stabil atau kerusakan kapal lebih awal.
Sebelum menggunakan kapal evaporasi untuk pertama kali, perlu melalui proses pra-peleburan. Tempatkan bahan film di dalam perahu dan panaskan secara perlahan dalam lingkungan vakum sehingga bahan tersebut meleleh dan gas atau kotoran yang terserap terlepas. Selama proses pra-peleburan, operator harus memperhatikan bagaimana material meleleh dan memperhatikan percikan apa pun. Percikan biasanya menunjukkan bahwa bahan tersebut mengandung uap air atau kotoran dengan titik didih rendah, sehingga Anda mungkin perlu memperpanjang waktu pra-peleburan atau mengganti bahan tersebut.
Selama penggunaan, arus pemanasan kapal evaporasi harus ditingkatkan secara bertahap, tidak diatur langsung ke arus kerja. Menaikkan arus terlalu cepat dapat menyebabkan sengatan panas dan membuat perahu retak. Operator harus mengikuti prinsip pemanasan lambat, terutama pada beberapa pelapisan pertama setelah penggantian dengan perahu baru, untuk memberikan kesempatan penyesuaian. Setelah bahan melebur seluruhnya ke dalam kolam lelehan yang seragam dan mulai menguap terus-menerus, pertahankan arus tetap konstan.
Umur kapal evaporasi dipengaruhi oleh jumlah bahan pelapis. Jika terlalu banyak material yang dimuat, kolam cair dapat meluap ke tepi perahu dan menetes ke dasar, sehingga menyebabkan korsleting. Jika jumlahnya terlalu sedikit, perahu itu sendiri akan terkena suhu tinggi secara langsung, sehingga mempercepat oksidasi. Setiap kali Anda memuat material, muatannya harus dalam jumlah sedang, sehingga genangan cair mencapai sekitar dua pertiga kedalaman perahu. Jika bahan di dalamnya turun di bawah sepertiganya, bahan tersebut perlu diisi ulang atau diganti.
Untuk mengetahui apakah perahu evaporasi perlu diganti, Anda dapat memeriksa tampilan dan sifat kelistrikannya. Perahu baru memiliki permukaan halus dengan kilau metalik. Setelah digunakan beberapa kali, permukaan mungkin menunjukkan warna oksidasi atau retakan kecil, yang merupakan penuaan normal. Jika perahu mengalami retakan, lengkungan, atau penipisan lokal, perahu harus diganti. Selain itu, jika tingkat pelapisan turun drastis sementara arus tetap sama, efisiensi pemanasan kapal kemungkinan besar menurun, yang juga bisa menjadi tanda bahwa kapal perlu diganti.
Saat mengganti perahu evaporasi, operator harus mematikan daya pemanas terlebih dahulu dan menunggu hingga perahu mendingin hingga mencapai suhu kamar. Menghapusnya saat masih panas dapat meningkatkan oksidasi dan mungkin juga membakar operator. Sebelum menggantinya, bersihkan chuck elektroda, hilangkan oksida dan sisa bahan film untuk memastikan kontak yang baik antara perahu baru dan elektroda. Setelah memasang perahu baru, lakukan uji coba terlebih dahulu (tanpa memasukkan bahan film apa pun) untuk memeriksa apakah arusnya stabil, dan baru mulai menggunakannya setelah semuanya terlihat normal.
Catat jumlah penggunaan dan total waktu untuk setiap perahu evaporasi. Hal ini membantu memprediksi kapan perlu diganti dan mencegah gangguan proses akibat pecahnya kapal selama pelapisan produk penting.
