증발 보트는 저항 가열 증발 코팅의 핵심 소모품이며, 그 상태는 필름의 순도와 균일성에 직접적인 영향을 미칩니다. 증발 보트는 고온에서 반복적으로 가열 및 냉각되므로 열 응력과 재료 이동이 발생하여 수명이 제한됩니다.
증발 보트의 재료는 일반적으로 몰리브덴, 탄탈륨 또는 질화붕소와 같은 고융점 금속 또는 세라믹입니다. 몰리브덴 보트는 알루미늄, 은과 같은 저융점 금속을 증발시키는 데 적합하며 우수한 열 전도성과 열충격에 대한 저항성을 제공합니다. 탄탈륨 보트는 훨씬 더 높은 온도를 처리하므로 금, 백금과 같은 귀금속을 증발시키는 데 적합하지만 꽤 비쌉니다. 질화붕소 보트는 코팅 재료를 오염시키지 않는 복합 세라믹이며 광학 코팅의 유전체 재료를 증발시키는 데 이상적입니다. 작업자는 코팅 재료에 따라 올바른 유형의 증발 보트를 선택해야 합니다. 잘못된 유형을 선택하면 증발 속도가 불안정하거나 보트가 조기 파손될 수 있기 때문입니다.
증발보트를 처음 사용하기 전, 사전 용융 과정을 거쳐야 합니다. 필름 재료를 보트에 넣고 진공 환경에서 천천히 가열하여 재료가 녹고 흡수된 가스나 불순물이 배출되도록 합니다. 사전 용융 과정에서 작업자는 재료가 어떻게 녹는지 관찰하고 튀는 것에 주의해야 합니다. 튀는 현상은 일반적으로 재료에 수분이나 끓는점이 낮은 불순물이 포함되어 있음을 나타내므로 사전 용융 시간을 연장하거나 재료를 교체해야 할 수도 있습니다.
사용 중에 증발 보트의 가열 전류는 작동 전류에 직접 설정되지 않고 점차적으로 증가해야 합니다. 전류를 너무 빨리 높이면 열 충격이 발생하고 보트가 깨질 수 있습니다. 작업자는 특히 새 보트로 교체한 후 처음 몇 번의 코팅 동안 조정 기회를 주기 위해 천천히 가열하는 원칙을 따라야 합니다. 재료가 균일한 용융 풀로 완전히 녹아서 꾸준히 증발하기 시작하면 전류를 일정하게 유지합니다.
증발보트의 수명은 코팅재의 양에 따라 영향을 받습니다. 재료를 너무 많이 적재하면 용융된 풀이 보트 가장자리를 넘어 바닥으로 떨어져 단락을 일으킬 수 있습니다. 너무 적으면 보트 자체가 고온에 직접 노출되어 산화가 가속화됩니다. 재료를 적재할 때마다 녹은 풀이 보트 깊이의 약 2/3에 도달할 수 있도록 적당한 양이어야 합니다. 내부 재료가 1/3 이하로 떨어지면 다시 채우거나 교체해야 합니다.
증발 보트를 교체해야 하는지 알아보려면 외관과 전기적 특성을 확인하면 됩니다. 새 보트는 금속 광택이 나는 매끄러운 표면을 가지고 있습니다. 몇 번 사용하면 표면에 산화색이나 작은 균열이 나타날 수 있으며 이는 정상적인 노화 현상입니다. 보트에 균열이 생기거나 휘어지거나 국부적으로 얇아지는 현상이 나타나면 교체해야 합니다. 또한 전류는 그대로인데 코팅률이 눈에 띄게 떨어지면 보트의 가열 효율이 떨어졌을 가능성이 높으며 이는 보트 교체가 필요하다는 신호일 수도 있습니다.
증발 보트를 변경할 때 작업자는 먼저 가열 전력을 차단하고 보트가 실온으로 냉각될 때까지 기다려야 합니다. 뜨거울 때 제거하면 산화가 증가하고 작업자가 화상을 입을 수도 있습니다. 교체하기 전에 전극 척을 청소하고 산화물과 남은 필름 재료를 제거하여 새 보트와 전극 사이의 접촉이 양호하도록 하십시오. 새 보트를 설치한 후 먼저 드라이 런(필름 재료를 넣지 않고)을 하여 전류가 안정적인지 확인하고 모든 것이 정상으로 보일 때에만 사용을 시작하십시오.
각 증발 보트의 사용 횟수와 총 시간을 기록해 두십시오. 이를 통해 교체가 필요한 시점을 예측하고 중요한 제품 코팅 중 보트 파손으로 인한 공정 중단을 방지할 수 있습니다.
