蒸発ボートは抵抗加熱蒸発コーティングの主要な消費品であり,その状態はフィルムの純度と均一性に直接影響します.蒸発 ボート は 高温 で 繰り返し 暖か れ 冷却 さ れ ます熱圧と材料の移動を 引き起こし,寿命を制限します
蒸発ボートの材料は,通常,高溶融点金属や陶器,例えばモリブデン,タンタル,またはボロンナイトリッドである.モリブデンボートはアルミニウムや銀のような低溶融点金属を蒸発するのに良いですタンタルムボートはさらに高温に対応し,金やプラチナなどの貴金属を蒸発するのに適しています.値段はかなり高いけどねボロンナイトライドボートは,コーティング材料を汚染しない複合陶器で,光学コーティングにおける電解材料を蒸発するのに最適です.操作者は,コーティング材料に基づいて蒸発ボートの正しいタイプを選択する必要があります誤ったボートを選ぶと 不安定な蒸発率や早速ボートの破裂が起こるからです
蒸発ボートを初めて使用する前に 溶融を要しますフィルム素材をボートに置き,ゆっくりと真空環境で熱して,材料が溶け,吸収されたガスや不純物が放出されるように溶融前処理中に,操作者は材料の溶融を観察し, eventual splashing に注意する必要があります.噴水 は,通常,材料 に 湿度 や 低沸点 の 汚れ が ある こと を 示す材料を交換する必要があります. 材料の溶融は,
使用中に蒸発ボートの加熱電流は,作業電流に直接設定されず,徐々に増加すべきである.流れ を 速すぎ に 上げ たら,熱 ショック を 引き起こし,ボート が 破裂 する操作者は,特に新しいボートに置き換えた後の最初の数回のコーティング中に,ゆっくりと加熱する原則に従うべきです.材料が均質な溶融池に完全に溶け込み 徐々に蒸発し始めると流れを一定に保つ
蒸発船 の 寿命 は 塗装 材料 の 量 に よっ て 影響 さ れ ます.もし 材料 が 過剰 に 積もら れ て いる なら,溶けた 池 は 船 の 縁 を 溢れ出し,底 に 滴っ て しまう こと が あり ます.ショートサーキットを起こす低すぎるとボート自体も 高温にさらされ 酸化が加速します溶けた池はボートの深さの3分の2に達します材料が3分の"以下になると 補充または交換する必要があります
蒸発ボートの交換が必要かどうかを判断するには,その外観と電気特性を確認することができます.新しいボートは,金属の輝きで滑らかな表面を持っています.数回使用した後,表面には酸化色や小さな裂け目があるまた,電流が変わらない間,コーティングの速度が著しく低下すると,船の加熱効率が低下した可能性があります置き換える必要があるという兆候かもしれません
蒸発ボートを交換する際には,操作者はまず暖房電源を切断し,ボートが室温まで冷却するまで待つ必要があります.熱い状態で取り除くと 酸化が増加し 操作者も焼かれるかもしれません新しいボートと電極との間に良い接触を確保するために,オキシードと残ったフィルム材料を削除し,新しいボートを設置した後,ドライラン (フィルム材料を入れずに) を行い,電流が安定しているかどうかを確認します.全てが正常に見えたら 使い始めます
各蒸発ボートの使用数と合計時間を記録する.重要な製品のコーティング中にボートの破裂によるプロセス中断を防ぐ.
