Buharlama botları, dirençli ısıtılan buharlama kaplamasında kilit tüketim malzemeleridir ve durumları filmin saflığını ve tekilliğini doğrudan etkiler.Buharlama tekneleri yüksek sıcaklıklarda tekrar tekrar ısıtılır ve soğutulur, bu da termal stres ve malzeme göçüne neden olur ve ömrünü sınırlandırır.
Buharlama teknelerinin malzemeleri genellikle yüksek erime noktasına sahip metaller veya molibden, tantalyum veya bor nitrit gibi seramiklerdir.Molibden tekneleri alüminyum ve gümüş gibi düşük erime noktası olan metalleri buharlaştırmak için iyidir., iyi ısı iletkenliği ve ısı şoklarına direnç sunar. Tantalum tekneler daha yüksek sıcaklıklara dayanır, böylece altın ve platin gibi değerli metallerin buharlaşması için uygundur.Ama oldukça pahalılar.Bor nitrit tekneleri, kaplama malzemesini kirletmeyen ve optik kaplamalardaki dielektrik malzemeleri buharlaştırmak için idealdir.Operatörlerin kaplama malzemesine göre doğru buharlaşma teknesi türünü seçmeleri gerekir., çünkü yanlış olanı seçmek dengesiz buharlaşma oranlarına veya erken tekne kırılmasına yol açabilir.
Buharlaştırma teknesini ilk kez kullanmadan önce, önceden erime işleminden geçmesi gerekir.Film malzemesini tekneye koyun ve yavaşça bir vakum ortamında ısıtın, böylece malzeme erir ve emilen tüm gazlar veya kirlilikler serbest bırakılırÖn erime sürecinde, operatörler malzemenin nasıl eridiğini izlemeli ve herhangi bir sıçramaya dikkat etmelidir.Çöplükler genellikle malzemenin nem veya düşük kaynama noktasında kirlilik içerdiğini gösterir, bu yüzden erime süresini uzatmanız ya da malzemeyi değiştirmeniz gerekebilir.
Kullanım sırasında, buharlaştırma teknesinin ısıtma akımı doğrudan çalışma akımına ayarlanmamalı, yavaş yavaş artırılmalıdır.Akım çok hızlı yükseltildiğinde, ısı şokuna neden olabilir ve tekne kırılabilir.Operatörler, özellikle yeni bir tekneyle değiştirildikten sonra ilk birkaç kaplama sırasında yavaş ısınma ilkesine uyulmalı, böylece ayarlanma şansı verilmelidir.Malzeme tam olarak tek bir erime havuzuna eridiğinde ve yavaş yavaş buharlaşmaya başladığında, akımın sabit olmasını sağlayın.
Bir buharlaştırma teknesinin ömrü kaplama malzemesinin miktarına bağlıdır. Çok fazla malzeme yüklenirse, erimiş havuz teknenin kenarlarını aşıp dibine damlayabilir,Kısa devreye neden oluyor.Eğer çok az varsa, teknenin kendisi yüksek sıcaklıklara maruz kalır ve oksidasyon hızlanır.Böylece erimiş havuz teknenin derinliğinin yaklaşık üçte ikisine ulaşır.İçindeki malzeme üçte birinin altına düştüğünde, yeniden doldurulması veya değiştirilmesi gerekir.
Bir buharlaştırma teknesinin değiştirilmesi gerektiğini anlamak için, görünümünü ve elektrik özelliklerini kontrol edebilirsiniz.yüzeyde oksidasyon renkleri veya küçük çatlaklar olabilir.Ayrıca, eğer kaplama hızı belirgin bir şekilde düşerse ve akım aynı kalırsa, tekneye yeni bir kaplama yapılması gerekir.Teknenin ısıtma verimliliği muhtemelen düşmüştür.Bu da onun değiştirilmesi gerektiğinin bir işareti olabilir.
Buharlandırma teknesini değiştirirken, operatörün önce ısıtma gücünü kesmesi ve teknenin oda sıcaklığına soğumasını beklemesi gerekir.Sıcakken çıkarmak oksidasyonu artırabilir ve operatörü de yakabilir.. değiştirmeden önce, elektrot çak temizlemek, yeni tekne ile elektrot arasında iyi bir temas sağlamak için herhangi bir oksit ve kalan film malzeme kaldırmak.Akımın istikrarlı olup olmadığını kontrol etmek için önce kuru çalıştırmak (herhangi bir film malzemesi koymadan)Her şey normal görünce kullanmaya başlayın.
Her bir buharlaştırma teknesi için kullanım sayısını ve toplam süreyi kaydet.Bu ne zaman değiştirilmesi gerektiğini tahmin etmeye yardımcı olur ve önemli ürünlerin kaplama sırasında bot kırılması nedeniyle süreç kesintileri önler.
