Guangdong Zhongda Vacuum Equipment Co., Ltd.
+8613751829733
Tin tức công ty mới nhất về Tuổi thọ và thay thế các tàu bốc hơi trong thiết bị lớp phủ chân không

July 17, 2026

Tuổi thọ và thay thế các tàu bốc hơi trong thiết bị lớp phủ chân không

Thuyền bay hơi là vật tư tiêu hao chính trong lớp phủ bay hơi được làm nóng bằng điện trở và tình trạng của chúng ảnh hưởng trực tiếp đến độ tinh khiết và tính đồng nhất của màng. Thuyền bay hơi được làm nóng và làm mát nhiều lần ở nhiệt độ cao, gây ra ứng suất nhiệt và di chuyển vật liệu, hạn chế tuổi thọ của chúng.

Vật liệu làm thuyền bay hơi thường là kim loại hoặc gốm có nhiệt độ nóng chảy cao, như molypden, tantalum hoặc boron nitrit. Thuyền molypden rất tốt để làm bay hơi các kim loại có nhiệt độ nóng chảy thấp như nhôm và bạc, mang lại tính dẫn nhiệt tốt và khả năng chống sốc nhiệt. Thuyền tantali thậm chí còn chịu được nhiệt độ cao hơn, khiến chúng thích hợp để làm bay hơi các kim loại quý như vàng và bạch kim, mặc dù chúng khá đắt tiền. Thuyền Boron nitride là gốm composite không làm nhiễm bẩn vật liệu phủ và lý tưởng để làm bay hơi vật liệu điện môi trong lớp phủ quang học. Người vận hành cần phải lựa chọn loại thuyền bay hơi phù hợp dựa trên vật liệu phủ, vì chọn sai loại có thể dẫn đến tốc độ bay hơi không ổn định hoặc gãy thuyền sớm.

Trước khi sử dụng thuyền bay hơi lần đầu tiên, nó cần phải trải qua quá trình nấu chảy trước. Đặt vật liệu màng vào thuyền và làm nóng từ từ trong môi trường chân không để vật liệu tan chảy và mọi khí hoặc tạp chất được hấp thụ sẽ được giải phóng. Trong quá trình nấu chảy trước, người vận hành nên quan sát cách vật liệu tan chảy và chú ý đến bất kỳ sự bắn tung tóe nào. Các vết bắn tung tóe thường cho thấy vật liệu có chứa độ ẩm hoặc tạp chất có nhiệt độ sôi thấp, do đó bạn có thể cần kéo dài thời gian nấu chảy trước hoặc thay thế vật liệu.

Trong quá trình sử dụng, nên tăng dần dòng nhiệt của thuyền bay hơi, không đặt trực tiếp vào dòng điện làm việc. Tăng dòng điện quá nhanh có thể gây sốc nhiệt và làm nứt thuyền. Người vận hành nên tuân theo nguyên tắc làm nóng chậm, đặc biệt là trong vài lớp phủ đầu tiên sau khi thay thuyền mới, để có cơ hội điều chỉnh. Khi vật liệu đã tan chảy hoàn toàn thành một bể tan chảy đồng nhất và bắt đầu bay hơi đều đặn, hãy giữ dòng điện không đổi.

Tuổi thọ của thuyền bay hơi bị ảnh hưởng bởi lượng vật liệu phủ. Nếu chất quá nhiều vật liệu, bể nóng chảy có thể tràn ra mép thuyền và nhỏ giọt xuống đáy, gây đoản mạch. Nếu có quá ít, bản thân thuyền sẽ tiếp xúc trực tiếp với nhiệt độ cao, đẩy nhanh quá trình oxy hóa. Mỗi lần nạp vật liệu nên ở mức vừa phải để vũng nóng chảy đạt khoảng 2/3 độ sâu của thuyền. Khi vật liệu bên trong giảm xuống dưới 1/3 thì cần phải nạp lại hoặc thay thế.

Để biết liệu thuyền bay hơi có cần được thay thế hay không, bạn có thể kiểm tra hình thức bên ngoài và đặc tính điện của nó. Một chiếc thuyền mới có bề mặt nhẵn, có ánh kim loại. Sau khi sử dụng một vài lần, bề mặt có thể xuất hiện màu oxy hóa hoặc các vết nứt nhỏ, đó là hiện tượng lão hóa bình thường. Khi thuyền xuất hiện các vết nứt, cong vênh hoặc mỏng cục bộ thì cần thay thế. Ngoài ra, nếu tốc độ phủ giảm đáng kể trong khi dòng điện vẫn giữ nguyên thì hiệu suất sưởi ấm của thuyền có thể đã giảm, đây cũng có thể là dấu hiệu cho thấy nó cần được thay thế.

Khi thay đổi thuyền bay hơi, trước tiên người vận hành cần cắt nguồn điện sưởi ấm và đợi thuyền nguội đến nhiệt độ phòng. Loại bỏ nó khi nó còn nóng có thể làm tăng quá trình oxy hóa và cũng có thể làm bỏng người vận hành. Trước khi thay thế, hãy làm sạch mâm cặp điện cực, loại bỏ mọi oxit và vật liệu màng còn sót lại để đảm bảo tiếp xúc tốt giữa thuyền mới và điện cực. Sau khi lắp thuyền mới, trước tiên hãy chạy khô (không cho bất kỳ vật liệu màng nào vào) để kiểm tra xem dòng điện có ổn định hay không và chỉ bắt đầu sử dụng khi mọi thứ trông bình thường.

Ghi lại số lần sử dụng và tổng thời gian cho mỗi thuyền bay hơi. Điều này giúp dự đoán khi nào cần thay thế và ngăn chặn sự gián đoạn quy trình do vỡ thuyền trong quá trình phủ các sản phẩm quan trọng.