Паровозные лодки являются ключевыми расходными материалами в сопротивляемо-нагреваемом паровом покрытии, и их состояние напрямую влияет на чистоту и однородность пленки.Паровозные лодки неоднократно нагреваются и охлаждаются при высоких температурах, что вызывает тепловое напряжение и миграцию материала, ограничивая их срок службы.
Материалы для паровых лодок обычно высокоплавкие металлы или керамика, такие как молибден, тантал или нитрид бора.Молибденовые лодки хороши для испарения металлов с низкой температурой плавления, таких как алюминий и серебро.Тантальные катера способны выдерживать даже более высокие температуры, что делает их подходящими для испарения драгоценных металлов, таких как золото и платина.Хотя они довольно дорогие.Боровые нитридные лодки представляют собой композитную керамику, которая не загрязняет материал покрытия и идеально подходит для испарения диэлектрических материалов в оптических покрытиях.Операторы должны выбрать правильный тип испарения лодки на основе материала покрытия, потому что выбор неправильного может привести к нестабильным скоростям испарения или раннему повреждению лодки.
Перед тем, как использовать испаряющую лодку впервые, она должна пройти процесс предварительного плавления.Поместите пленку в лодку и медленно нагревайте ее в вакуумной среде, чтобы материал растаял и выпустили любые поглощенные газы или примесиВо время предварительного плавления операторы должны следить за тем, как материал плавится, и обращать внимание на любые брызги.Плески обычно указывают на то, что материал содержит влагу или примеси с низкой температурой кипения, так что вам может понадобиться продлить время предварительного плавления или заменить материал.
Во время использования нагревательный ток испаряющей лодки должен увеличиваться постепенно, а не устанавливаться непосредственно на рабочий ток.Слишком быстрый подъем течения может вызвать тепловой шок и трещины в лодкеОператоры должны следовать принципу медленного нагрева, особенно в течение первых нескольких покрытий после замены на новую лодку, чтобы дать ей возможность приспособиться.Как только материал полностью расплавится в равномерном бассейне расплавления и начнет постепенно испаряться, поддерживайте постоянный ток.
Если загрузить слишком много материала, расплавленный бассейн может перевалить по краям лодки и капать на дно.вызывает короткое замыканиеЕсли слишком мало, сама лодка подвергается воздействию высоких температур, что ускоряет окисление.так что расплавленный бассейн достигает около двух третей глубины лодкиКогда материал внутри опускается ниже одной трети, его нужно заполнить или заменить.
Чтобы определить, нужно ли заменять испарительную лодку, можно проверить ее внешний вид и электрические свойства.на поверхности может проявляться окисление или крошечные трещиныЕсли у лодки появятся трещины, деформация или местное истончение, ее следует заменить.эффективность отопления лодки, вероятно, снизилась, что также может быть признаком того, что его нужно заменить.
При замене испаряющей лодки оператору необходимо сначала отключить отопительную мощность и дождаться, пока лодка остынет до комнатной температуры.Удаление его, пока он горячий может увеличить окисление и может также сжечь оператора. Перед заменой очистите электродный циркулятор, удалите оксиды и остатки пленочного материала, чтобы обеспечить хороший контакт между новой лодкой и электродом.Сначала проделайте сухой пробег (без добавления каких-либо пленочных материалов), чтобы проверить, стабилен ли ток., и начинать использовать его только тогда, когда все будет выглядеть нормально.
Проводить учет количества использований и общего времени для каждой испаряющей лодки.Это помогает предсказать, когда он должен быть заменен и предотвращает прерывания процесса из-за лодки повреждения во время покрытия важных продуктов.
