Εξάτμιση ηλεκτρονικής ακτίνας έναντι ψεκασμού μαγνητρών για οπτικές επίστρωσεις: Συγκριτική ανάλυση

Ι. Σύνοψη βασικών αρχών

1.Εξάτμιση ηλεκτρικής ακτίνας

Χρησιμοποιεί ακτίνες ηλεκτρονίων υψηλής ενέργειας για να βομβαρδίζει τα υλικά-στόχους, μετατρέποντας την κινητική ενέργεια σε θερμική ενέργεια για να λιώσει ή να υποβαθμίσει τον στόχο.Τα αέρια άτομα συμπυκνώνονται στην επιφάνεια του υποστρώματος για να σχηματίσουν λεπτές ταινίεςΜια διαδικασία "θερμικής εναπόθεσης με εξατμίωση", χρησιμοποιεί χύδην στόχους όπως τα καθαρά μέταλλα και τα οξείδια.

2.Επικαιροποίηση του ηλεκτρονικού εξοπλισμού

Χρησιμοποιεί ηλεκτρικά πεδία RF/DC για να ιονίζει αδρανή αέρια (π.χ. Ar) σε πλάσμα.Οι σύνθετες ταινίες μπορούν να επιτευχθούν μέσω "αντιδραστικής ψεκασμού" (εισαγωγή O2, N2), χρησιμοποιώντας στόχους χύδην ή φύλλων από κράμα/σύνθετα.

ΙΙ. Σύγκριση βασικών επιδόσεων (για τις οπτικές επικάλυψεις)

ΙΙΙ. Σενάρια εφαρμογής

Εξάτμιση ηλεκτρικής ακτίνας

•Μικρές έως μεσαίες παρτίδες παραγωγής: Εργαστηριακή έρευνα και ανάπτυξη, εξατομικευμένα οπτικά εξαρτήματα (αντιαντανεκτικές επικάλυψεις φακών, φίλτρα στενής ζώνης).

•Καθαρές ταινίες με υψηλό σημείο τήξης: ταινίες TiO2/ZrO2 με υψηλό δείκτη κάμψης, ταινίες SiO2 με χαμηλό δείκτη κάμψης.

•Απαιτήσεις για παχιά ταινία: IR ανακλαστικές ταινίες (> 1μm), μεταλλικά ανακλαστικά στρώματα (Al, Ag ταινίες).

•Υποστρώματα αδιάφορα για τη θερμοκρασία: γυαλί, κεραμική ανθεκτική σε υψηλές θερμοκρασίες.

Επικαιροποίηση του ηλεκτρονικού εξοπλισμού

•Βιομηχανική μαζική παραγωγή: οθόνες οθόνης (διαφανείς αγωγικές ταινίες ITO), επικαλύψεις AR φακών κινητών τηλεφώνων.

•Μεγάλη επιφάνεια: ΦΩ γυαλί, αρχιτεκτονικό γυαλί (> 1m2).

•Υψηλές ανάγκες αντοχής: Οπτικά εξαρτήματα αυτοκινήτων, εξωτερικά οπτικά όργανα (αντοχή στην φθορά).

•Συνθετικές/πολυστρωματικές ταινίες: ταινίες με δείκτη κάμψης κλίσης, πολυστρωματικά φίλτρα (ακριβής έλεγχος διεπαφής).

•Αποθέματα χαμηλής θερμοκρασίας: πλαστικά υποστρώματα (PC, PMMA), ευέλικτα οπτικά υλικά.

IV. Πλεονεκτήματα και μειονεκτήματα

Εξάτμιση ηλεκτρικής ακτίνας

✅ Πλεονεκτήματα:

•Υψηλή απόδοση αποθέματος, σύντομος κύκλος παραγωγής·

•Σταθερή οπτική απόδοση καθαρών ταινιών, εξαιρετική διαπερατότητα.

•Μικρή επένδυση εξοπλισμού, εύκολη λειτουργία.

Πλεονεκτήματα:

•Κακή πυκνότητα φιλμ, ανεπαρκής μακροχρόνια σταθερότητα.

•Δύσκολος έλεγχος της ομοιομορφίας σε μεγάλες περιοχές·

•Περιορισμένοι τύποι ταινιών (πτητικά υλικά χαμηλής τήξης).

Επικαιροποίηση του ηλεκτρονικού εξοπλισμού

✅ Πλεονεκτήματα:

•Δυνατή προσκόλληση, πυκνές/ανθεκτικές στην φθορά ταινίες, καλή περιβαλλοντική σταθερότητα

•Υψηλότερη ομοιομορφία μεγάλης έκτασης, κατάλληλη για μαζική παραγωγή·

•ευρεία συμβατότητα υλικών, σύνθετη κατασκευή ταινιών·

•Η κατάθεση χαμηλής θερμοκρασίας προστατεύει τα υποστρώματα.

Πλεονεκτήματα:

•Αργός ρυθμός αποθέματος, χαμηλή απόδοση παχιάς ταινίας.

•Υψηλό κόστος εξοπλισμού, σύνθετη συντήρηση (γρήγορη κατανάλωση στόχου)

•Ακριβής έλεγχος της αναλογίας αερίων απαιτείται για την αντιδραστική ψεκασμό, υψηλή δυσκολία συντονισμού της διαδικασίας.